Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2014
• Main Authors: Азаренков, Н.А., Литовченко, С.В., Береснев, В.М., Чишкала, В.А., Велиев, Ю.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено осо...