Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах
Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионо...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80235 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862545986964946944 |
|---|---|
| author | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| author_facet | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| citation_txt | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионов газа с их захватом растворенными атомами примеси. Полученные зависимости глубины проникновения азота в аустенитную сталь хорошо коррелируют с имеющимися экспериментальными данными. Показано, что для различных условий ионной обработки существует оптимальное значение ионного тока, которое позволяет проводить процесс ионного азотирования с минимальными затратами.
Методами математичного моделювання досліджені процеси формування азотованих шарів у сплавах під впливом
низькоенергетичних іонних потоків. Показано що зміна концентрації азоту у матеріалах обумовлена процесами розпилу
поверхні та термічної дифузії імплантованих іонів з подальшим їх захватом розчиненими атомами домішок. Отримані
залежності глибини проникнення азоту у аустенітну сталь гарно корелюють з отриманими експериментальними даними.
Показано, що для різних умов іонної обробки існує оптимальне значення іонного току, яке дозволяє проводити процесс
іонного азотування з мінімальними затратами.
A computer simulation of alloys ion nitriding has been developed. The nitration rate of steel surface layers has been estimated
at various temperatures and ion current densities. The obtained data on the ion penetration are in a good agreement with the
current experimental data. It is revealed that for various ion treatment conditions there is an optimum ion current value, by which
the losses of the ion nitration are minimum.
|
| first_indexed | 2025-11-25T09:36:08Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80235 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T09:36:08Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. 2015-04-13T17:55:48Z 2015-04-13T17:55:48Z 2006 Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 УДК 621.384.6 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80235 Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионов газа с их захватом растворенными атомами примеси. Полученные зависимости глубины проникновения азота в аустенитную сталь хорошо коррелируют с имеющимися экспериментальными данными. Показано, что для различных условий ионной обработки существует оптимальное значение ионного тока, которое позволяет проводить процесс ионного азотирования с минимальными затратами. Методами математичного моделювання досліджені процеси формування азотованих шарів у сплавах під впливом
 низькоенергетичних іонних потоків. Показано що зміна концентрації азоту у матеріалах обумовлена процесами розпилу
 поверхні та термічної дифузії імплантованих іонів з подальшим їх захватом розчиненими атомами домішок. Отримані
 залежності глибини проникнення азоту у аустенітну сталь гарно корелюють з отриманими експериментальними даними.
 Показано, що для різних умов іонної обробки існує оптимальне значення іонного току, яке дозволяє проводити процесс
 іонного азотування з мінімальними затратами. A computer simulation of alloys ion nitriding has been developed. The nitration rate of steel surface layers has been estimated
 at various temperatures and ion current densities. The obtained data on the ion penetration are in a good agreement with the
 current experimental data. It is revealed that for various ion treatment conditions there is an optimum ion current value, by which
 the losses of the ion nitration are minimum. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах Високодозна низькоенергетична іонна імплантація азоту у сплавах Hihg dose low energy ion implantation in alloys Article published earlier |
| spellingShingle | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_alt | Високодозна низькоенергетична іонна імплантація азоту у сплавах Hihg dose low energy ion implantation in alloys |
| title_full | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_fullStr | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_full_unstemmed | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_short | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_sort | высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80235 |
| work_keys_str_mv | AT marčenkoig vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah AT marčenkoii vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah AT neklûdovim vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah AT marčenkoig visokodoznanizʹkoenergetičnaíonnaímplantacíâazotuusplavah AT marčenkoii visokodoznanizʹkoenergetičnaíonnaímplantacíâazotuusplavah AT neklûdovim visokodoznanizʹkoenergetičnaíonnaímplantacíâazotuusplavah AT marčenkoig hihgdoselowenergyionimplantationinalloys AT marčenkoii hihgdoselowenergyionimplantationinalloys AT neklûdovim hihgdoselowenergyionimplantationinalloys |