Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом

Описана методика количественного определения прочности сцепления тонких медных пленок с поверхностью стеклянных подложек методом царапания. Медные покрытия получались вакуумно-дуговым методом. Показано, что в интервале толщин пленок ~ 0,04…~ 0,2 мкм прочность сцепления составляет ~ 40 МПа. С дальней...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2006
Hauptverfasser: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Павлов, В.С., Турчина, А.К.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80336
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов, А.К. Турчина // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 221-223. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862682174637998080
author Белоус, В.А.
Лунев, В.М.
Павлов, В.С.
Турчина, А.К.
author_facet Белоус, В.А.
Лунев, В.М.
Павлов, В.С.
Турчина, А.К.
citation_txt Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов, А.К. Турчина // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 221-223. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Описана методика количественного определения прочности сцепления тонких медных пленок с поверхностью стеклянных подложек методом царапания. Медные покрытия получались вакуумно-дуговым методом. Показано, что в интервале толщин пленок ~ 0,04…~ 0,2 мкм прочность сцепления составляет ~ 40 МПа. С дальнейшим увеличением толщины пленки прочность сцепления снижается и при ~ 1 мкм составляет ~ 2 МПа Описано методику кількісного визначення міцності зчеплення тонких мідних плівок з поверхнею скляних підкладок
 методом царапання. Мідні покриття виходили вакуумно-дуговим методом. Показано, що в інтервалі товщин плівок від
 ~ 0,04 до ~ 0,2 мкм міцність зчеплення становить ~ 40 МПа. З подальшим збільшенням товщини плівки міцність
 зчеплення знижується й при ~ 1 мкм становить ~ 2 МПа. The technique of quantitative definition of strenght of adhesion thin copper films with a surface of glass substrates by a
 method of scrath is described. The copper coverings were deposited by a vacuum-arc method. It was shown, that in an interval of
 films thickness from ~ 0,04 up to ~ 0,2 µm the strength of adhesion was ~ 40 МPа. With the further increase of thickness of thе
 films up to ~ 1 µm the strength of adhesion reduced down to ~ 2 МPа.
first_indexed 2025-12-07T15:51:38Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80336
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:51:38Z
publishDate 2006
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Белоус, В.А.
Лунев, В.М.
Павлов, В.С.
Турчина, А.К.
2015-04-16T05:30:39Z
2015-04-16T05:30:39Z
2006
Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов, А.К. Турчина // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 221-223. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80336
620.178.15:621.793
Описана методика количественного определения прочности сцепления тонких медных пленок с поверхностью стеклянных подложек методом царапания. Медные покрытия получались вакуумно-дуговым методом. Показано, что в интервале толщин пленок ~ 0,04…~ 0,2 мкм прочность сцепления составляет ~ 40 МПа. С дальнейшим увеличением толщины пленки прочность сцепления снижается и при ~ 1 мкм составляет ~ 2 МПа
Описано методику кількісного визначення міцності зчеплення тонких мідних плівок з поверхнею скляних підкладок
 методом царапання. Мідні покриття виходили вакуумно-дуговим методом. Показано, що в інтервалі товщин плівок від
 ~ 0,04 до ~ 0,2 мкм міцність зчеплення становить ~ 40 МПа. З подальшим збільшенням товщини плівки міцність
 зчеплення знижується й при ~ 1 мкм становить ~ 2 МПа.
The technique of quantitative definition of strenght of adhesion thin copper films with a surface of glass substrates by a
 method of scrath is described. The copper coverings were deposited by a vacuum-arc method. It was shown, that in an interval of
 films thickness from ~ 0,04 up to ~ 0,2 µm the strength of adhesion was ~ 40 МPа. With the further increase of thickness of thе
 films up to ~ 1 µm the strength of adhesion reduced down to ~ 2 МPа.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Диагностика и методы исследований
Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
Кількісне визначення міцності зчеплення тонких металевих плівок зі склом
Quantitative definition of thin metal films adhesion with glass
Article
published earlier
spellingShingle Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
Белоус, В.А.
Лунев, В.М.
Павлов, В.С.
Турчина, А.К.
Диагностика и методы исследований
title Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
title_alt Кількісне визначення міцності зчеплення тонких металевих плівок зі склом
Quantitative definition of thin metal films adhesion with glass
title_full Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
title_fullStr Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
title_full_unstemmed Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
title_short Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
title_sort количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
topic Диагностика и методы исследований
topic_facet Диагностика и методы исследований
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80336
work_keys_str_mv AT belousva količestvennoeopredeleniepročnostiscepleniâtonkihmetalličeskihplenoksosteklom
AT lunevvm količestvennoeopredeleniepročnostiscepleniâtonkihmetalličeskihplenoksosteklom
AT pavlovvs količestvennoeopredeleniepročnostiscepleniâtonkihmetalličeskihplenoksosteklom
AT turčinaak količestvennoeopredeleniepročnostiscepleniâtonkihmetalličeskihplenoksosteklom
AT belousva kílʹkísneviznačennâmícnostízčeplennâtonkihmetalevihplívokzísklom
AT lunevvm kílʹkísneviznačennâmícnostízčeplennâtonkihmetalevihplívokzísklom
AT pavlovvs kílʹkísneviznačennâmícnostízčeplennâtonkihmetalevihplívokzísklom
AT turčinaak kílʹkísneviznačennâmícnostízčeplennâtonkihmetalevihplívokzísklom
AT belousva quantitativedefinitionofthinmetalfilmsadhesionwithglass
AT lunevvm quantitativedefinitionofthinmetalfilmsadhesionwithglass
AT pavlovvs quantitativedefinitionofthinmetalfilmsadhesionwithglass
AT turčinaak quantitativedefinitionofthinmetalfilmsadhesionwithglass