Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микр...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862663644992503808 |
|---|---|
| author | Кунченко, В.В. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. Неклюдов, И.М. Мигаль, А.А. Романов, А.А. Гладких, Н.Т. Крышталь, А.П. Казаринов, Ю.Г. |
| author_facet | Кунченко, В.В. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. Неклюдов, И.М. Мигаль, А.А. Романов, А.А. Гладких, Н.Т. Крышталь, А.П. Казаринов, Ю.Г. |
| citation_txt | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний.
Показано, що в певних умовах вакуумно-дугового осадження покриттів на основі сплавів титану з 6...10 ваг. % Si в
атмосфері азоту, формуються надтверді покриття nc-Ti/a-Si₃N₄ (50...60 ГПа). На відміну від аналогічних покриттів,
одержуваних методами CVD й PVD (магнетрон), такі покриття мають мікронанослойну структуру. Стійкість обробного
інструмента з такими покриттями перевищує стійкість стандартних покриттів Ti в 2-3 рази в порівнянних умовах
випробувань.
It is Shown possibility of reception superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatings by vacuum-arc deposition method with use the alloys
Ti with 6…10 weight % Si. Changes of the phase composition, structured condition, microhardnest and others studied depending
on pressures of nitrogen at condensations. Flaky structure of coating is installed. The brought results of comparative test has
checked against nc-TiN/a-Si₃N₄ coating. Their supremacy is shown in contrast with TiN coating.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:12:17Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80239 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:12:17Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, В.В. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. Неклюдов, И.М. Мигаль, А.А. Романов, А.А. Гладких, Н.Т. Крышталь, А.П. Казаринов, Ю.Г. 2015-04-13T18:14:50Z 2015-04-13T18:14:50Z 2006 Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239 611-018.54; 621.793.1 Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний. Показано, що в певних умовах вакуумно-дугового осадження покриттів на основі сплавів титану з 6...10 ваг. % Si в
 атмосфері азоту, формуються надтверді покриття nc-Ti/a-Si₃N₄ (50...60 ГПа). На відміну від аналогічних покриттів,
 одержуваних методами CVD й PVD (магнетрон), такі покриття мають мікронанослойну структуру. Стійкість обробного
 інструмента з такими покриттями перевищує стійкість стандартних покриттів Ti в 2-3 рази в порівнянних умовах
 випробувань. It is Shown possibility of reception superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatings by vacuum-arc deposition method with use the alloys
 Ti with 6…10 weight % Si. Changes of the phase composition, structured condition, microhardnest and others studied depending
 on pressures of nitrogen at condensations. Flaky structure of coating is installed. The brought results of comparative test has
 checked against nc-TiN/a-Si₃N₄ coating. Their supremacy is shown in contrast with TiN coating. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения Наноструктурні надтверді nc-Ti/а-Si₃N₄-покриття, отримані методом вакуумно-дугового осадження Nanostructure superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatins, got by vacuum-arc deposition method Article published earlier |
| spellingShingle | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения Кунченко, В.В. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. Неклюдов, И.М. Мигаль, А.А. Романов, А.А. Гладких, Н.Т. Крышталь, А.П. Казаринов, Ю.Г. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_alt | Наноструктурні надтверді nc-Ti/а-Si₃N₄-покриття, отримані методом вакуумно-дугового осадження Nanostructure superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatins, got by vacuum-arc deposition method |
| title_full | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_fullStr | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_full_unstemmed | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_short | Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_sort | наноструктурные сверхтвёрдые nc-tin/а-si₃n₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkovv nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kunčenkoûv nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kartmazovgn nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT neklûdovim nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT migalʹaa nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT romanovaa nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT gladkihnt nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kryštalʹap nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kazarinovûg nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kunčenkovv nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT kunčenkoûv nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT kartmazovgn nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT neklûdovim nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT migalʹaa nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT romanovaa nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT gladkihnt nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT kryštalʹap nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT kazarinovûg nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT kunčenkovv nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT kunčenkoûv nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT kartmazovgn nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT neklûdovim nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT migalʹaa nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT romanovaa nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT gladkihnt nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT kryštalʹap nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod AT kazarinovûg nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod |