Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
Приведены результаты исследований стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов. Сделано предположение, что основной причиной ухудшения стабильности дугового разряда на графитовых катодах и уменьшения выходного тока ионов является увеличение теплопроводности гр...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80096 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов / В.В. Васильев, А.В. Григорьев, И.В. Гурин, В.А. Гурин, В.М. Зуев, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий, В.М. Топорков // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 122-129. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859484853387395072 |
|---|---|
| author | Васильев, В.В. Григорьев, А.В. Гурин, И.В. Гурин, В.А. Зуев, В.М. Омаров, А.О. Стрельницкий, В.Е. Топорков, В.М. |
| author_facet | Васильев, В.В. Григорьев, А.В. Гурин, И.В. Гурин, В.А. Зуев, В.М. Омаров, А.О. Стрельницкий, В.Е. Топорков, В.М. |
| citation_txt | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов / В.В. Васильев, А.В. Григорьев, И.В. Гурин, В.А. Гурин, В.М. Зуев, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий, В.М. Топорков // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 122-129. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Приведены результаты исследований стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов. Сделано предположение, что основной причиной ухудшения стабильности дугового разряда на графитовых катодах и уменьшения выходного тока ионов является увеличение теплопроводности графитовых материалов. Впервые обнаружено, что на катодах ГСП катодное пятно дуги перемещается по рабочей поверхности катода скачками, останавливаясь на довольно продолжительное время на пироуглеродной структурной составляющей графитового материала с образованием глубоких кратеров. Обнаружено, что при остановках катодного пятна дуги выходной ток ионов уменьшается по мере углубления кратера, а падение напряжения на дуге растёт. При этом отсутствует видимая эмиссия макрочастиц. Высокотемпературная обработка катодов ГСП делает графитовый материал гомогенным. Перемещение катодного пятна дуги в этом случае не отличается от промышленных графитов – КП перемещается равномерно, без существенных остановок, что резко снижает вероятность образования кратеров и делает эрозию катода равномерной. Показано, что с увеличением размеров закрытых пор или размеров зерна графитового порошка в катодах ГСП стабильность дугового разряда уменьшается.Сделано предположение, что при определенных размерах порошка графита и концентрации пироуглеродной компоненты можно минимизировать эмиссию макрочастиц с поверхности катода.
Приведено результати досліджень стабільності вакуумно-дугового розряду на катодах з різних графітових матеріалів. Зроблено припущення, що основною причиною погіршення стабільності дугового розряду на графітових катодах і зменшення вихідного струму іонів є збільшення теплопровідності графітових матеріалів. Уперше виявлено, що на катодах ГСП катодна пляма дуги переміщується по робочій поверхні катода стрибками, зупиняючись на досить тривалий час на піровуглецевій структурній складовій графітового матеріалу з утворенням глибоких кратерів. Виявлено, що при зупинках катодної плями дуги вихідний струм іонів зменшується в міру поглиблення кратера, а падіння напруги на дузі зростає. При цьому відсутня видима емісія макрочасток. Високотемпературна обробка катодів ГСП робить графітовий матеріал гомогенним. Переміщення катодної плями дуги в цьому випадку не відрізняється від промислових графітів - КП переміщується рівномірно без істотних зупинок, що різко знижує імовірність утворення кратерів і робить ерозію катода рівномірною. Показано, що зі збільшенням розмірів закритих пір чи розмірів зерна графітового порошку в катодах ГСП стабільність дугового розряду зменшується. Зроблено припущення, що при визначених розмірах порошку графіту і концентрації піроуглеродної компоненти можна мінімізувати емісію макрочасток з поверхні катода.
Investigations of the vacuum-arc stability on cathodes from different graphite materials are given. It was made an assumption that the main reason of worsening of an electric-arc stability on graphite cathodes and decreasing of an ion current output is increasing of graphite materials thermal conductivity. For the first time it was revealed, that on cathodes from graphite combined by pyrocarbon (GCP) the cathode spot of an arc moves on the cathode working face with jumps stopping on rather long time on the pyrocarbon structural component of a graphite material with formation of deep craters. It was revealed, that during the cathode spot (CS) stop the output ion current is diminished as far as the crater depth increasing, and the arc voltage drop grows. Visual macroparticles emission under these conditions was absent. The high-temperature annealing of GCP cathodes makes a graphite material homogeneous. The CS moving in this case did not differ from industrial graphite – CS moved uniformly without essential stopping, that sharply reduces probability of the craters formation and makes cathode erosion uniform. It was shown, that with increasing of the enclosed pore sizes or graphite dust sizes the electric arc stability is diminished for cathodes from GSP.It was made assumption, that under certain graphite dust sizes and pyrocarbon component concentration one can minimized macroparticles emission from the cathode surface.
|
| first_indexed | 2025-11-24T15:43:10Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 537.534.2:679.826
ИССЛЕДОВАНИЕ СТАБИЛЬНОСТИ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО
РАЗРЯДА НА КАТОДАХ ИЗ РАЗЛИЧНЫХ ГРАФИТОВЫХ
МАТЕРИАЛОВ
В.В.Васильев, А.В.Григорьев, И.В.Гурин, В.А.Гурин, В.М.Зуев, А.О.Омаров, В.Е.Стрель-
ницкий, В.М.Топорков
Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический
институт», г.Харьков, Украина
Приведено результати досліджень стабільності вакуумно-дугового розряду на катодах з різних графітових
матеріалів. Зроблено припущення, що основною причиною погіршення стабільності дугового розряду на графітових
катодах і зменшення вихідного струму іонів є збільшення теплопровідності графітових матеріалів. Уперше виявлено, що
на катодах ГСП катодна пляма дуги переміщується по робочій поверхні катода стрибками, зупиняючись на досить
тривалий час на піровуглецевій структурній складовій графітового матеріалу з утворенням глибоких кратерів. Виявлено,
що при зупинках катодної плями дуги вихідний струм іонів зменшується в міру поглиблення кратера, а падіння напруги
на дузі зростає. При цьому відсутня видима емісія макрочасток. Високотемпературна обробка катодів ГСП робить
графітовий матеріал гомогенним. Переміщення катодної плями дуги в цьому випадку не відрізняється від промислових
графітів - КП переміщується рівномірно без істотних зупинок, що різко знижує імовірність утворення кратерів і робить
ерозію катода рівномірною.
Показано, що зі збільшенням розмірів закритих пір чи розмірів зерна графітового порошку в катодах ГСП
стабільність дугового розряду зменшується. Зроблено припущення, що при визначених розмірах порошку графіту і
концентрації піроуглеродної компоненти можна мінімізувати емісію макрочасток з поверхні катода.
Приведены результаты исследований стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых
материалов. Сделано предположение, что основной причиной ухудшения стабильности дугового разряда на графитовых
катодах и уменьшения выходного тока ионов является увеличение теплопроводности графитовых материалов. Впервые
обнаружено, что на катодах ГСП катодное пятно дуги перемещается по рабочей поверхности катода скачками, останав-
ливаясь на довольно продолжительное время на пироуглеродной структурной составляющей графитового материала с
образованием глубоких кратеров. Обнаружено, что при остановках катодного пятна дуги выходной ток ионов уменьша-
ется по мере углубления кратера, а падение напряжения на дуге растёт. При этом отсутствует видимая эмиссия макроча-
стиц. Высокотемпературная обработка катодов ГСП делает графитовый материал гомогенным. Перемещение катодного
пятна дуги в этом случае не отличается от промышленных графитов – КП перемещается равномерно, без существенных
остановок, что резко снижает вероятность образования кратеров и делает эрозию катода равномерной.
Показано, что с увеличением размеров закрытых пор или размеров зерна графитового порошка в катодах ГСП ста-
бильность дугового разряда уменьшается.Сделано предположение, что при определенных размерах порошка графита и
концентрации пироуглеродной компоненты можно минимизировать эмиссию макрочастиц с поверхности катода.
Investigations of the vacuum-arc stability on cathodes from different graphite materials are given. It was made an assumption
that the main reason of worsening of an electric-arc stability on graphite cathodes and decreasing of an ion current output is in-
creasing of graphite materials thermal conductivity. For the first time it was revealed, that on cathodes from graphite combined
by pyrocarbon (GCP) the cathode spot of an arc moves on the cathode working face with jumps stopping on rather long time on
the pyrocarbon structural component of a graphite material with formation of deep craters. It was revealed, that during the cath-
ode spot (CS) stop the output ion current is diminished as far as the crater depth increasing, and the arc voltage drop grows. Visu -
al macroparticles emission under these conditions was absent. The high-temperature annealing of GCP cathodes makes a graphite
material homogeneous. The CS moving in this case did not differ from industrial graphite – CS moved uniformly without essen-
tial stopping, that sharply reduces probability of the craters formation and makes cathode erosion uniform.
It was shown, that with increasing of the enclosed pore sizes or graphite dust sizes the electric arc stability is diminished for
cathodes from GSP.It was made assumption, that under certain graphite dust sizes and pyrocarbon component concentration one
can minimized macroparticles emission from the cathode surface.
1. ВВЕДЕНИЕ
Вакуумно-дуговой разряд с расходуемым като-
дом в настоящее время нашёл широкое применение
в технологиях получения различных покрытий (за-
щитных, декоративных, оптических, полупроводни-
ковых, резистивных и т.п.). На поверхности катода
разряд локализуется в виде так называемых ка-
тодных пятен, размеры которых лежат в пределах от
нескольких мкм до нескольких десятков мкм. Высо-
кая концентрация энергии в области катодного пят-
на приводит к взрывному испарению материала ка-
тода, его ионизации и ускорению до средних энер-
гий ∼ (25…30) эВ [1]. Катодное пятно дуги эмитиру-
ет высокоскоростные плазменные струи со скоро-
стью ∼104 м/сек, имеющие степень ионизации, близ-
кую к 100 %. Высокая степень ионизации вещества
позволяет легко управлять интенсивностью потока и
энергией ионизованных частиц на обрабатываемые
122 _________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ, 2002, №3.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (81), с.122-129.
поверхности изделий, создавть на них покрытия с
заданными физико-химическими свойствами. Осо-
бенно привлекательным выглядит использование ва-
куумно-дугового разряда для синтеза углеродных
алмазоподобных покрытий (УАПП), получаемых в
условиях фильтрации электродуговой плазмы от ма-
крочастиц. По своим механическим характеристи-
кам синтезируемые покрытия приближаются к алма-
зу и могут успешно использоваться в качестве за-
щитных покрытий в различных областях науки и
техники. Однако для широкого использования элек-
тродугового метода получения УАПП в промыш-
ленности необходимо решить ряд проблем, связан-
ных со стабильностью горения дуги на графитовом
катоде и уменьшением количества эмитируемых ма-
крочастиц. В настоящее время в литературе отсут-
ствуют какие-либо данные, касающиеся влияния ма-
териала графитовых катодов на стабильность дуго-
вого разряда.
Целью данной работы является исследование
влияния материала графитового катода на стабиль-
ность дугового разряда при минимальной эмиссии
макрочастиц, что крайне важно для практических
целей.
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ
Для проведения экспериментов использовался
вакуумно-дуговой источник плазмы с автостабили-
зацией катодного пятна дуги на рабочей поверхно-
сти катода. Схематическое изображение данного ис-
точника приведено на рис.1. Для изменения величи-
ны и конфигурации магнитного поля на торцевой
поверхности катода в данных экспериментах ис-
пользовалась дополнительная катушка 12, разме-
щенная вокруг стабилизирующей катушки 4.
