Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено осо...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |