Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено осо...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862728570455982080 |
|---|---|
| author | Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. |
| author_facet | Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. |
| citation_txt | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения.
Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження.
The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:09:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79940 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:09:20Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. 2015-04-09T08:26:54Z 2015-04-09T08:26:54Z 2014 Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940 538.9:539.231:621.793 Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження. The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Конденсація силіцидних плівок із чистих компонентів Condensation of silicide films from pure components Article published earlier |
| spellingShingle | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_alt | Конденсація силіцидних плівок із чистих компонентів Condensation of silicide films from pure components |
| title_full | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_fullStr | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_full_unstemmed | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_short | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_sort | конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940 |
| work_keys_str_mv | AT azarenkovna kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT litovčenkosv kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT beresnevvm kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT čiškalava kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT velievûi kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT azarenkovna kondensacíâsilícidnihplívokízčistihkomponentív AT litovčenkosv kondensacíâsilícidnihplívokízčistihkomponentív AT beresnevvm kondensacíâsilícidnihplívokízčistihkomponentív AT čiškalava kondensacíâsilícidnihplívokízčistihkomponentív AT velievûi kondensacíâsilícidnihplívokízčistihkomponentív AT azarenkovna condensationofsilicidefilmsfrompurecomponents AT litovčenkosv condensationofsilicidefilmsfrompurecomponents AT beresnevvm condensationofsilicidefilmsfrompurecomponents AT čiškalava condensationofsilicidefilmsfrompurecomponents AT velievûi condensationofsilicidefilmsfrompurecomponents |