Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности ука...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859946065068818432 |
|---|---|
| author | Торяник, И.Н. Грудницкий, В.В. Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, C.В. Турбин, П.В. Сердюк, И.В. Гончаров, И.Ю. |
| author_facet | Торяник, И.Н. Грудницкий, В.В. Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, C.В. Турбин, П.В. Сердюк, И.В. Гончаров, И.Ю. |
| citation_txt | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка».
Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка».
The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate».
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:14:16Z |
| format | Article |
| fulltext |
ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №2(90) 149
УДК 621.715.539.376
ТЕМПЕРАТУРНОЕ ВЛИЯНИЕ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ
И МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ В СИСТЕМЕ
«ПОКРЫТИЕ (Ti, Hf)N−ПОДЛОЖКА Si»
И.Н. Торяник1, В.В. Грудницкий1, В.М. Береснев1, О.В. Соболь3, C.В. Литовченко1,
П.В. Турбин1,4, И.В. Сердюк2, И.Ю. Гончаров5
1Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;
2Национальный научный центр
«Харьковский физико-технический институт», Харьков, Украина;
3Национальный технический университет
«Харьковский политехнический институт», Харьков, Украина;
4Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьков, Украина
E-mail: turbin-scpt@yandex.ru;
5Белгородский государственный университет, Белгород, Российская Федерация
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном
воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой под-
ложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверх-
ности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузи-
онных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-
подложка».
ВВЕДЕНИЕ
Результаты исследований, изложенные в науч-
ной литературе, свидетельствуют, что дальнейшее
повышение эффективности защитно-упрочняющих
износостойких покрытий на основе твердых соеди-
нений переходных металлов, в частности нитридов,
возможно путем создания нанокристаллических и
нанокомпозитных покрытий. Вследствие значитель-
ного увеличения объемной доли границ раздела та-
кие покрытия проявляют в ряде случаев уникальное
сочетание свойств: высокую твердость, износостой-
кость, термостойкость и одновременно сравнитель-
но низкий коэффициент трения.
Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов
переходных металлов в ряде систем по физико-
механическим показателям существенно превосхо-
дят покрытия на основе нитрида титана. Наиболее
эффективным направлением совершенствования
покрытий на основе нитридов переходных металлов
является изменение их структуры и, таким образом,
свойств путем введения легирующих элементов Si,
B, Al, Y и др., а также формирование многослойных
наноструктурных покрытий, позволяющих учиты-
вать сложные физико-химические процессы, проис-
ходящие в системе «покрытие–основа».
При этом важной является оценка влияния тер-
мического воздействия (отжига) на диффузионные
процессы, происходящие в покрытии. Нагрев полу-
ченных покрытий инициирует диффузионные про-
цессы массопереноса элементов из подложки в по-
крытие и, наоборот, из покрытия в подложку, что
может приводить к образованию нитридов металлов
и дисперсных фаз внедрения.
Целью работы является определение закономер-
ностей формирования структурного состояния и
трансформации свойств покрытий на основе твердо-
го раствора (Ti, Hf)N, в частности легированного
кремнием, при определенном температурном воз-
действии на систему «покрытие–подложка».
МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Для исследования влияния отжига на поликри-
сталлические кремниевые подложки размерами
20×20×1 мм вакуумно-дуговым распылением цель-
нолитого катода Ti+Hf (Ti = 96 ат.%, Hf = 4 ат.%)
формировались покрытия на основе твердого рас-
твора (Ti, Hf)N. Покрытия получали при давлении
азота РN = 0,7 Па и высокочастотном потенциале
смещения Uвч = -200 В, толщина покрытий составля-
ла 1,2 мкм.
Отжиг проводился в вакууме при давлении
0,05 Па и температурах 300, 500, 800 и 1000 °C со-
ответственно. Длительность отжига во всех случаях
составляла 30 мин.
Покрытия на основе легированного кремнием
твердого раствора (Ti, Hf)N получали по аналогич-
ной методике с использованием катода состава
Ti+Hf+Si (Ti = 80 ат.%, Hf = 12 ат.%, Si = 8 ат.%).
