Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия

С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2006
Автори: Пеньков, А.В., Зубарев, Е.Н., Польцева, О.В., Пономаренко, А.Г., Кондратенко, В.В., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80237
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80237
record_format dspace
spelling Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
2015-04-13T18:03:11Z
2015-04-13T18:03:11Z
2006
Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
1562-6016
УДК 621.785.3:539.216.2
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80237
С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово-равновесной системе MoSi₂/Si. Начало процесса ионно-лучевого перемешивания в композициях Mo/Si обусловлено наличием в исходном состоянии перемешанных зон между молибденом и кремнием. Введение углеродных барьерных слоев между молибденом и кремнием препятствует формированию перемешанных зон и повышает радиационную стойкость. Установлена зависимость изменения толщин слоев многослойного покрытия от дозы облучения.
За допомогою електронної мікроскопії поперечних зрізів і малокутової рентгенівської дифрактометрії досліджені початкові стадії іонно-променевого перемішування в багатошарових плівкових композиціях Mo/Si і Mo/C/Si/C при опромінюванні іонами гелію з енергією 40 кэВ. Показана відсутність перемішування у фазовій-рівноважній системі MoSi₂/Si. Початок процесу іонно-променевого перемішування в композиціях Mo/Si обумовлений наявністю в початковому стані перемішаних зон між молібденом і кремнієм. Введення вуглецевих бар'єрних шарів між молібденом і кремнієм перешкоджає формуванню перемішаних зон і підвищує радіаційну стійкість. Встановлена залежність зміни товщини шарів багатошарового покриття від дози опромінювання.
The initial stages of ion-beam mixing are explored in Mo/Si and Mo/C/Si/C multilayers at an irradiation by 40 кэВ helium ions using electron microscopy of cross-sections and low angle x-ray diffractometry. Absence of interfusion is shown in the immiscible system MoSi₂/Si. Beginning of process of ion-beam mixing in Mo/Si composition is caused by presence in the initial state of the mixed zones between molybdenum and silicon. Introduction of carbon barrier layers between molybdenum and silicon blocks forming of the mixed zones and increase radiation stability. Dependence of layer thicknesses versus irradiation dose was studied.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
Міжшарове перемішування в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si, MoSi₂/Si і Mo/C/Si/C при опромінюванні іонами гелію
Interlayer mixing in Mo/Si, MoSi₂/Si and Mo/C/Si/C multilayers during irradiation by helium ions
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
spellingShingle Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_full Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_fullStr Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_full_unstemmed Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_sort межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях mo/si, mosi₂/si и mo/c/si/c при облучении ионами гелия
author Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
author_facet Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2006
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Міжшарове перемішування в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si, MoSi₂/Si і Mo/C/Si/C при опромінюванні іонами гелію
Interlayer mixing in Mo/Si, MoSi₂/Si and Mo/C/Si/C multilayers during irradiation by helium ions
description С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово-равновесной системе MoSi₂/Si. Начало процесса ионно-лучевого перемешивания в композициях Mo/Si обусловлено наличием в исходном состоянии перемешанных зон между молибденом и кремнием. Введение углеродных барьерных слоев между молибденом и кремнием препятствует формированию перемешанных зон и повышает радиационную стойкость. Установлена зависимость изменения толщин слоев многослойного покрытия от дозы облучения. За допомогою електронної мікроскопії поперечних зрізів і малокутової рентгенівської дифрактометрії досліджені початкові стадії іонно-променевого перемішування в багатошарових плівкових композиціях Mo/Si і Mo/C/Si/C при опромінюванні іонами гелію з енергією 40 кэВ. Показана відсутність перемішування у фазовій-рівноважній системі MoSi₂/Si. Початок процесу іонно-променевого перемішування в композиціях Mo/Si обумовлений наявністю в початковому стані перемішаних зон між молібденом і кремнієм. Введення вуглецевих бар'єрних шарів між молібденом і кремнієм перешкоджає формуванню перемішаних зон і підвищує радіаційну стійкість. Встановлена залежність зміни товщини шарів багатошарового покриття від дози опромінювання. The initial stages of ion-beam mixing are explored in Mo/Si and Mo/C/Si/C multilayers at an irradiation by 40 кэВ helium ions using electron microscopy of cross-sections and low angle x-ray diffractometry. Absence of interfusion is shown in the immiscible system MoSi₂/Si. Beginning of process of ion-beam mixing in Mo/Si composition is caused by presence in the initial state of the mixed zones between molybdenum and silicon. Introduction of carbon barrier layers between molybdenum and silicon blocks forming of the mixed zones and increase radiation stability. Dependence of layer thicknesses versus irradiation dose was studied.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80237
citation_txt Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT penʹkovav mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT zubareven mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT polʹcevaov mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT ponomarenkoag mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT kondratenkovv mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT bobkovvv mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT peregonti mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT tiŝenkolp mežsloevoeperemešivanievmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT penʹkovav mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT zubareven mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT polʹcevaov mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT ponomarenkoag mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT kondratenkovv mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT bobkovvv mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT peregonti mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT tiŝenkolp mížšaroveperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihkompozicíâhmosimosi2siímocsicpriopromínûvannííonamigelíû
AT penʹkovav interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT zubareven interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT polʹcevaov interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT ponomarenkoag interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT kondratenkovv interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT bobkovvv interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT peregonti interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
AT tiŝenkolp interlayermixinginmosimosi2siandmocsicmultilayersduringirradiationbyheliumions
first_indexed 2025-12-07T18:36:26Z
last_indexed 2025-12-07T18:36:26Z
_version_ 1850875667416088576