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Ion kinetics in an ECR plasma source

In plasma reactors it is extremely important the study for achieving greater control of critical parameters such as the flux velocities and the energy distribution of ions. These quantities are functions of the reactor physical dimensions, magnetic field profile as well as the kinetic chemical react...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2002
1. Verfasser:	Gutiérrez-Tapia, C.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80327
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Ion kinetics in an ECR plasma source / C. Gutiérrez-Tapia // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 4. — С. 170-172. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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