Buchumschlag

Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов

Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено осо...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Азаренков, Н.А., Литовченко, С.В., Береснев, В.М., Чишкала, В.А., Велиев, Ю.И.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Schlagworte:	Физика и технология конструкционных материалов
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Эпитаксиальный рост плёнок тройной системы Сu–In–Se
von: Григоров, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности электрофизических свойств тонких пленок NaBiTe₂
von: Авотин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
von: Кириченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления
von: Евсюков, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение и физико-механические свойства оксидно-силицидных покрытий на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

О повышении износостойкости изделий из стали с низкой температурой отпуска
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Совершенствование процесса изготовления таблеток из диоксида урана
von: Одейчук, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Разработка опытной технологии изготовления прутков из гафния для ПЭЛов
von: Волокита, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Трибологическое поведение двухкомпонентных металлических покрытий на основе нитрида титана с различным содержанием олова
von: Газизова, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование процессов сорбции-десорбции водорода из быстрозакалённых сплавов системы Ti-Zr-Ni
von: Ажажа, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Влияние термоциклической обработки на микропластичность бериллия, полученного из сферического измельченного порошка
von: Иванцов, В.И.
Veröffentlicht: (2003)

Влияние технологических параметров производства на структурообразование и свойства прутков из гафния
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
von: Грудницкий, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние отжигов на механические свойства твэльных труб из сплава Zr1Nb на основе кальциетермического циркония
von: Петельгузов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Высокотемпературное окисление на воздухе оболочек из циркониевых сплавов Э110 и Zr-1Nb с покрытиями
von: Куприн, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние температурного режима и напряженного состояния на переориентацию гидридов в оболочках твэлов из Zr-1%Nb
von: Черняева, Т.П., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Изучение коррозионной стойкости труб из сплава Zr1Nb в зависимости от глубины слоев после травления
von: Петельгузов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние способа получения литой трубной заготовки на структуру и свойства горячепрессованных труб из сплава Zr1Nb
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Коррозионные экспрессные и длительные испытания твэльных труб из сплава Zr1Nb (0,1%O)
von: Красноруцкий, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
von: Вахрушева, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Изучение влияния отжигов на коррозионную стойкость труб-оболочек для твэлов из сплава Zr1Nb
von: Петельгузов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
von: Лучанинов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
von: Суджанская, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
von: Белоусов, И.В.
Veröffentlicht: (2007)

Формирование неоднородной структуры в приповерхностных слоях NiTi в результате ионной имплантации
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
von: Belousov, I. V.
Veröffentlicht: (2007)

Физические основы и опыт применения метода определения объемов всех совокупностей поровых каналов в порошках и пористых телах
von: Габелков, С.В.
Veröffentlicht: (2011)

Изменение составляющих порового пространства при спекании магний-алюминиевой шпинели
von: Габелков, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Установка для деформирования волочением в криогенных условиях
von: Волчок, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Роль теплофизических условий в процессе формирования структуры при направленной кристаллизации жаропрочных сплавов на никелевой основе
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)