Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області
 синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів
 технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Прив...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862535935324848128 |
|---|---|
| author | Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області
синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів
технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико-
механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С
плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно-
дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок.
Настоящая работа представляет собой краткий обзор результатов исследований и разработок, выполненных в ННЦ
ХФТИ в области синтеза а-С плёнок вакуумно-дуговым методом. Рассмотрены основные результаты разработок ключевых узлов технологического оборудования – плазменных источников с магнитными фильтрами. Приведены данные о
структуре, физико-механических свойствах и служебных характеристиках получаемых плёнок. Сообщаются сведения о
применении а-С плёнок (покрытий) в настоящее время, дана оценка потенциальных возможностей и перспектив практического применения вакуумно-дугового метода синтеза алмазоподобных углеродных плёнок.
The present work represents the brief review of results of investigations and developments executed in NSC KIPT in the field
of DLC films (a-C) synthesis by a vacuum – arc method. The primary results of developments of key items of the process equipment
– plasma sources with magnetic filters are described. The data on structure, physico-mechanical properties and working
characteristics of deposited films is discussed. The data on application of а-С films, estimation of potential opportunities and perspectives
of practical application of a vacuum - arc method of a-C films synthesis is given.
|
| first_indexed | 2025-11-24T10:51:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80156 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T10:51:43Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Стрельницкий, В.Е. 2015-04-12T16:10:49Z 2015-04-12T16:10:49Z 2002 Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 537.534.2:679.826 Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області
 синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів
 технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико-
 механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С
 плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно-
 дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок. Настоящая работа представляет собой краткий обзор результатов исследований и разработок, выполненных в ННЦ
 ХФТИ в области синтеза а-С плёнок вакуумно-дуговым методом. Рассмотрены основные результаты разработок ключевых узлов технологического оборудования – плазменных источников с магнитными фильтрами. Приведены данные о
 структуре, физико-механических свойствах и служебных характеристиках получаемых плёнок. Сообщаются сведения о
 применении а-С плёнок (покрытий) в настоящее время, дана оценка потенциальных возможностей и перспектив практического применения вакуумно-дугового метода синтеза алмазоподобных углеродных плёнок. The present work represents the brief review of results of investigations and developments executed in NSC KIPT in the field
 of DLC films (a-C) synthesis by a vacuum – arc method. The primary results of developments of key items of the process equipment
 – plasma sources with magnetic filters are described. The data on structure, physico-mechanical properties and working
 characteristics of deposited films is discussed. The data on application of а-С films, estimation of potential opportunities and perspectives
 of practical application of a vacuum - arc method of a-C films synthesis is given. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы Article published earlier |
| spellingShingle | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_full | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_fullStr | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_full_unstemmed | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_short | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_sort | вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 |
| work_keys_str_mv | AT strelʹnickiive vakuumnodugovoisintezalmazopodobnyhplenokistoriâposlednierazrabotkiprimenenieperspektivy |