High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter
The design and performance of high productive cathodic vacuum arc plasma source with rectilinear “magnetic island” filter, which is suitable for industrial applications, are briefly described. The device is characterized by achievable output ion current up to 4 A at an arc current of 100 A, Ti coa...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2013-10-23 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
National Science Centеr “Kharkov Institute of Physics and Technology”, Kharkov, Ukraine
2013-10-23
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79933 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter / V.V. Vasylyev, A.A. Luchaninov, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 97-100. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |