Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения

Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микр...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2006
Main Authors: Кунченко, В.В., Кунченко, Ю.В., Картмазов, Г.Н., Неклюдов, И.М., Мигаль, А.А., Романов, А.А., Гладких, Н.Т., Крышталь, А.П., Казаринов, Ю.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80239
record_format dspace
spelling Кунченко, В.В.
Кунченко, Ю.В.
Картмазов, Г.Н.
Неклюдов, И.М.
Мигаль, А.А.
Романов, А.А.
Гладких, Н.Т.
Крышталь, А.П.
Казаринов, Ю.Г.
2015-04-13T18:14:50Z
2015-04-13T18:14:50Z
2006
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239
611-018.54; 621.793.1
Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний.
Показано, що в певних умовах вакуумно-дугового осадження покриттів на основі сплавів титану з 6...10 ваг. % Si в атмосфері азоту, формуються надтверді покриття nc-Ti/a-Si₃N₄ (50...60 ГПа). На відміну від аналогічних покриттів, одержуваних методами CVD й PVD (магнетрон), такі покриття мають мікронанослойну структуру. Стійкість обробного інструмента з такими покриттями перевищує стійкість стандартних покриттів Ti в 2-3 рази в порівнянних умовах випробувань.
It is Shown possibility of reception superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatings by vacuum-arc deposition method with use the alloys Ti with 6…10 weight % Si. Changes of the phase composition, structured condition, microhardnest and others studied depending on pressures of nitrogen at condensations. Flaky structure of coating is installed. The brought results of comparative test has checked against nc-TiN/a-Si₃N₄ coating. Their supremacy is shown in contrast with TiN coating.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
Наноструктурні надтверді nc-Ti/а-Si₃N₄-покриття, отримані методом вакуумно-дугового осадження
Nanostructure superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatins, got by vacuum-arc deposition method
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
spellingShingle Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
Кунченко, В.В.
Кунченко, Ю.В.
Картмазов, Г.Н.
Неклюдов, И.М.
Мигаль, А.А.
Романов, А.А.
Гладких, Н.Т.
Крышталь, А.П.
Казаринов, Ю.Г.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
title_full Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
title_fullStr Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
title_full_unstemmed Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
title_sort наноструктурные сверхтвёрдые nc-tin/а-si₃n₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
author Кунченко, В.В.
Кунченко, Ю.В.
Картмазов, Г.Н.
Неклюдов, И.М.
Мигаль, А.А.
Романов, А.А.
Гладких, Н.Т.
Крышталь, А.П.
Казаринов, Ю.Г.
author_facet Кунченко, В.В.
Кунченко, Ю.В.
Картмазов, Г.Н.
Неклюдов, И.М.
Мигаль, А.А.
Романов, А.А.
Гладких, Н.Т.
Крышталь, А.П.
Казаринов, Ю.Г.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2006
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Наноструктурні надтверді nc-Ti/а-Si₃N₄-покриття, отримані методом вакуумно-дугового осадження
Nanostructure superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatins, got by vacuum-arc deposition method
description Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний. Показано, що в певних умовах вакуумно-дугового осадження покриттів на основі сплавів титану з 6...10 ваг. % Si в атмосфері азоту, формуються надтверді покриття nc-Ti/a-Si₃N₄ (50...60 ГПа). На відміну від аналогічних покриттів, одержуваних методами CVD й PVD (магнетрон), такі покриття мають мікронанослойну структуру. Стійкість обробного інструмента з такими покриттями перевищує стійкість стандартних покриттів Ti в 2-3 рази в порівнянних умовах випробувань. It is Shown possibility of reception superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatings by vacuum-arc deposition method with use the alloys Ti with 6…10 weight % Si. Changes of the phase composition, structured condition, microhardnest and others studied depending on pressures of nitrogen at condensations. Flaky structure of coating is installed. The brought results of comparative test has checked against nc-TiN/a-Si₃N₄ coating. Their supremacy is shown in contrast with TiN coating.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239
citation_txt Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kunčenkovv nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kunčenkoûv nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kartmazovgn nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT neklûdovim nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT migalʹaa nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT romanovaa nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT gladkihnt nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kryštalʹap nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kazarinovûg nanostrukturnyesverhtverdyenctinasi3n4pokrytiâpolučennyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kunčenkovv nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT kunčenkoûv nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT kartmazovgn nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT neklûdovim nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT migalʹaa nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT romanovaa nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT gladkihnt nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT kryštalʹap nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT kazarinovûg nanostrukturnínadtverdínctiasi3n4pokrittâotrimanímetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT kunčenkovv nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT kunčenkoûv nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT kartmazovgn nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT neklûdovim nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT migalʹaa nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT romanovaa nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT gladkihnt nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT kryštalʹap nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
AT kazarinovûg nanostructuresuperhardnctinasi3n4coatinsgotbyvacuumarcdepositionmethod
first_indexed 2025-12-07T15:12:17Z
last_indexed 2025-12-07T15:12:17Z
_version_ 1850862823551270912

Similar Items