Наблюдение за перемещением катодного пятна
на рабочей поверхности катода осуществлялось че-
рез смотровое окно с помощью зеркала, установлен-
ного внутри вакуумной камеры, напротив катода,
под соответствующим углом по отношению к смот-
ровому окну. В качестве рабочего газа использовал-
ся аргон (Ar). Стабильность горения дуги измеря-
лась по числу погасаний в единицу времени при раз-
личных давлениях газа Ar в вакуумной камере, то-
ках дуги и параметрах магнитного поля (осевой Hz и
радиальной Hr компонент) в области торцевой по-
верхности катода. Измерения магнитного поля про-
водились в трёх точках по радиусу торца катода. То-
рец катода в рабочем положении устанавливался на
расстоянии 4…5 мм от отверстия вспомогательного
анода. Для проведения экспериментов были исполь-
зованы три различных конфигурации магнитного
поля на рабочей поверхности катода. Данные изме-
рений Hr и Hz компонент напряженности магнитного
поля приведены в табл.1.
Рис.1. Источник с автостабилизацией катодного
пятна использовавшийся в данных исследованиях
1 - катод, 2 - экранирующий корпус, 3 - фланец,
4 - стабилизирующая катушка, 5 - анод, 6 - анод-
ные магнитные катушки, 7 - электроизолирующая
прокладка, 8 - вспомогательный анод, 9 - магнит-
ный концентратор, 10 - высоковольтный узел под-
жига, 11 - силовые линии магнитного поля, 12 - до-
полнительная магнитная катушка
Катод имел форму цилиндра диаметром 60 мм и
изготавливался из различных марок промышленного
графита и промышленного графита, пропитанного
пироуглеродом, по методу, описанному в работах
[2-4], а также порошка графита, связанного пиро-
углеродом (ГСП) [5]. Пропитка промышленных гра-
фитов, а также порошков графита увеличивает плот-
ность и, следовательно, теплопроводность, а также
улучшает механические характеристики. Характери-
стики графитовых материалов, используемых в ка-
честве катодов, представлены в табл.2.
Таблица 1.
Конфигурация МП I II III
r, мм
I ст.к.=0,7A, I доп.к.=0 Iст.к.=0,7A;I доп.к.=6A Iст.к.=0,7A; Iдоп.к.=9A
Hr, Э Hz, Э Hr, Э Hz, Э Hr, Э Hz, Э
0 0 57 0 67 0 73
15 5 54 6 64 8 70
30 8 40 12 49 12 52
123
Таблица 2
МАТЕРИАЛ ГРАФИТОВОГО КАТОДА Плот-
ность,
г/см3
Удельная элек-
тропроводность,
мк Ом⋅м
Размер зерен,
мкм
Открытая
пористость,
%
МГА 1,65 - 0…63
МГ 1,69 15 0…63 19
МГ, уплотненный пироуглеродом 1,87 15 0…63 8,83
ЭГ-0 1,65 8…10 1…3 мм
(ГСП) ЭГ-0 1,75 30 0…630
ГСП (ЭГ-0) 1,64 30 0…63
(ГСП) ЭГ-0, ВТО при 2700 °С 15 мин. 1, 65 18 0…630
3. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
3.1. Влияние давления газа на стабильность
дугового разряда
На рис. 2 показаны зависимости частоты погаса-
ний дуги на графитовых катодах, выполненных из
семи различных графитовых материалов для фикси-
рованных параметров магнитного поля в области ра-
бочей поверхности катода. Видно, что с уменьшени-
ем давления газа, в частности Аr, в вакуумной каме-
ре стабильность дугового разряда ухудшается
(растёт частота погасаний дуги) для всех, используе-
мых в данных экспериментах, графитовых катодах.
Наилучшими, с точки зрения стабильности дугового
разряда, в исследуемом диапазоне давлений газа яв-
ляются катоды, изготовленные из промышленного
мелкопористого графита марок МГ и МПГА (см.
кривые 5,6).
Рис. 2. Зависимости частоты погасания дуги от
давления Ar для катодов, изготовленных из различ-
ных марок графита, Iд.=100А, Iст.к.=0,5А, Iдоп.к.=4,5А:
1 – ГСП, ρ=1,64 г/см3, d=(0…630)мкм; 2 – ЭГ-0
(пром.), ρ=1,57 г/см3, d=(1…3)мм; 3 – ГСП, ρ=1,75
г/см3, d=(0…63)мкм; 4 – ГСП, ρ=1,63 г/см3, d=(0…
63)мкм; 5-МПГА; 6 – МГ (пром.); 7 – МГ (пром.),
пропитанный пироуглеродом, 8 – ЭГ-0 (пром.) про-
питанный пироуглеродом, ρ=1,81 г/см3, d=(1…3)мм
Увеличение размеров пор за счёт увеличения
размеров зерна графита приводит к резкому увели-
чению частоты погасаний дуги. В качестве примера
на рис. 2 (кривая 2) показана зависимость частоты
погасания дуги на промышленном крупнозернистом
электродном графите ЭГ-0. Размер графитовых
зёрен в нём составляет величину 1…3 мм. Пропитка
графита ЭГ-0 пироуглеродом приводит к уменьше-
нию размеров пор и к увеличению стабильности ду-
гового разряда (кривая 8). На этом же рисунке при-
ведены зависимости частот погасаний дуги для ка-
тодов из графита ГСП различной плотности, выпол-
ненных на основе порошка графита ЭГ-0 разной зер-
нистости. Видно, что с уменьшением размеров пор
за счёт уменьшения размеров зёрен используемого
для изготовления ГСП порошка графита ЭГ-0, а так-
же при увеличении плотности материала ГСП ста-
бильность дугового разряда возрастает (см. кривые
1, 4, 3 соответственно).
