Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
Приведен краткий обзор результатов работ Харьковского физико-технического института в области синтеза плёнок алмазоподобного аморфного углерода (а-С) вакуумно-дуговым методом. Основное внимание уделено результатам исследований и разработок, основных физико-механических свойств и служебных характерис...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80094 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода / И.И. Аксенов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 110-118. — Бібліогр.: 34 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80094 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Аксенов, И.И. Стрельницкий, В.Е. 2015-04-11T17:23:59Z 2015-04-11T17:23:59Z 2002 Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода / И.И. Аксенов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 110-118. — Бібліогр.: 34 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80094 537.534.2:679.826 Приведен краткий обзор результатов работ Харьковского физико-технического института в области синтеза плёнок алмазоподобного аморфного углерода (а-С) вакуумно-дуговым методом. Основное внимание уделено результатам исследований и разработок, основных физико-механических свойств и служебных характеристик плёнок, полученных с применением источников вакуумно-дуговой эрозионной плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала (графита). Приведены данные об областях применения а-С плёнок в настоящее время, о потенциальных возможностях и перспективах практического использования вакуумно-дуговых технологий формирования а-С плёнок с учётом последних разработок технологического оборудования, осуществляемых в ХФТИ. Приведено короткий огляд результатів робіт Харківського фізико-технічного інституту в області синтезу плівок алмазоподобного аморфного вуглецю (а-С) вакуумно-дуговим методом. Основна увага приділена результатам досліджень і розробок основних фізико-механічних властивостей і службових характеристик плівок, отриманих із застосуванням джерел вакуумно-дуговой ерозійної плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу (графіту). Приведено дані про області застосування (а-С) плівок у даний час, про потенційні можливості і перспективи практичного використання вакуумно-дугових технологій формування (а-С) плівок з урахуванням останніх розробок технологічного устаткування, здійснюваних у ХФТІ. The brief review of the Kharkov Institute of Physics and Technology works in the field of diamond-like amorphous carbon films (а-С) synthesis by a cathodic vacuum - arc method is given. The basic attention is given to investigation and developments of the main physico-mechanical properties and working characteristics of films obtained with application of vacuum - arc erosive plasma filtered from macroparticles of a cathode material (graphite). The data about fields of а-С films application, about potential possibilities and perspectives of practical use of vacuum - arc technologies of а-С films synthesis are given in view of last developments of the process equipment developed by KIPT. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| spellingShingle |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода Аксенов, И.И. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| title_full |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| title_fullStr |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| title_sort |
вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода |
| author |
Аксенов, И.И. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Аксенов, И.И. Стрельницкий, В.Е. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2002 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Приведен краткий обзор результатов работ Харьковского физико-технического института в области синтеза плёнок алмазоподобного аморфного углерода (а-С) вакуумно-дуговым методом. Основное внимание уделено результатам исследований и разработок, основных физико-механических свойств и служебных характеристик плёнок, полученных с применением источников вакуумно-дуговой эрозионной плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала (графита). Приведены данные об областях применения а-С плёнок в настоящее время, о потенциальных возможностях и перспективах практического использования вакуумно-дуговых технологий формирования а-С плёнок с учётом последних разработок технологического оборудования, осуществляемых в ХФТИ.
Приведено короткий огляд результатів робіт Харківського фізико-технічного інституту в області синтезу плівок алмазоподобного аморфного вуглецю (а-С) вакуумно-дуговим методом. Основна увага приділена результатам досліджень і розробок основних фізико-механічних властивостей і службових характеристик плівок, отриманих із застосуванням джерел вакуумно-дуговой ерозійної плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу (графіту). Приведено дані про області застосування (а-С) плівок у даний час, про потенційні можливості і перспективи практичного використання вакуумно-дугових технологій формування (а-С) плівок з урахуванням останніх розробок технологічного устаткування, здійснюваних у ХФТІ.
The brief review of the Kharkov Institute of Physics and Technology works in the field of diamond-like amorphous carbon films (а-С) synthesis by a cathodic vacuum - arc method is given. The basic attention is given to investigation and developments of the main physico-mechanical properties and working characteristics of films obtained with application of vacuum - arc erosive plasma filtered from macroparticles of a cathode material (graphite). The data about fields of а-С films application, about potential possibilities and perspectives of practical use of vacuum - arc technologies of а-С films synthesis are given in view of last developments of the process equipment developed by KIPT.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80094 |
| citation_txt |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода / И.И. Аксенов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 110-118. — Бібліогр.: 34 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovii vakuumnodugovoisintezalmazopodobnogougleroda AT strelʹnickiive vakuumnodugovoisintezalmazopodobnogougleroda |
| first_indexed |
2025-11-30T21:44:00Z |
| last_indexed |
2025-11-30T21:44:00Z |
| _version_ |
1850858474773151744 |