Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Павлов, В.С., Турчина, А.К.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Диагностика и методы исследований
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80336
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов, А.К. Турчина // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 221-223. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Описана методика количественного определения прочности сцепления тонких медных пленок с поверхностью стеклянных подложек методом царапания. Медные покрытия получались вакуумно-дуговым методом. Показано, что в интервале толщин пленок ~ 0,04…~ 0,2 мкм прочность сцепления составляет ~ 40 МПа. С дальней...