3.2. Влияние величины и конфигурации маг-
нитного поля на стабильность дугового раз-
ряда
На рис. 3,а,б приведены зависимости частоты по-
гасания дуги от величины тока в дополнительной
магнитной катушке Iдоп. при фиксированном токе в
стабилизирующей катушке Iст.к (см. рис.1) для раз-
личных графитовых материалов, полученных на
основе порошков графита ЭГ-0 для двух фиксиро-
ванных давлений газа (Ar). При токе Iдоп.к=6 А и
Iст.к=0,7 А на торцевой поверхности катода реализу-
ется конфигурация магнитного поля, обеспечиваю-
щая перемещение катодного пятна дуги по всей ра-
бочей поверхности катода. При этих условиях ста-
бильность дугового разряда для большинства като-
дов из ГСП ухудшается. При дальнейшем увеличе-
нии тока в дополнительной катушке Iдоп.к. от 6 А до 9
А стабильность дугового разряда для различных
графитовых материалов ведет себя по-разному в за-
висимости от давления газа в вакуумной камере.
Например, для катодов с большим размером зерен и,
следовательно, с более крупными закрытыми пора-
ми стабильность разряда улучшается, особенно для
катодов ГСП, при давлениях газа Р≥2⋅10-4 Торр (см.
рис. 3,б. С уменьшением давления Р до 1⋅10-4 Торр
эта тенденция может нарушаться для ГСП низкой
плотности (ρ≤1,63 г/см3), полученных на основе гра-
фитового порошка ЭГ-0 с фракциями зёрен 0…63
мкм (см. рис. 3,а, кривая 4).
124
Рис. 3. Зависимости частоты погасания дуги от
тока дополнительной катушки, Iд=100А
Iст.к=0,75А.
1 – ГСП, ρ=1,64 г/см3, d=(0…630)мкм;
2 – ЭГ-0 (пром.), ρ=1,57 г/см3, d=(1…3)мм;
3 – ГСП, ρ=1,75 г/см3, d=(0…63)мкм;
4 – ГСП, ρ=1,63 г/см3, d=(0…63)мкм:
а) Р = (1…1,2)⋅10-4Торр; б) Р = (2…2,2)⋅10-4Торр;
Из рис. 3,б видно, что с увеличением размеров
зёрен графита для катодов из ГСП стабильность ду-
гового разряда возрастает с увеличением тока в до-
полнительной магнитной катушке и, следовательно,
с увеличением тангенциальной составляющей маг-
нитные поля (см. табл.1), приводящей к увеличению
ретроградной скорости перемещения катодного пят-
на дуги в периферийной области рабочей поверхно-
сти катода.
3.3 Влияние величины и конфигурации маг-
нитного поля на скорость эрозии катода
На рис. 4 приведены зависимости скорости эро-
зии катодов из четырёх различных графитовых ма-
териалов от величины тока в дополнительной маг-
нитной катушке. Из приведенных зависимостей вид-
но, что увеличение тока в дополнительной катушке
до величины Iдоп=6 А, обеспечивающее перемеще-
ние катодного пятна дуги по всей рабочей поверхно-
сти катода, приводит к резкому уменьшению скоро-
сти эрозии катодов ГСП с более высокой плотно-
стью (рис. 4, кривая 3) либо с большим размером
зёрен (кривая 1). При дальнейшем увеличении Iдоп.к.
до 9 А скорость эрозии катода слабо изменяется.
Кроме того, из рис. 4 видно, что для катодов ГСП с
малым размером зёрен графита (кривая 4)
Рис. 4. Зависимости потерь массы катодами из
различных марок графита при различных токах до-
полнительной катушки Iд=100А, Iст.к.=0.7А:
1 – ГСП, ρ=1,64 г/см3, d=(0…630)мкм;
2 – ЭГ-0 (пром.), ρ=1,57 г/см3, d=(1÷3)мм;
3 – ГСП, ρ=1,75 г/см3, d=(0…63)мкм;
4 – ГСП, ρ=1,63 г/см3, d=(0…63)мкм.
уменьшение скорости эрозии катода происходит при
больших токах Iдоп.к..
3.4. Влияние состава графитового материала
на характер перемещения катодного пятна
дуги и параметры дугового разряда
Визуальные наблюдения за перемещением ка-
тодного пятна (КП) дуги показали, что КП на като-
дах из ГСП, в отличие от промышленных сортов
графита, перемещается скачкообразно, останавли-
ваясь на отдельных участках рабочей поверхности
катода от одной до нескольких секунд, а затем, бы-
стро перемещаясь на расстояния от одного до
нескольких миллиметров, вновь останавливается и
т.д. При этом во время неподвижного существова-
ния КП и во время его перемещения резко изменя-
ются характер эмиссии макрочастиц, давление газа в
вакуумной камере, а также параметры дугового раз-
ряда и выходной ток ионов.
Весь процесс перемещения катодного пятна
условно можно разбить на 3 стадии с тремя харак-
терными временными интервалами ∆t:
I стадия – катодное пятно находится в неподвиж-
ном состоянии и видимый поток макрочастиц с по-
верхности катода отсутствует ∆t~2…4 сек. Напряже-
ние на дуге по мере углубления кратера растет от 30
до 50 В.
II стадия – переходная ∆t<1 сек (сопровождается
интенсивной эмиссией макрочастиц и скачком дав-
ления газа). При этом напряжение на дуге уменьша-
ется от 50 до 25 В.
III стадия – перемещение КП (характеризуется
малым падением напряжения на дуге (25…30) В,
уменьшением тока дуги (на 5…10 А), эмиссией ма-
крочастиц и увеличением выходного тока ионов.
Количественные характеристики этого процесса
приведены в табл. 3.
125
Таблица 3
Ста-
дия №
Падение напря-
жения на дуге, В
Ток дуги, А Выходной ток
ионов на коллек-
тор, А
РΣ, !0-4
Торр
Видимый поток
макрочастиц
∆t сек
1 30…40
40…50
105
110
1…0,4
0,4…0,2
3
3
Нет
Нет
2÷4
2 50…25 110…100 0,2…2,4 3,4 Есть <1
3 25…35 100…105 2,4…1,6 3 Есть ≤4
Следует отметить, что, несмотря на случайные
направления перемещения КП дуги, общая тенден-
ция его ретроградного перемещения за интервал
времени, намного больший, чем максимальный пе-
риод перехода от неподвижного состояния КП к по-
движному и обратно, сохраняется.
В процессе движения КП дуги, в результате его
последовательных остановок, рабочая поверхность
катода покрывается серией глубоких лунок, что
ухудшает со временем стабильность дугового разря-
да. При высокотемпературной обработке (ВТО) ка-
тода ГСП происходит графитизация пироуглерод-
ной составляющей, сопротивление катода снижается
до величины промышленного графита (см. табл.1).
Характер перемещения КП и эрозия рабочей по-
верхности катода при этом меняется. КП, как и в
случае промышленных графитов, перемещается бо-
лее равномерно и с большей средней скоростью по
всей поверхности катода без существенных задер-
жек. Рабочая поверхность катода эродирует равно-
мерно. Однако стабильность дугового разряда в
этом случае ухудшается по сравнению с катодом без
ВТО (см. рис. 5, кривые 3,5). Аналогичное ухудше-
ние стабильности дугового разряда наблюдалось и
при испытаниях промышленного графита ЭГ-0 с
размером зёрен 1…3 мм (см. рис. 5, кривые 3,4).
На рис. 6,а,б,в приведены фотографии рабочих
поверхностей катодов ГСП без ВТО (рис. 6,а,б) и
после ВТО (рис. 6,в). На рис. 6,а видны следы эро-
зии в виде глубоких кратеров, образовавшихся в ре-
зультате остановок КП в этих местах. На рис. 6,б
видны одиночные следы эрозии на краю рабочей по-
верхности после непродолжительной работы катода.
Максимальный диаметр кратеров не превышает 1
мм, а глубина изменяется от 0,5 мм до 1,5 мм. Эро-
дирующая поверхность катода после ВТО имеет бо-
лее гладкий вид, кратеры практически отсутствуют
(рис. 6,в). Это свидетельствует о том, что КП пере-
мещается по графитовой фазе практически без оста-
новок в отличие от случая с присутствием пироугле-
родной фазы.
4. ОБСУЖДЕНИЕ
Из приведенных выше результатов видно, что
стабильность дугового разряда на графитовых като-
дах зависит от его состава (количества графитовой и
пироуглеродной фаз), размеров графитовых зёрен и
удельной плотности графитового материала, а также
от внешних факторов (давление газа в вакуумной
камере, величины и конфигурации магнитного поля
на рабочей поверхности катода). Эксперименты по-
казывают, что все эти факторы существенным об-
разом влияют как на скорость и характер перемеще-
ния КП по рабочей поверхности катода, так и на
скорость эрозии графитового материала.
Основываясь на результатах, полученных в дан-
ной работе, а также на результатах работ, опублико-
ванных ранее другими авторами, касающихся скоро-
сти перемещения КП дуги и скорости эрозии катода
от величины тангенциальной составляющей магнит-
ного поля для различных марок промышленного
графита, отличающихся размером графитовых зерен
и пористостью [7], можно предположить, что основ-
ной причиной, влияющей на стабильность дугового
разряда, является размер и количество закрытых
пор. Наличие открытой пористости графитового ма-
териала, как было показано в [8], не приводит к ка-
ким-либо перемещениям КП по поверхности ка-
тодного материала.
В связи с тем, что размер пор и их количество за-
висит от размеров графитовых зёрен и плотности ка-
тодного материала, то качественно вместо таких па-
раметров как размеры и количество закрытых пор,
Рис.5. Зависимости частоты погасания дуги от
давления Ar для катодов, изготовленных из различ-
ных марок графита Iд.=100А, Iст.к.=0,7А, Iдоп.к.=9А:
1 – ГСП, ρ=1,64 г/см3, d=(0…630)мкм; 2 – ЭГ-0
(пром.), ρ=1,57 г/см3, d=(1…3)мм; 3 – ГСП, ρ=1,75
126
г/см3, d=(0…63)мкм; 4 – ГСП, ρ=1,63 г/см3, d=(0…
63)мкм; 5 – ВТО ГСП, ρ=1,75 г/см3, d=(0…63)мкм
Рис. 6. Рабочие поверхности катодов ГСП без ВТО
(а, б) и после ВТО (в)
можно использовать другие два параметра, а имен-
но: зернистость и плотность графитового материала.
Чем меньше размер зерна, тем меньше и размеры за-
крытых пор. Чем ниже плотность графитового мате-
риала, тем больше их количество. Адекватность та-
кой замены параметров подтверждается сопоставле-
нием свойств графитовых материалов, приведенных
в [7].
Пропитка промышленных графитовых материа-
лов пироуглеродом уменьшает только открытую по-
ристость. При этом часть открытых пор превращает-
ся в закрытые поры, но меньших размеров [9]. Это
приводит к тому, что в результате увеличения коли-
чества закрытых пор стабильность дугового разряда
на промышленных графитовых материалах, пропи-
танных пироуглеродом, уменьшается [9].
Создание графитовых материалов на основе по-
рошков промышленных или природных графитов
различной зернистости путем связывания их пиро-
углеродом позволяет получать более прочные гра-
фитовые материалы ГСП как за счёт увеличения в
них пироуглеродной составляющей, так и за счёт
уменьшения открытой пористости. Результаты экс-
периментов показывают, что скорость эрозии таких
графитовых материалов существенно уменьшается
по сравнению с промышленными графитами, в
основном, за счёт уменьшения эмиссии макрочастиц
(см., например, рис. 4, кривые 1,2).
Характер перемещения катодного пятна по по-
верхности катода коренным образом отличается от
характера его перемещения для катодов из промыш-
ленных графитов. КП останавливается на пироугле-
родной структурной компоненте графитового мате-
риала ГСП. В результате такой остановки в области
КП образуется кратер. Находясь на дне кратера КП
не может самостоятельно выйти из него, т.к. всегда
стремится двигаться к месту токоподвода [10]. Та-
ким местом для катодного пятна является дно кра-
тера. Можно предположить, что механизмом,
способным вытолкнуть КП дуги из образованного
им кратера, является газ, содержащийся в закрытых
порах ниже дна кратера. Оценки показывают, что
при нагревании газа, содержащегося в закрытой
поре, до температуры Т>3000оК, давление в ней мо-
жет превысить давление над КП.