Потенциал смещения Uвч = -200 В подавался на под-
ложку ВЧ-генератором импульсами затухающих
колебаний с частотой < 1 МГц; длительность каждо-
го импульса составляла ∼ 60 мc с частотой повторе-
ний ∼ 10 кГц. Давление азота при нанесении состав-
ляло РN = 0,7 Па.
Изучаемые образцы покрытия отжигались в печи
при температурах 300, 500, 800 и 1000 °C в инерт-
ной среде аргона.
Анализ топографии поверхности покрытий осу-
ществлялся на воздухе с помощью атомно-силового
микроскопа (АСМ) производства компании
NT-MDT, Россия. Применялись кантилеверы марки
NSG10/W2C с твердым токопроводящим покрытием
W2C толщиной 30 нм.
150 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №2(90)
Состав определялся с помощью электронно-
ионного сканирующего микроскопа «Quanta 600»,
оснащенного рентгеновским микроанализатором
EDАХ с программным обеспечением.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ
В таблице приведен состав синтезированных по-
крытий на основе твердого раствора (Ti, Hf)N.
Содержание элементов в покрытии (Тi, Hf)N
Элемент N,
ат.%
О,
ат.%
Si,
ат.%
Ti,
ат.%
Hf,
ат.%
Концен-
трация 24,39 3,94 57,67 12,49 1,51
Наличие в элементном составе атомов O и Si оп-
ределяется соответственно остаточными газами ра-
бочей атмосферы и кремниевой подложкой.
На рис. 1 приведены изображения сечений по-
крытий, полученных при разных температурах от-
жига. Исследование сечений покрытий свидетельст-
вует, что на поверхности и в покрытии (см.
рис. 1,б,в) наблюдаются участки капельной фракции
размером до нескольких микрометров. Явных тре-
щин после температурного воздействия не обнару-
жено, что свидетельствует о высоком качестве по-
крытия, полученного с применением ВЧ-
стимуляции в процессе осаждения.
а б
в г
Рис. 1. Сечения покрытий (Тi, Hf)N, полученных
при температурах отжига: а − 300; б − 500;
в − 800; г − 1000 °C (микроскоп «Quanta 600»)
Наличие четко выраженной границы между по-
крытием и подложкой после высокотемпературного
отжига при 1000 °C (см. рис. 1,г) свидетельствует о
достаточно невысокой диффузионной высокотемпе-
ратурной проницаемости покрытий.
Элементный состав покрытий на основе твердого
раствора (Тi, Hf)N по результатам энергодисперси-
онного анализа и качественно усредненного распре-
деления элементов по сечению покрытий, получен-
ных при разных температурах отжига, приведен на
рис. 2–4. Результаты рентгеновского микроанализа
свидетельствуют об изменении концентрации эле-
ментов по сечению в отожженном покрытии, начи-
ная с температуры 300 °C.
а
б
Рис. 2. Энергодисперсионный спектр (а)
и распределение элементов по сечению (б)
покрытия на основе (Тi, Hf)N при температуре
отжига 300 °C
Рис. 3. Распределение элементов по сечению
покрытия на основе (Тi, Hf)N после отжига
при температуре 800 °C
Рис. 4. Распределение элементов по сечению
покрытия на основе (Тi, Hf)N после отжига
при температуре 1000 °C
Отжиг в вакууме, начиная с 300 °C, характеризу-
ется распадом твердого раствора (Тi, Hf)N, что оп-
ределяется появлением корреляции между макси-
ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №2(90) 151
мумами пиков концентраций для Тi и Hf. При тем-
пературе 500 °C концентрация кремния в покрытии
возрастает от 1…2 до 6,0 ат.%, что связывается с
повышением подвижности атомов кремния при этой
температуре.
Кривые распределения составляющих покрытие
элементов по глубине показаны на рис. 2,б–4. Видно
характерное неоднородное распределение концен-
трации элементов Ti, Hf и N в глубь покрытия. Для
исследованных температур отжига наблюдается
некоторое возрастание концентрации указанных
элементов до глубины в 20 нм, а затем происходит
монотонное снижение концентрации этих элементов
почти до половины уровня их концентрации вблизи
поверхности покрытия.
Противоположная ситуация характерна для по-
лученных распределений кремния в глубь покрытия.
Для исследованных температур отжига наблюдается
монотонное возрастание концентрации Si до грани-
цы раздела «покрытие–подложка». Повышение кон-
центрации кремния связано с диффузией атомов Si
от подложки. В некоторой степени, фактом повы-
шения концентрации Si в глубь покрытия объясня-
ется снижение концентрации составляющих покры-
тие элементов Ti, Hf и N. С повышением темпера-
турного воздействия на образцы покрытий возраста-
ет энергетическая активность атомов Si, диффунди-
рующих от подложки по направлению к поверхно-
сти покрытия, тем самым как бы вытесняя осталь-
ные элементы, составляющие покрытие. Высокая
теплота образования силиконитрида ΔH298(Si3N4) =
= -738,1 кДж/моль с повышением температуры от-
жига обусловливает формирование демпфирующей
силиконитридной аморфной прослойки по границам
кристаллитов твердого раствора (Ti, Hf)N.
На рис. 5 приведено АСМ-изображение исход-
ной поверхности покрытия системы (Ti-Hf-Si)N, где
проявляется наличие межзеренных границ и нано-
рельефа. Хорошо видно чередование темных и свет-
лых выступов, конусов, пор наноразмерных облас-
тей, что свидетельствует об изменении высоты по-
верхностного рельефа.
В процессе формирования под воздействием
ионно-плазменных потоков рельеф поверхности
покрытий системы (Ti-Hf-Si)N изменяется. Ионно-
плазменные потоки инициируют формирование по-
верхностных напряжений, активацию диффузии,
изменениz дислокационной структуры и фазового
состояния. Результат взаимодействия указанных
выше процессов, формирующих рельеф, с процес-
сами распыления определяет ионно-
стимулированную сегрегацию и десорбцию.
Покрытия, полученные методом вакуумно-
дугового осаждения, характеризуются сложным ре-
льефом поверхности. Поэтому интерес представляет
изучение влияния температуры на изменение мор-
фологии поверхности многокомпонентных покры-
тий [1].
а
б
Рис. 5. АСМ-изображение поверхности
нанокомпозитного покрытия системы (Ti-Hf-Si)N,
размер поля 10×10 мкм: а – исходное состояние;
б – статистическое распределение высоты
рельефа на участке поверхности
«покрытие–подложка»
Дополнительную и более точную информацию о
полученном после отжига рельефе дают профили
АСМ-изображений и статистический анализ распре-
деления высот (см. рис. 5,б). Статистический анализ
показал, что средняя высота выступов составляет
90 нм. Латеральные размеры выступов у основания
составили ∼ 200 нм, а ширина выступа на половине
высоты ∼ 70 нм.
На рис. 6 приведено 3D-АСМ-изображение по-
верхности покрытия на основе системы (Ti-Hf-Si)N,
полученное после отжига при температуре 1000 °C.
Увеличение количества конусов и их образование на
поверхности покрытий, по мнению авторов [2], яв-
ляются следствием процессов, порожденных ионно-
индуцированными напряжениями и связанных с
перемещением атомов в поверхностном слое.
Рис. 6. 3D-АСМ-изображение поверхности
нанокомпозитного покрытия системы (Ti-Hf-Si)N
(температура отжига 1000 °C)
152 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №2(90)
В ряде работ, посвященных исследованию ре-
зультатов энергетического воздействия на поверх-
ность конденсированных сред, а именно температу-
ры [3, 4], показано возникновение дефектно-
деформационной неустойчивости. Это обусловлива-
ет реализацию критических условий для проявления
синергетического эффекта, приводящего в том чис-
ле к развитию поверхностных структур рельефа.
В нашем случае влияние температуры на эволю-
цию формирования рельефа поверхности характери-
зуется процессами изменения фазового состава при-
поверхностных слоев, рекристаллизации, появлени-
ем участков с пониженным уровнем напряжений,
что приводит к модификации рельефа в виде систе-
мы наноструктурированных выступов.
Работа частично выполнена по темам НИР
0113U001079 и 0112U006974, финансируемым Ми-
нистерством образования и науки Украины и гос-
контракта БелГУ №16 55211 7087 при финансовой
поддержке Министерства образования и науки Рос-
сийской Федерации.
ВЫВОДЫ
Установлено, что повышение температуры отжи-
га усиливает подвижность атомов кремния и приво-
дит к росту их концентрации в покрытии. Концен-
трация основных элементов в покрытии, кроме Si,
характеризуется максимумом на глубине примерно
20 нм от поверхности, что обусловлено повышением
концентрации Si ближе к переходной зоне «покры-
тие–подложка».
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Н.А. Азаренков, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк,
В.М. Береснев. Инженерия вакуумно-плазменных
покрытий. Харьков: ХНУ им. В.Н. Каразина, 2011,
344 с.
2. К. Коч, И. Овилько, С. Сил, С. Вепрек. Конст-
рукционные нанокристаллические материалы. На-
учные основы и приложения. М.: «Физматлит»,
2012, 448 с.
3. И.А. Зельцер, А.С. Карабанов, Е.Н. Моос. Об-
разование диссипативных структур в кристаллах
при термо- и электропереносе // ФTT. 2005, т. 47,
в. 11, с. 1921-1926.
4. В.И. Емельянов, Н.Я. Рухляда. Дефектно-
индуцированная неустойчивость и образование по-
верхностных структур с двумя масштабами при об-
работке поверхности плазмой // Наукоемкие техно-
логии. 2009, т. 10, №6, с. 3-13.
Статья поступила в редакцию 26.07.2013 г.
ТЕМПЕРАТУРНИЙ ВПЛИВ НА РОЗПОДІЛ ЕЛЕМЕНТІВ І МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ
В СИСТЕМІ «ПОКРИТТЯ (Ti, Hf)N−ПІДКЛАДИНКА Si»
І.М. Торяник, В.В. Грудницький, В.М. Береснєв, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбін,
І.В. Сердюк, І.Ю. Гончаров
Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного
впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки.
Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених по-
криттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при висо-
котемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка».
EFFECT OF TEMPERATURE ON THE DISTRIBUTION OF ELEMENTS AND SURFACE
MORPHOLOGY IN THE SYSTEM «COATING (Ti, Hf)N–SUBSTRATE Si»
I.N. Toryanik, V.V. Grudnitskii, V.M. Beresnev, O.V. Sobol, S.V. Lytovchenko, P.V. Turbin,
I.V. Serdyuk, I.Yu. Gonchаrov
The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of
thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic
features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the
obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti,
Hf)N-coating–Si-substrate».
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79952 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:14:16Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Торяник, И.Н. Грудницкий, В.В. Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, C.В. Турбин, П.В. Сердюк, И.В. Гончаров, И.Ю. 2015-04-09T10:57:59Z 2015-04-09T10:57:59Z 2014 Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952 621.715.539.376 Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка». Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка». The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate». Работа частично выполнена по темам НИР 0113U001079 и 0112U006974, финансируемым Министерством образования и науки Украины и госконтракта БелГУ №16 55211 7087 при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации. ru Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» Температурний вплив на розподіл елементів і морфологію поверхні в системі «покриття (Ti, Hf)N−підкладинка Si» Effect of temperature on the distribution of elements and surface morphology in the system «coating (Ti, Hf)N–substrate Si» Article published earlier |
| spellingShingle | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» Торяник, И.Н. Грудницкий, В.В. Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, C.В. Турбин, П.В. Сердюк, И.В. Гончаров, И.Ю. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» |
| title_alt | Температурний вплив на розподіл елементів і морфологію поверхні в системі «покриття (Ti, Hf)N−підкладинка Si» Effect of temperature on the distribution of elements and surface morphology in the system «coating (Ti, Hf)N–substrate Si» |
| title_full | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» |
| title_fullStr | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» |
| title_full_unstemmed | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» |
| title_short | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» |
| title_sort | температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (ti, hf)n−подложка si» |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952 |
| work_keys_str_mv | AT torânikin temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT grudnickiivv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT beresnevvm temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT sobolʹov temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT litovčenkocv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT turbinpv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT serdûkiv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT gončaroviû temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi AT torânikin temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT grudnickiivv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT beresnevvm temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT sobolʹov temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT litovčenkocv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT turbinpv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT serdûkiv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT gončaroviû temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi AT torânikin effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT grudnickiivv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT beresnevvm effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT sobolʹov effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT litovčenkocv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT turbinpv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT serdûkiv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi AT gončaroviû effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi |