Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
Проведена оценка степени диссоциации молекулярного водорода по измеренному отношению интенсивности линии Нα атомарного водорода и интегральной интенсивности линий фулферовой α-системы в высокочастотном разряде низкого давления с пространственно неоднородным распределением электрического поля. Получе...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80291 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления / П.Г. Крышталь, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 191-194. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859995228357787648 |
|---|---|
| author | Крышталь, П.Г. Широков, Б.М. |
| author_facet | Крышталь, П.Г. Широков, Б.М. |
| citation_txt | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления / П.Г. Крышталь, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 191-194. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Проведена оценка степени диссоциации молекулярного водорода по измеренному отношению интенсивности линии Нα атомарного водорода и интегральной интенсивности линий фулферовой α-системы в высокочастотном разряде низкого давления с пространственно неоднородным распределением электрического поля. Полученные значения степени диссоциации характеризуют область поглощения высокочастотной мощности (скин-слой) в данном разряде.
Проведена оцінка ступеня дисоціації молекулярного водороду по зміряному відношенню інтенсивності лінії Нα атомарного водороду і інтегральної інтенсивності ліній фулферової α-системи в високочастотному розряді низького тиску з просторово неоднородним розподілом электричного поля. Отримані значення ступеня дисоціації характеризують область поглинення высокочастотної потужності (скин-шар) в даному розряді.
The estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium under the measured ratio of intensity of a line Ha of an atomic hydrogen
and integral intensity of lines fulcher α-system in high-frequency discharge of low pressure with spatially nonuniform distribution of electric
field is conducted. The obtained values of a degree of dissociation characterize area of absorption of high-frequency power (skin - layer) in this
discharge.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:33:53Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 533.9:546.11
ОЦЕНКА СТЕПЕНИ ДИССОЦИАЦИИ МОЛЕКУЛЯРНОГО
ВОДОРОДА В ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОМ
ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
П.Г. Крышталь, Б.М. Широков
ННЦ «Харьковский физико-технический институт»,
г. Харьков, Украина
Проведена оценка степени диссоциации молекулярного водорода по измеренному отношению интенсивности линии
Нα атомарного водорода и интегральной интенсивности линий фулферовой α-системы в высокочастотном разряде низ-
кого давления с пространственно неоднородным распределением электрического поля. Полученные значения степени
диссоциации характеризуют область поглощения высокочастотной мощности (скин-слой) в данном разряде.
1.ВВЕДЕНИЕ
Плазмохимические технологии могут эффектив-
но развиваться только при наличии достаточно про-
стых методов диагностики, позволяющих проводить
оперативные измерения основных параметров плаз-
мы. Одним из наиболее важных параметров молеку-
лярной плазмы является степень диссоциации рабо-
чего газа. Степень диссоциации молекулярного во-
дорода можно определить, измеряя концентрацию
атомов водорода. В настоящее время известно
несколько методов измерения концентрации атомов
водорода: метод лазерно-индуци-рованной флуорес-
ценции на линии Нα (λ=656,3 нм) [1, 2], метод резо-
нансно-усиленной многофотонной ионизации [3],
масс-спектроскопические методы [4], метод элек-
тронного парамагнитного резонанса [5], адсорбци-
онные измерения на линии Нα [6] и т.д. Однако дан-
ные методы предполагают использование сложного
спектрометрического оборудования и изготовление
специальных диагностических секций установок,
что практически исключает применение этих мето-
дов в реальном плазмохимическом эксперименте.
Среди других методов определения концентрации
атомарного водорода отметим достаточно простой
актинометрический метод [7], основанный на до-
бавлении в разрядную среду химически инертного
газа (аргон или криптон) с известными спектроско-
пическими данными. Тем не менее, успешное при-
менение данного метода в разрядах низкого давле-
ния требует дополнительной информации о заселён-
ности метастабильных состояний актинометра и
степени ионизации газовой смеси.
В настоящей работе проведено определение сте-
пени диссоциации молекулярного водорода из отно-
шения интенсивности линии Нα атомарного водоро-
да и интегральной интенсивности линий фулферо-
вой α (d3Пu, ν′→а3 ∑ +
q , ν′′; ν′=ν′′= 0,1,2,3) – систе-
мы в импульсно-периодическом высокочастотном
(ВЧ) разряде низкого давления.
2.ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА
Экспериментальная установка состоит из модер-
низированного ВЧ-генератора ВЧИ-63/0,44, работа-
ющего на частоте ƒ= 0,833⋅103 Гц; разрядной каме-
ры; системы откачки, обеспечивающей давление
остаточных газов в камере 1⋅10-3 Торр., и системы
напуска газов. Разрядная камера расположена вер-
тикально и представляет собой трубу из кварцевого
стекла диаметром 150 мм, высотой 600 мм, которую
охватывает цилиндрический индуктор, состоящий
из 7 витков с внутренним диаметром 160 мм и дли-
ной 180 мм. Внутри кварцевой трубы размещена ци-
линдрическая медная щелевая камера с внутренним
диаметром 100 мм и длиной 490 мм. Металлическая
камера и индуктор охлаждаются проточной водой.
Водород подаётся в камеру аксиально, расход со-
ставлял 40 л/ч при давлении газа 80 Па.
ВЧ-генератор работал в импульсно-периоди-че-
ском режиме с выходной мощностью до 60 кВт, при
длительности импульса τи= 4,5⋅10-3 с и частоте сле-
дования импульсов 150 Гц. Мощность, вкладывае-
мая в разряд, регулировалась изменением связи
между колебательными контурами генератора.
Поглощённая в разряде мощность определялась с
помощью калориметрических измерений энергии
поглощённой стенкой медной камеры. Данные из-
мерения дают возможность определить как сред-
нюю, так и импульсную мощность, поглощенную в
плазме.
При индукционном способе возбуждения ВЧ-
разряда электрическое поле в разряде есть сумма
продольного поля Еz, обусловленного ВЧ-напряже-
нием, приложенным к выводам индуктора и азиму-
тального поля Еϕ, обусловленного изменяющимся
во времени магнитным потоком [8, 9]. Наличие мед-
ной щелевой камеры, длина которой в 3 раза
больше длины индуктора, полностью экранирует
продольную компоненту электрического поля [10,
11], и в исследуемом разряде реализуется чисто ин-
дукционный способ зажигания и поддержания ВЧ-
разряда. Напряжённость азимутального электриче-
ского поля максимальна возле стенки камеры и спа-
дает до нуля на оси разрядной камеры. Типичные
значения напряжённости электрического поля нахо-
дятся в пределах 3…5 В/см.
_________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 4.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (89), с. 191-194.
191
В центральной части металлической камеры, на-
ходящейся между 3- и 4-м витками индуктора, две
ее секции были развёрнуты таким образом, чтобы
образовать продольную щель шириной 2 мм, позво-
ляющую проводить спектроскопические измерения.
Излучение плазмы разряда, отбираемое через эту
щель, при помощи оптической системы из
2-х линз фокусировалось в плоскость входной щели
монохроматора МДР-23 с дифракционной решёткой
1200 штр/мм. Ширина входной и выходной щелей
монохроматора устанавливались равной 20 мкм. В
качестве приёмника излучения использовался ФЭУ-
84. Сигнал ФЭУ после усиления регистрировался
либо осциллографом С8-17, либо записывался на
потенциометре КСП-4 при проведении усреднён-
ных по времени измерений. Наличие узкой щели на
боковой поверхности камеры приводит к тому, что
оптическая система собирает излучение плазмы
преимущественно из периферийной зоны разряда.
Характерный линейный размер выделенного объёма
плазмы вдоль луча зрения оптической системы оце-
нивается равным 1 см. Данная конструктивная осо-
бенность разрядной камеры не даёт возможности
провести прямую экспериментальную проверку на-
личия или отсутствия самопоглощения спектраль-
ных линий в плазме разряда.