Согласно [11] давление в области КП на графи-
товом катоде составляет приблизительно 106 Па, а
температура Т в зоне КП Т=4600 К. При этих усло-
виях, согласно фазовой диаграмме [11], углерод су-
ществует в жидкой фазе. Если давление газа в за-
крытой поре в процессе его нагрева превысит проч-
ность графитового материла, например, пироуглеро-
да, отделяющего жидкую фазу углерода от границы
поры с учётом давления над КП, то происходит про-
рыв газа из поры и выброс КП из кратера. При этом
одновременно идет эмиссия макрочастиц, преиму-
щественно в жидкой фазе [11]. Давление в камере
при этом резко увеличивается (см. табл. 3). Од-
новременно с увеличением глубины кратера растет
напряжение на разряде от 25 до 50 В. Это, по-види-
мому, может облегчать поджиг дуги на поверхности
катода в непосредственной близости от кратера во
время прорыва газа.
В зависимости от размера пор интенсивность та-
ких выбросов может быть различной и приводит к
перемещению КП от кратера на расстояние от 1 до
нескольких мм или к погасанию дуги, если пора до-
статочно крупная (см. рис. 6,б).
Выше было отмечено, что размеры закрытых пор
пропорциональны размерам зёрен графитового по-
рошка, используемого в качестве основы для като-
дов ГСП. Поэтому можно адекватно утверждать, что
с увеличением размеров зёрен графитового порошка
стабильность дугового разряда уменьшается (см.
рис. 2, 5, кривые 1, 4).
На этих же рисунках видно, что стабильность ду-
гового разряда на всех графитовых материалах в ис-
следуемом диапазоне давлений газа (Ar) уменьшает-
ся с уменьшением давления Аr. Причём наиболее
резкое ухудшение стабильности дугового разряда
для двухкомпонентных и однокомппонентных гра-
фитовых материалов наблюдается при различных
давлениях Аr. В частности, для катодов, содержа-
щих пироуглеродную структурную компоненту, − в
диапазоне давлений Р≥(2…2,2)⋅10-4 Торр, а для од-
127
нокомпонентных графитовых материалов − при Р≥
(1…1,2)⋅10-4 Торр (см. рис. 5, кривые 1,3,4 и 2,5 со-
ответственно). При этом с уменьшением величины
магнитного поля (с уменьшением тока в дополни-
тельной катушке) значения этих давлений смещают-
ся в меньшую сторону (см. рис. 2). Этот факт ука-
зывает на то, что с увеличением величины магнит-
ного поля (радиальной составляющей) в области ра-
бочей поверхности катода при заданной величине
тока дуги уменьшается тепловая нагрузка в области
катодного пятна дуги. В результате этого уменьша-
ется и количество испаряемого с катодного пятна
дуги вещества, необходимого для поддержания ду-
гового разряда при данном токе разряда. При фикси-
рованном напряжении на источнике питания дуги
разрядный ток уменьшается. Катодное падение по-
тенциала возрастает, однако, не настолько, чтобы
восполнить потерю тока дуги. В этом случае ста-
бильность дугового разряда нарушается, если КП
дуги случайно переместилось в область катода с
большим значением тангенциальной составляющей
магнитного поля.
Увеличение давления Ar восстанавливает тепло-
вую нагрузку в области КП дуги. Поэтому, несмотря
на увеличение скорости перемещения КП, стабиль-
ность дугового разряда также восстанавливается.
Аналогичный уменьшению давления газа эффект
проявляется и при увеличении теплопроводности
графитового материала, в частности, в результате
пропитки его пироуглеродом, приводящей к умень-
шению открытой пористости (см. рис. 2, кривые 6,
7).
Чем выше теплопроводность графитового мате-
риала, тем больше давление Аr, необходимо для
восстановления температуры в области КП дуги,
обеспечивающей стабильность дугового разряда на
том же уровне, что и для материала с меньшей теп-
лопроводностью.
Для анализа рассмотренных процессов в зоне КП
дуги и оценки доли ионного тока S, возвращаемого
на катод для поддержания соответствующей темпе-
ратуры в КП, можно воспользоваться известной
формулой для теплового потока Qк, поступающего в
тело катода, [12]
[ ] ')( QUUasIQ ikik +−+= ϕ , (1)
где ϕ-работа выхода; Q'-тепловой поток неучтенных
процессов; Ui-потенциал ионизации вещества в зоне
КП дуги; Uk- катодное падение потенциала, S=Ii/I −
составляющая полного тока I=Ie+Ii, ai- коэффициент
аккомодации.
Минимальное значение Smin можно определить,
приравнивая теплоотвод Qk нулю. Если не учиты-
вать подвод тепла со стороны столба дуги Q', то
iki UUa
S
+
= ϕ
min (2)
Для ϕ ≈ 4,5 В (углерод), аi =1, Uk=20 B, Ui=11,3 B
получим Smin=0,14 .
Для “холодного” катода наиболее вероятным ме-
ханизмом эмиссии электронов является термоавто-
эмиссия, в котором большую роль играют бомбар-
дировка поверхности катода ионами испаряемого
материала в области КП. Исходя из условия вос-
производства ионов и учитывая затраты энергии на
вырывание автоэлектрона, получаем:
ϕ
ϕ
−+
−=
iki
k
UUa
USmax (3)
Принимая для оценки те же значения ϕ, Uk, ai и
Ui, получаем Smax=0,578.
Эта величина может быть увеличена, если допу-
стить наличие малого коэффициента аккомодации
ai.
Во всех случаях, при любом типе катода, имеется
ограничение на величину ионного тока, возвращае-
мого на катод, определяемого величиной тока насы-
щения из условия стопроцентной ионизации паров
материала катода в зоне, примыкающей к КП.
