Cover Image

Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий

Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2014
Main Author: Сысоев, Ю.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79946
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 137-142. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items