Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено осо...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79940 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |