Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Журавлев, А.Ю., Глушко, П.И., Капустин, В.Л., Семенов, Н.А., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Краткие сообщения
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80342
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия / А.Ю. Журавлев, П.И. Глушко, В.Л. Капустин, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский,
 В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 241-242. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-G...