Добавка в разряд Аr приводит к уменьшению
значения Smax из-за более высокого значения потен-
циала его ионизации (Ui=15,5 В).Однако Аr имеет
большое число метастабильных уровней, что позво-
ляет достаточно легко ионизировать его, повышая
тем самым плотность плазмы в разряде. Это увели-
чивает бомбардировку поверхности катода в обла-
сти катодного пятна, что повышает стабильность ду-
гового разряда, наблюдаемую в экспериментах.
Уменьшение теплопроводности графитового ма-
териала приводит к уменьшению S и, следователь-
но, к увеличению стабильности дугового разряда.
5. ВЫВОДЫ
1. Выяснены основные причины, влияющие на
стабильность дугового разряда на различных графи-
товых материалах.
2. Сделано предположение, что основной причи-
ной ухудшения стабильности дугового разряда на
графитовых катодах и уменьшения выходного тока
ионов является увеличение теплопроводности гра-
фитовых материалов.
3. Впервые обнаружено, что на катодах ГСП ка-
тодное пятно дуги перемещается по рабочей поверх-
ности катода скачками, останавливаясь на довольно
продолжительное время на пироуглеродной струк-
турной составляющей графитового материала с об-
разованием глубоких кратеров.
4. Обнаружено, что при остановках катодного
пятна дуги выходной ток ионов уменьшается по
мере углубления кратера, а падение напряжения на
дуге растёт. При этом отсутствует видимая эмиссия
макрочастиц.
5. Сделано предположение, что выход катодного
пятна дуги из кратера осуществляется в результате
вырывания газа из закрытых пор, находящихся под
катодным пятном дуги, и сопровождается интенсив-
ным выбросом макрочастиц и, одновременно, рез-
ким увеличением выходного ионного тока. Возрас-
тание напряжения на дуге до 50 В способствует воз-
буждению катодного пятна на поверхности катода
вблизи кратера.
6. Высокотемпературная обработка катодов ГСП
делает графитовый материал гомогенным. Переме-
128
щение катодного пятна дуги в этом случае не отли-
чается от промышленных графитов – КП перемеща-
ется равномерно, без существенных остановок, что
резко снижает вероятность образования кратеров и
делает эрозию катода равномерной.
7. Показано, что увеличение напряжённости
магнитного поля в области рабочей поверхности ка-
тода приводит к уменьшению скорости его эрозии,
причём наибольший эффект достигается для като-
дов ГСП с более высокой плотностью.
8. Показано, что с увеличением размеров закры-
тых пор или размеров зерна графитового порошка в
катодах ГСП стабильность дугового разряда умень-
шается.
9. Экспериментально показано, что наибольшая
стабильность дугового разряда для различных внеш-
них условий реализуется для графитовых катодов,
выполненных из промышленного графита марки МГ
и МГА с размерами пор, не превышающими 68 мкм.
10. Сделано предположение, что при определен-
ных размерах порошка графита и концентрации пи-
роуглеродной компоненты можно минимизировать
эмиссию макрочастиц с поверхности катода.
ЛИТЕРАТУРА
1. И.И.Аксёнов, В.Г.Падалка, В.М.Хороших. Ис-
следование плазменного потока, генерируемого
стационарным эрозионным электродуговым
ускорителем с магнитным удержанием катодно-
го пятна. //Физика плазмы, 1979г., т.5, вып.3,
с.607−612.
2. V.F.Zellenskij, V.A.Gurin, I.V.Gurin. Gasphase
impregnation by a pyrocarbon of the porous medi-
uns by a methods of a redially driven pyrolysis
zone //Twtnty- Fourth Biennual Conference on
Carbon, Lightsey Conference Center, Charleston
USA, 1999, p.50−51.
3. V.A.Gurin, I.V.Gurin, V.V.Kolosenko, Yu.E
Murin. Researches on the development of gasphase
methods of carbon-carbon items manufacturing
//Twenty-Fourth Biennual Conference on Carbon,
Lightsey Conference Center, Charleston USA,
1999, p.662−663.
4. В.Ф.Зеленский, В.А.Гурин, Ю.Ф.Конотоп,
Н.П.Одейчук. Графит ГСП //Вопросы атомной
науки и техники, 1999, №4 (76), с.67−78.
5. В.А.Гурин, И.В.Гурин, Ю.Е.Мурин, С.Г.Фурсов,
В.В.Колосенко, А.А.Корнеев, Н.П.Одейчук,
А.Н.Букулов. Некоторые особенности реализа-
ции метода движущейся зоны пиролиза при га-
зофазном уплотнении пористых наполнителей
пироуглеродом //Вопросы атомной науки и
техники, 19981, №№ 1(67)−2(68), с.76−78.
6. Munther Kandah and Jean-Luc Meunier. Vacuum
arc cathode spot movement on various kinds of
graphite cathodes //Plasma Sources Sci. Technol.,
1996, v.5, р.349−355.
7. Munther Kandah and Jean-Luc Meunier. Erosion
Study on Graphite Cathodes Using Pulsed Vacuum
Arcs //IEEE Transactions on Plasma Science,
1996, v.24, No.2, р.523−527.
8. M.Chhowalla, M.Weiler, C.A.Davis, B.Kleinsorge
and G.A.J. Amaratunga. Deposition of smooth
tetrahedral amorphous carbon thin films using a
cathodic arc without a macroparticle filter //Appl.
Phys. Lett. 1995, 67(7), р.894−896.
9. В.В.Васильев, И.В.Гурин, В.А.Гурин, А.О.Ома-
ров, В.Е.Стрельницкий, В.М.Топорков. Иссле-
дование влияния структурных и электрофизиче-
ских характеристик материала графитовых като-
дов на стабильность вакуумно-дугового разряда
//Сборник докладов 5-го Международного сим-
позиума “Алмазные плёнки родственных мате-
риалов” 22-27 апреля 2002 г., Харьков, Украина,
с. 111−115.
10. И.И.Аксёнов, С.А.Смирнов. Газоразрядные ком-
мутаторы низкого давления //ПТЭ, 1972, №3,
с.269−270.
