Ion beam-assisted deposition technology as a method of nanocrystalline coating formation

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2014
• Main Authors: Guglya, A.G., Marchenko, I.G.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79945
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ion beam-assisted deposition technology as a method of nanocrystalline coating formation / A.G. Guglya, I.G. Marchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 125-136 — Бібліогр.: 31 назв. — англ.

This scientific paper describes the structure, phase composition and mechanical properties of nanocrystalline coatings obtained using the ion beam-assisted deposition technology. The results of computer simulation of IBAD processes for different energy values of bombarding ions and for relationships...