Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2014
• Main Authors: Vlasenko, О.V., Odnodvorets, L.V., Protsenko, I.Yu.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80344
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. . Запропоновано застосування методу пошарової конденсації з наступним відпалюванням від 300 до 900 К для формування омічних контактів на основі плівок Fe і Ge. Проведенo дослідження мікроструктури і фазового складу контактних систем Fe/Ge, для яких отримано симетричні лінійні вольт-амперні характеристики та наступні робочі параметри: опір на квадрат площі 0,3 Ом/м² і термічний коефіцієнт опору 6∙10⁻⁴ К⁻¹. Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹.