Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности ука...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2014
Автори: Торяник, И.Н., Грудницкий, В.В., Береснев, В.М., Соболь, О.В., Литовченко, C.В., Турбин, П.В., Сердюк, И.В., Гончаров, И.Ю.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79952
record_format dspace
spelling Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
2015-04-09T10:57:59Z
2015-04-09T10:57:59Z
2014
Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952
621.715.539.376
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка».
Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка».
The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate».
Работа частично выполнена по темам НИР 0113U001079 и 0112U006974, финансируемым Министерством образования и науки Украины и госконтракта БелГУ №16 55211 7087 при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации.
ru
Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
Температурний вплив на розподіл елементів і морфологію поверхні в системі «покриття (Ti, Hf)N−підкладинка Si»
Effect of temperature on the distribution of elements and surface morphology in the system «coating (Ti, Hf)N–substrate Si»
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
spellingShingle Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_full Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_fullStr Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_full_unstemmed Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_sort температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (ti, hf)n−подложка si»
author Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
author_facet Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2014
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Температурний вплив на розподіл елементів і морфологію поверхні в системі «покриття (Ti, Hf)N−підкладинка Si»
Effect of temperature on the distribution of elements and surface morphology in the system «coating (Ti, Hf)N–substrate Si»
description Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка». Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка». The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate».
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952
citation_txt Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT torânikin temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT grudnickiivv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT beresnevvm temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT sobolʹov temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT litovčenkocv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT turbinpv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT serdûkiv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT gončaroviû temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT torânikin temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT grudnickiivv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT beresnevvm temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT sobolʹov temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT litovčenkocv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT turbinpv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT serdûkiv temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT gončaroviû temperaturniivplivnarozpodílelementívímorfologíûpoverhnívsistemípokrittâtihfnpídkladinkasi
AT torânikin effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT grudnickiivv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT beresnevvm effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT sobolʹov effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT litovčenkocv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT turbinpv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT serdûkiv effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
AT gončaroviû effectoftemperatureonthedistributionofelementsandsurfacemorphologyinthesystemcoatingtihfnsubstratesi
first_indexed 2025-12-07T16:14:16Z
last_indexed 2025-12-07T16:14:16Z
_version_ 1850866722598289408

Схожі ресурси