3.МЕТОД ДИАГНОСТИКИ
И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ДАННЫЕ
Степень диссоциации молекулярного водорода
определяется из отношения интенсивности линии Н
α атомарного водорода и интегральной интенсивно-
сти линий фулферовой αН2(d3Пu) (d3Пu, ν′→а3 ∑ +
g ,
ν′′; ν′=ν′′=0,1,2,3)-системы [12]. В условиях ВЧ-
разряда низкого давления основным каналом засе-
ления Н2(d3Пu) является реакция
е+Н2(х1 ν ′′∑ + ,
g )→е+Н2(d3Пu,ν′<4), (1)
что даёт возможность представить интегральную
интенсивность линий этой системы в виде:
I 2H =const⋅ne⋅nН 2 eH2
εσ ⋅
, (2)
где ne и nH 2 – концентрации электронов и молеку-
лярного водорода соответственно, а eH εσ ⋅2 –
константа скорости возбуждения состояния
Н2(d3Пu). Каскадное заселение Н2(d3Пu) в условиях
исследуемого разряда считаем несущественным. Ра-
диационный распад состояния Н2(d3Пu) возможен
только в состояние Н2(а3 ∑ +
g ) [13], поэтому, ис-
пользуя при расчёте константы скорости реакции
(1) набор сечений из [14], мы обеспечиваем равен-
ство константы скорости заселения состояния
Н2(d3Пu) и константы скорости возбуждения данной
α-системы Фулфера.
Полагая, что атомы водорода в состоянии Н* (n
= 3) образуются как в результате прямого возбу-
ждения электронным ударом из основного состоя-
ния атома водорода, так и в результате диссоциа-
тивного распада молекулы Н2:
е+Н2(х1 ν ′′∑ + ,g )→е+Н(1S)+(3l), (3)
интенсивности линии Нα можно представить в виде
IHα=const(ne⋅nн2
e
дис
H2
εσ ⋅
+ne⋅nн
e
прям
H εσ α ⋅
), (4)
где nH – концентрация атомов водорода в основном
состоянии; e
дис
H2
εσ ⋅
и e
прям
H εσ α ⋅
– константы
скоростей диссоциативного и прямого возбуждения
линии Нα электронным ударом. В этом случае
константа скорости возбуждения линии Нα получа-
ется умножением константы скорости возбуждения
состояния Н* (n = 3) на Аki/ΣАkj, где Аki – вероятность
спонтанного перехода между уровнями k и i.
Разделив (4) на (2), получаем рабочую формулу
для определения степени диссоциации водорода:
,
Kd1
Kd2
I
I
eH
e
прям
H
eH
e
дис
H
H
H
222 εσ
εσ
εσ
εσ ααα
⋅
⋅
⋅
−
+
⋅
⋅
= (5)
где Kd = nH/2– определяемая степень диссоциации;
0
H2
n – начальная концентрация молекул Н2.
Значения констант скорости реакций (1) и (3)
определялись из соотношения
,0 )()(2 εεεεσεσ df
m
⋅∫ ∞ ⋅⋅⋅=⋅ (6)
где m и ε – масса и энергия электрона; )(εσ – се-
чение процесса; а )(εf – функция распределения
электронов по энергиям (ФРЭЭ). В пространствен-
но однородном ВЧ-поле при разряде в водороде
ФРЭЭ определяется величиной приведенного элек-
трического поля Еэ /N, где Еэ = 0,707
2
1
22 )( ϖ+
⋅
v
vE
–
эффективное электрическое поле; Е и ω – ам-
плитудная и круговая частота ВЧ-поля; ν – частота
столкновений электрона с молекулами; N – концен-
трация молекул. В этом случае ФРЭЭ и соответ-
ствующие константы скорости получают из числен-
ного решения уравнения Больцмана для электронов
с использованием двухчленного приближения при
разложении ФРЭЭ в ряд по сферическим гармони-
кам [15].
Исследуемый индукционный ВЧ-разряд характе-
ризуется пространственно неоднородным распреде-
лением электрического поля. Оценки радиального
распределения напряжённости электрического поля,
проведенные согласно [16], показывают, что в ис-
следуемом разряде при концентрации электронов
ne ≤ 5⋅1011 см-3 напряжённость электрического поля
изменяется линейно с радиусом, а при более высо-
ких значениях ne – зависимость Е(r) нелинейная. В
этом случае наиболее существенные изменения
электрического поля происходят на глубине скин-
слоя δ, которая в исследуемом диапазоне вкладыва-
_________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 4.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (89), с. 191-194.
