Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Марченко, И.Г., Марченко, И.И., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80235
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионо...