Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про с...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80156 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Стрельницкий, В.Е. 2015-04-12T16:10:49Z 2015-04-12T16:10:49Z 2002 Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 537.534.2:679.826 Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико- механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно- дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок. Настоящая работа представляет собой краткий обзор результатов исследований и разработок, выполненных в ННЦ ХФТИ в области синтеза а-С плёнок вакуумно-дуговым методом. Рассмотрены основные результаты разработок ключевых узлов технологического оборудования – плазменных источников с магнитными фильтрами. Приведены данные о структуре, физико-механических свойствах и служебных характеристиках получаемых плёнок. Сообщаются сведения о применении а-С плёнок (покрытий) в настоящее время, дана оценка потенциальных возможностей и перспектив практического применения вакуумно-дугового метода синтеза алмазоподобных углеродных плёнок. The present work represents the brief review of results of investigations and developments executed in NSC KIPT in the field of DLC films (a-C) synthesis by a vacuum – arc method. The primary results of developments of key items of the process equipment – plasma sources with magnetic filters are described. The data on structure, physico-mechanical properties and working characteristics of deposited films is discussed. The data on application of а-С films, estimation of potential opportunities and perspectives of practical application of a vacuum - arc method of a-C films synthesis is given. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| spellingShingle |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_full |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_fullStr |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| title_sort |
вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы |
| author |
Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Стрельницкий, В.Е. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2002 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області
синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів
технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико-
механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С
плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно-
дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок.
Настоящая работа представляет собой краткий обзор результатов исследований и разработок, выполненных в ННЦ
ХФТИ в области синтеза а-С плёнок вакуумно-дуговым методом. Рассмотрены основные результаты разработок ключевых узлов технологического оборудования – плазменных источников с магнитными фильтрами. Приведены данные о
структуре, физико-механических свойствах и служебных характеристиках получаемых плёнок. Сообщаются сведения о
применении а-С плёнок (покрытий) в настоящее время, дана оценка потенциальных возможностей и перспектив практического применения вакуумно-дугового метода синтеза алмазоподобных углеродных плёнок.
The present work represents the brief review of results of investigations and developments executed in NSC KIPT in the field
of DLC films (a-C) synthesis by a vacuum – arc method. The primary results of developments of key items of the process equipment
– plasma sources with magnetic filters are described. The data on structure, physico-mechanical properties and working
characteristics of deposited films is discussed. The data on application of а-С films, estimation of potential opportunities and perspectives
of practical application of a vacuum - arc method of a-C films synthesis is given.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80156 |
| fulltext |
|
| citation_txt |
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы / В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 6. — С. 125-133. — Бібліогр.: 97 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT strelʹnickiive vakuumnodugovoisintezalmazopodobnyhplenokistoriâposlednierazrabotkiprimenenieperspektivy |
| first_indexed |
2025-11-24T10:51:43Z |
| last_indexed |
2025-11-24T10:51:43Z |
| _version_ |
1850844969433038848 |