192
емых в плазму мощностей (Р = 15…27 кВт) близкая
к δ ≈ 1 см.
Пространственная неоднородность электронного
поля считается малой при выполнении условия а>>
λ, где а – характерный размер неоднородности,
определяемый а=
dr
rdErE )(/
2
2 , [17]
где λ – длина свободного пробега электрона.
В этом случае ФРЭЭ в каждой точке определяет-
ся локальным значением приведенного электриче-
ского поля в данной точке. В [18] показано, что при-
ближение локального электрического поля выпол-
няется при градиенте приведенного электрического
поля меньше 400 Тd/см. Данное значение суще-
ственно превышает возможные градиенты Еэ/N в
нашем разряде.
Радиальный профиль газовой температуры Тr(r)
при ВЧ-разряде в металлической разрезной камере
измерить сложно, однако известно, что в разряде та-
кого типа Тr имеет минимальное значение возле
стенки камеры и растёт с уменьшением ее радиуса.
Так, расчёты, выполненные в [19], показали, что
при изменении радиуса камеры от R до r = 0,8R (где
R – радиус разрядной камеры) Тr возрастает пример-
но в 3 раза.
Таким образом, в одной и той же области разря-
да уменьшение напряжённости электрического поля
сопровождается увеличением газовой температуры,
что в условиях изобарического нагрева газа приво-
дит к тому, что, несмотря на изменение Е в е раз,
изменение параметра Еэ/N в области скин-слоя не-
значительно, и мы можем ввести среднее приведен-
ное электрическое поле для этой области. Данное
обстоятельство даёт возможность использовать для
вычисления ФРЭЭ, а следовательно, и искомых
констант скорости программы численного решения
в уравнении Больцмана для пространственно-одно-
родного электрического поля. Константа скорости
прямого возбуждения линии Нα из основного состо-
яния атомов водорода рассчитывалась согласно
[20], при этом ФРЭЭ предполагалась макс-
велловской.
Рассчитанные зависимости степени диссоциации
молекулярного водорода от отношения интенсивно-
сти линии Нα к интегральной интенсивности линии
α-системы Фулфера (d3Пu,ν′→а3 ∑ +
g ,ν′′; ν′=ν′′
=0,1,2,3) для электронных температур Те=1,6; 2,0;
5,0 эВ приведены на рисунке. Отношение интенсив-
ностей линии Нα и линий α-системы Фулфера мо-
жет быть существенно искажено самопоглощением
линии Нα. Прозрачность плазмы на заданной длине
волны определяется значением оптической глубины
плазмы KR , определённой соотношением [21]
KR = ,
4
4
2ln RqnpqA
gq
pq
pqc
pq ⋅⋅⋅⋅⋅
∆
⋅ µ
λ
λ
ππ
(7)
где К – коэффициент поглощения; R – характерный
размер плазменного объёма, из которого принима-
ется излучение; Аpq – вероятность спонтанного пере-
хода p→q; λpq – длина волны перехода; nq – плот-
ность заселённости нижнего состояния перехода;
gi – статистические веса; с – скорость света;
µ – геометрический фактор, равный 1,2 для разряда
цилиндрической формы и pqλ∆ – полуширина эл-
липтического профиля линии. Полагая pqλ∆
=0,02 нм, а R =1 см, для линии Нλ получаем KR
2101 −⋅≤ при nq 101⋅≤ см-3, т.е. при концентрации
атомов водорода в состоянии Н*(n=2) меньшей
10101 ⋅ см-3 самопоглощением можно пренебречь.
