Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах
Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного п...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80085 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862700887597645824 |
|---|---|
| author | Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. |
| author_facet | Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. |
| citation_txt | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного перехода чисто химическая, а структурный переход обусловлен образованием гидрида титана TiD₂. Высокотемпературный отжиг облученных пленок приводит к разложению гидрида TiD₂, возникшего в результате ионной имплантации. Процесс разложения начинается при температуре ~500 K и заканчивается при температуре ~600 K при достаточной длительности отжига.
Досліджувано вплив імплантованих іонів дейтерію на кристалічну структуру Тi та структурні зміни в опромінених зразках, що викликаються відпалом. Показано, що імплантація дейтерію в титан приводить до структурних змін у імплантованому шару і що природа структурного переходу чисто хімічна, а структурний перехід обумовлений утворенням гидрида титана TiD₂. Відпал опромінених плівок призводить до розкладання гидрида TiD₂, що виникнуло в результаті іонної імплантації. Процес розкладання починається при температурі ~500 K і закінчується при температурі ~600 K при достатній тривалості відпалу.
Bombardment of Ti with a deuterium ion beam has revealed that the implantation into titanium leads to structural transformations in the implanted layer. It was shown that the nature of structural transformation was purely chemical, and the structural transition was due to the formation of titanium hydride TiD₂. A high-temperature annealing of irradiated films leads to the disintegration of TiD₂ which was formed as a result of ion implantation. The process of decomposition starts at a temperature of ~500 K and ends at ~600 K with a sufficient duration of heating.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:40:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80085 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:40:33Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. 2015-04-11T17:02:22Z 2015-04-11T17:02:22Z 2002 Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80085 548.3: 539.25 Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного перехода чисто химическая, а структурный переход обусловлен образованием гидрида титана TiD₂. Высокотемпературный отжиг облученных пленок приводит к разложению гидрида TiD₂, возникшего в результате ионной имплантации. Процесс разложения начинается при температуре ~500 K и заканчивается при температуре ~600 K при достаточной длительности отжига. Досліджувано вплив імплантованих іонів дейтерію на кристалічну структуру Тi та структурні зміни в опромінених зразках, що викликаються відпалом. Показано, що імплантація дейтерію в титан приводить до структурних змін у імплантованому шару і що природа структурного переходу чисто хімічна, а структурний перехід обумовлений утворенням гидрида титана TiD₂. Відпал опромінених плівок призводить до розкладання гидрида TiD₂, що виникнуло в результаті іонної імплантації. Процес розкладання починається при температурі ~500 K і закінчується при температурі ~600 K при достатній тривалості відпалу. Bombardment of Ti with a deuterium ion beam has revealed that the implantation into titanium leads to structural transformations in the implanted layer. It was shown that the nature of structural transformation was purely chemical, and the structural transition was due to the formation of titanium hydride TiD₂. A high-temperature annealing of irradiated films leads to the disintegration of TiD₂ which was formed as a result of ion implantation. The process of decomposition starts at a temperature of ~500 K and ends at ~600 K with a sufficient duration of heating. The research described in this publication was made possible in part by Grant No VA5000 from the International Science Foundation. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах Article published earlier |
| spellingShingle | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| title | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_full | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_fullStr | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_full_unstemmed | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_short | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_sort | структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| topic | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| topic_facet | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80085 |
| work_keys_str_mv | AT morozovan strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdeiteriâipostimplantacionnyhotžigah AT neklûdovim strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdeiteriâipostimplantacionnyhotžigah AT rybalkovf strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdeiteriâipostimplantacionnyhotžigah AT kulišvg strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdeiteriâipostimplantacionnyhotžigah |