11. Munther Kandah and Jean-Luc Meunier, Study of
microdroplet generation from vacuum arcs on
graphite cathodes //J. Vac. Sci. Technol., 1995,
A13(5), Sep./Oct., р. 2444−2450.
12. М.Ф.Жуков, В.Я.Смоляков, Б.А.Урюков. Элек-
тродуговые нагреватели газа (плазмотроны),
М.: «Наука», 1973, с.149−163.
129
Исследование стабильности вакуумно-дугового
разряда на катодах из различных графитовых
материалов
2. Методика экспериментов
Таблица 2
Материал графитового катода
3. Результаты экспериментов
3.1. Влияние давления газа на стабильность дугового разряда
3.2. Влияние величины и конфигурации магнитного поля на стабильность дугового разряда
3.3 Влияние величины и конфигурации магнитного поля на скорость эрозии катода
3.4. Влияние состава графитового материала на характер перемещения катодного пятна дуги и параметры дугового разряда
Таблица 3
Стадия №
4. Обсуждение
5. Выводы
Литература
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80096 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T15:43:10Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Васильев, В.В. Григорьев, А.В. Гурин, И.В. Гурин, В.А. Зуев, В.М. Омаров, А.О. Стрельницкий, В.Е. Топорков, В.М. 2015-04-11T17:25:31Z 2015-04-11T17:25:31Z 2002 Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов / В.В. Васильев, А.В. Григорьев, И.В. Гурин, В.А. Гурин, В.М. Зуев, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий, В.М. Топорков // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 122-129. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80096 537.534.2:679.826 Приведены результаты исследований стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов. Сделано предположение, что основной причиной ухудшения стабильности дугового разряда на графитовых катодах и уменьшения выходного тока ионов является увеличение теплопроводности графитовых материалов. Впервые обнаружено, что на катодах ГСП катодное пятно дуги перемещается по рабочей поверхности катода скачками, останавливаясь на довольно продолжительное время на пироуглеродной структурной составляющей графитового материала с образованием глубоких кратеров. Обнаружено, что при остановках катодного пятна дуги выходной ток ионов уменьшается по мере углубления кратера, а падение напряжения на дуге растёт. При этом отсутствует видимая эмиссия макрочастиц. Высокотемпературная обработка катодов ГСП делает графитовый материал гомогенным. Перемещение катодного пятна дуги в этом случае не отличается от промышленных графитов – КП перемещается равномерно, без существенных остановок, что резко снижает вероятность образования кратеров и делает эрозию катода равномерной. Показано, что с увеличением размеров закрытых пор или размеров зерна графитового порошка в катодах ГСП стабильность дугового разряда уменьшается.Сделано предположение, что при определенных размерах порошка графита и концентрации пироуглеродной компоненты можно минимизировать эмиссию макрочастиц с поверхности катода. Приведено результати досліджень стабільності вакуумно-дугового розряду на катодах з різних графітових матеріалів. Зроблено припущення, що основною причиною погіршення стабільності дугового розряду на графітових катодах і зменшення вихідного струму іонів є збільшення теплопровідності графітових матеріалів. Уперше виявлено, що на катодах ГСП катодна пляма дуги переміщується по робочій поверхні катода стрибками, зупиняючись на досить тривалий час на піровуглецевій структурній складовій графітового матеріалу з утворенням глибоких кратерів. Виявлено, що при зупинках катодної плями дуги вихідний струм іонів зменшується в міру поглиблення кратера, а падіння напруги на дузі зростає. При цьому відсутня видима емісія макрочасток. Високотемпературна обробка катодів ГСП робить графітовий матеріал гомогенним. Переміщення катодної плями дуги в цьому випадку не відрізняється від промислових графітів - КП переміщується рівномірно без істотних зупинок, що різко знижує імовірність утворення кратерів і робить ерозію катода рівномірною. Показано, що зі збільшенням розмірів закритих пір чи розмірів зерна графітового порошку в катодах ГСП стабільність дугового розряду зменшується. Зроблено припущення, що при визначених розмірах порошку графіту і концентрації піроуглеродної компоненти можна мінімізувати емісію макрочасток з поверхні катода. Investigations of the vacuum-arc stability on cathodes from different graphite materials are given. It was made an assumption that the main reason of worsening of an electric-arc stability on graphite cathodes and decreasing of an ion current output is increasing of graphite materials thermal conductivity. For the first time it was revealed, that on cathodes from graphite combined by pyrocarbon (GCP) the cathode spot of an arc moves on the cathode working face with jumps stopping on rather long time on the pyrocarbon structural component of a graphite material with formation of deep craters. It was revealed, that during the cathode spot (CS) stop the output ion current is diminished as far as the crater depth increasing, and the arc voltage drop grows. Visual macroparticles emission under these conditions was absent. The high-temperature annealing of GCP cathodes makes a graphite material homogeneous. The CS moving in this case did not differ from industrial graphite – CS moved uniformly without essential stopping, that sharply reduces probability of the craters formation and makes cathode erosion uniform. It was shown, that with increasing of the enclosed pore sizes or graphite dust sizes the electric arc stability is diminished for cathodes from GSP.It was made assumption, that under certain graphite dust sizes and pyrocarbon component concentration one can minimized macroparticles emission from the cathode surface. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов Васильев, В.В. Григорьев, А.В. Гурин, И.В. Гурин, В.А. Зуев, В.М. Омаров, А.О. Стрельницкий, В.Е. Топорков, В.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| title_full | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| title_fullStr | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| title_full_unstemmed | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| title_short | Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| title_sort | исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80096 |
| work_keys_str_mv | AT vasilʹevvv issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT grigorʹevav issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT guriniv issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT gurinva issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT zuevvm issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT omarovao issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT strelʹnickiive issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov AT toporkovvm issledovaniestabilʹnostivakuumnodugovogorazrâdanakatodahizrazličnyhgrafitovyhmaterialov |