0,01 0,1 1
0,1
1
10
100
1000
Kd
B
D
F
Рассчитанные зависимости степени диссоциации
молекулярного водорода для температуры
электронов В – 1,6 эВ; D – 2,0 эВ; F – 5,0 эВ
Авторы работы [2] измерили плотность заселён-
ности возбуждённого состояния атомов водорода
Н*(n=2) методом лазерной флуоресцентной спек-
троскопии на линии Нα. Параметры плазмы в [2]:
концентрация электронов ne=5⋅1011 см-3, температу-
ра электронов Те = 1,57 эВ и концентрация молеку-
лярного водорода nH2=9,8⋅1013 см-3 достаточно близ-
ки к параметрам нашего разряда ne ≈ 5⋅1012 см-3 Те =
1,6…2,0 эВ. Измеренная концентрация атомов водо-
рода в состоянии Н*(n=2) составляла 4,6⋅107 см-3,
что даёт возможность полагать, что условие nН*(n=2) ≤
1⋅1010 см-3 в нашем ВЧ-разряде выполняется. Экспе-
риментально установлено, что интенсивность излу-
чения линии Нα растёт с увеличением вкладываемой
в плазму мощности.
Измерения проводились при давлении водорода
80 Па. ВЧ-мощность, поглощенная в плазме, изме-
нялась в пределах Р = 15…27 кВт. Спектр водорода
снимался перпендикулярно оси камеры в диапазоне
длин волн 600…650 нм. Идентификация спектра
проводилась при помощи таблиц [22]. Газовая тем-
пература определялась по относительной интенсив-
ности линий вращательной структуры α-системы
Фулфера (d3Пu, ν′→а3 ∑ +
g , ν′′; ν′=ν′′=0) с времен-
ным разрешением 4101 −⋅ с.
Типичные значения Тr = 1900…2000 К. Темпера-
тура электронов измерялась двойным зондом и из-
_________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 4.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (89), с. 191-194.
193
менялась в пределах Те=1,6…2,0 эВ. Измеренному
значению температуры электронов соответствует
средняя энергия электронов ,
2
3
eKT=ε для которой
и определяли значение параметра Еэ/N. Для полу-
ченного значения Еэ/N рассчитывали константы ско-
ростей реакций (1) и (3). В диапазоне значений при-
веденного электронного поля (45 ≤ Еэ/N ≤ 70 Td)
вычисленные значения характеристической энергии
электронов отличаются от измеренных значений Те
не более чем на 8%, т.е. ФРЭЭ в нашем разряде
близка к максвелловской. Степень диссоциации мо-
лекулярного водорода при давлении 80 Па в иссле-
дованном диапазоне вкладываемых в плазму мощ-
ностей достигает 75%.
4.ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Показана возможность оценки степени диссоци-
ации молекулярного водорода в ВЧ индукционном
разряде низкого давления с пространственно-неод-
нородным распределением электрического поля.
Отметим простоту и достаточно высокую чувстви-
тельность метода особенно в области низких элек-
тронных температур. Полученные значения степени
диссоциации характеризуют область поглощения
ВЧ-мощности (скин-слой) в данном разряде.
ЛИТЕРАТУРА
1.Ю.В. Гутарев, А.Г. Дикий, П.Г. Крышталь и др.
Локальные измерения плотности атомов водорода в
стеллараторе Ураган-2 //Физика плазмы. 1984, т. 10,
№ 3, с. 635–637.
2.N.P.S. Nightingale, A.J.T. Holmes, N.J. Forrest et al.
Spectroscopic measurements of neutral hydrogen level
population in a multipole H-source //Journal of Physics
D: Applied Physics. 1986, v. 19, p. 1707–1722.
3.F.G. Celli, J.E. Butler. Hudrogen atom detection in
the filament-assisted diamond deposition environment
//Applied Physics Letters. 1989, v. 54, N 11,
p. 1031–1033.
4.W.L. Hsu. Mole fractions of H, CH3 and other
species during filament-assisted diamond growth //Ap-
plied Physics Letters. 1991, v. 59, N 12, p. 1427–1429.
5.B.J. Wood, J.S. Mills and H. Wise. Energy accom-
modation in exothermic heterogeneous catalytic reac-
tions //Journal Physics Chemestry. 1963, v. 67,
p. 1462–1465.
