Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Кунченко, В.В., Кунченко, Ю.В., Картмазов, Г.Н., Неклюдов, И.М., Мигаль, А.А., Романов, А.А., Гладких, Н.Т., Крышталь, А.П., Казаринов, Ю.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80239
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения / В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов, А.А. Мигаль, А.А. Романов, Н.Т. Гладких, А.П. Крышталь, Ю.Г. Казаринов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 185-190. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микр...