Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2014
• Main Authors: Торяник, И.Н., Грудницкий, В.В., Береснев, В.М., Соболь, О.В., Литовченко, C.В., Турбин, П.В., Сердюк, И.В., Гончаров, И.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79952
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности ука...