6.D.K. Otorbaev, A.J. M. Buuron, N.T. Guerassimov
et.al. Spectroscopic measurement of atomic hydrogen
level populations and hydrogen dissociation degree in
expanding cacaded arc plasmas //Journal of Applied
Physics. 1994, v. 76, N 8, p. 4499–4510.
7.Н.А. Дятко, Д.А. Кашко, А.Ф. Паль и др. Актино-
метрический метод контроля концентрации атомар-
ного водорода в тлеющем разряде //Физика плаз-
мы.1998, т. 24, № 12, с. 1114–1123.
8.J.E. Allen and S.E. Segre. The Electric Field in Sin-
gle-Turn and Multi-Sector Coils //Nuovo Cimento.
1961, v. 21, N 6, p. 980–987.
9.K. Chandrakar and von Engel. The Starting mecha-
nism of the first stage of the ring discharge //Proceed-
ings of the Royal Society. Ser. A. 1965, N 1398, v. 284,
p. 442–454.
10.S. Kubota. Study of Breakdown of by Purely Az-
imuthalElectric Fields //Journal of the Physical Society
of Japan. 1962, v. 17, p. 1314–1315.
11.B.B. Henriksen, D.R. Keefer and M.H. Clarkson.
Electromagnetic Field in Electrodeless Discharge
//Journal of Applied Physics. 1971, v. 42, N 13,
p. 5460–5464.
12.Ю.В. Злобина, В.М. Шибков, Л.В. Шибкова. На-
грев газа и диссоциация в импульсном разряде в во-
дороде //Физика плазмы. 1998, т. 24, № 7, с. 667–
671.
13.G. Herzberg. Molecular Spectra and Molecular
Structure I. Spectra of diatomic Moleculars //D.van
Nostrand Company. INC, 1966, p. 658.
14.G.R. Möhlmann and F.J. De Heer. Emission cross
sections of the H2(3p3Пu→2S3 ∑ +
g ) transition for elec-
tron impact on H2 //Chemical Physics Letters. 1976, v.
43, N 2, p. 240–244.
15.W.L. Morgan and B.M. Penetrante. ELENDIF: A
time dependent Boltzman Solver fer Partially Jonized
Plasmas //Computer Phisics Communications. 1990,
v. 58, p. 127–152.
16.P.N. Barnes. The electric field in an inductively
coupled low-power-density discharge with cylindrical
coils //Plasma Sources Science and Technology. 1997,
v. 6, p. 435–436.
17.О.А. Малкин. Импульсный ток и релаксация в
газе. М.: «Атомиздат», 1974, 280 с.
18.T.J. Moratz and L.C. Pitchford. Model Calculations
of electron Transport in Non-Uniform Fields //Bulletin
of the American Physical Society. 1985, v. 30, N 2,
p. 143.
19.J. Mostaghimi, P. Proulx and M.J. Boulos. A two-
temperature model of the inductively coupled plasma
//Journal of Applied Physics. 1987, v. 61, N 5,
p. 1753–1760.
20.R.K. Jаnev, W.D. Langer, K. Evans and D.E. Post.
Elementary Processes in Hydrogen-Helium Plasmas.
Berlin: Springer, 1987, 321 p.
21.Z. Qing, D.K. Otorbaev, G.J.H. Brussaard et al. Di-
agnostics of the magnetized low-pressure Hydrogen
plasma jet: Molecular regime //Journal of Applied
Physics. 1996, v. 80, N 3, p. 1312–1324.
22.H.M. Crosswhite. The Hydrogen Molecule Wave-
length Tables of Gerhard Heinrich Dieke, p. E6 – E8.
ОЦІНКА СТУПЕНЯ ДИСОЦІАЦІЇ МОЛЕКУЛЯРНОГО ВОДНЮ
У ІМПУЛЬСНО-ПЕРІОДИЧНОМУ ВИСОКОЧАСТОТНОМУ РОЗРЯДІ НИЗЬКОГО ТИСКУ
_________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 4.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (89), с. 191-194.
194
П.Г. Кришталь, Б.М. Широков
Проведена оцінка ступеня дисоціації молекулярного водороду по зміряному відношенню інтенсивності лінії Нα атомарного
водороду і інтегральної інтенсивності ліній фулферової α-системи в високочастотному розряді низького тиску з просторово
неоднородним розподілом электричного поля. Отримані значення ступеня дисоціації характеризують область поглинення высокоча-
стотнї потужності (скин-шар) в даному розряді.
ESTIMATE OF A DEGREE OF DISSOCIATION OF MOLECULAR HYDROGENIUM
IN A PULSEWISE - PERIODIC HIGH-FREQUENCY DISCHARGE OF LOW PRESSURE
P.G. Kryshtal, B.M. Shirokov
The estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium under the measured ratio of intensity of a line Ha of an atomic hydrogen
and integral intensity of lines fulcher α-system in high-frequency discharge of low pressure with spatially nonuniform distribution of electric
field is conducted. The obtained values of a degree of dissociation characterize area of absorption of high-frequency power (skin - layer) in this
discharge.
_________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 4.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (89), с. 191-194.
195
УДК 533.9:546.11
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80291 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:33:53Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крышталь, П.Г. Широков, Б.М. 2015-04-14T16:11:38Z 2015-04-14T16:11:38Z 2006 Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления / П.Г. Крышталь, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 191-194. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80291 533.9:546.11 Проведена оценка степени диссоциации молекулярного водорода по измеренному отношению интенсивности линии Нα атомарного водорода и интегральной интенсивности линий фулферовой α-системы в высокочастотном разряде низкого давления с пространственно неоднородным распределением электрического поля. Полученные значения степени диссоциации характеризуют область поглощения высокочастотной мощности (скин-слой) в данном разряде. Проведена оцінка ступеня дисоціації молекулярного водороду по зміряному відношенню інтенсивності лінії Нα атомарного водороду і інтегральної інтенсивності ліній фулферової α-системи в високочастотному розряді низького тиску з просторово неоднородним розподілом электричного поля. Отримані значення ступеня дисоціації характеризують область поглинення высокочастотної потужності (скин-шар) в даному розряді. The estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium under the measured ratio of intensity of a line Ha of an atomic hydrogen
 and integral intensity of lines fulcher α-system in high-frequency discharge of low pressure with spatially nonuniform distribution of electric
 field is conducted. The obtained values of a degree of dissociation characterize area of absorption of high-frequency power (skin - layer) in this
 discharge. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления Оцінка ступеня дисоціації молекулярного водню у імпульсно-періодичному високочастотному розряді низького тиску Estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium in a pulsewise - periodic high-frequency discharge of low pressure Article published earlier |
| spellingShingle | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления Крышталь, П.Г. Широков, Б.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| title_alt | Оцінка ступеня дисоціації молекулярного водню у імпульсно-періодичному високочастотному розряді низького тиску Estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium in a pulsewise - periodic high-frequency discharge of low pressure |
| title_full | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| title_fullStr | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| title_full_unstemmed | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| title_short | Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| title_sort | оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80291 |
| work_keys_str_mv | AT kryštalʹpg ocenkastepenidissociaciimolekulârnogovodorodavimpulʹsnoperiodičeskomvysokočastotnomrazrâdenizkogodavleniâ AT širokovbm ocenkastepenidissociaciimolekulârnogovodorodavimpulʹsnoperiodičeskomvysokočastotnomrazrâdenizkogodavleniâ AT kryštalʹpg ocínkastupenâdisocíacíímolekulârnogovodnûuímpulʹsnoperíodičnomuvisokočastotnomurozrâdínizʹkogotisku AT širokovbm ocínkastupenâdisocíacíímolekulârnogovodnûuímpulʹsnoperíodičnomuvisokočastotnomurozrâdínizʹkogotisku AT kryštalʹpg estimateofadegreeofdissociationofmolecularhydrogeniuminapulsewiseperiodichighfrequencydischargeoflowpressure AT širokovbm estimateofadegreeofdissociationofmolecularhydrogeniuminapulsewiseperiodichighfrequencydischargeoflowpressure |