Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов
C помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, мессбауэровской спетроскопии
 конверсионных электронов и измерения прозрачности исследована структура поверхностных нанослоев при
 их формированиии, термическом отжиге и имплантации. За допомогою методів резерфордівського зворот...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80356 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов / Н.А. Азаренков, В.Г. Кириченко, О.В. Коваленко // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 66-71. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860198770705170432 |
|---|---|
| author | Азаренков, Н.А. Кириченко, В.Г. Коваленко, О.В. |
| author_facet | Азаренков, Н.А. Кириченко, В.Г. Коваленко, О.В. |
| citation_txt | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов / Н.А. Азаренков, В.Г. Кириченко, О.В. Коваленко // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 66-71. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | C помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, мессбауэровской спетроскопии
конверсионных электронов и измерения прозрачности исследована структура поверхностных нанослоев при
их формированиии, термическом отжиге и имплантации.
За допомогою методів резерфордівського зворотнього розсіяння, мессбауерівської спетроскопії конверсійних електронів і виміру прозорості досліджена структура поверхневих наношарів при їх формуванні,
термічному відпалі та імплантації.
In this paper, using the methods of Rutherford backscattering, Mossbauer spectroscopy and transparency measurements
the structure of the surface nanolayers at their formation, thermal annealing and implantation was studied.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:09:35Z |
| format | Article |
| fulltext |
66 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92)
УДК 548.1:533.9
ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТНЫХ
НАНОСЛОЕВ ПЛЕНОК ЖЕЛЕЗОИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ
Н.А. Азаренков, В.Г. Кириченко, О.В. Коваленко
Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина
E-mail: val_kir48@mail.ru; тел. +38(057)335-37-55
C помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, мессбауэровской спетроскопии
конверсионных электронов и измерения прозрачности исследована структура поверхностных нанослоев при
их формированиии, термическом отжиге и имплантации.
ВВЕДЕНИЕ
Анализу магнитооптических эффектов в
тонкопленочных структурах ферромагнетиков,
которые широко используются в приборах
накопления и обработки информации, и описанию
методов измерения параметров тонких пленок
прозрачных ферромагнитных материалов
посвящено значительное число работ, например [1-
4]. Магнитные свойства пленок железоиттриевого
граната (ЖИГ) достаточно хорошо исследованы и
характеризуются общими параметрами для пленок,
полученных разными способами. Особенностью
тонких пленок ферритов-гранатов является
неоднородность магнитных свойств по толщине за
счет неоднородного распределения элементов вдоль
оси роста пленок [5]. С другой стороны, оптическое
поглощение показывает, что зависимость коэффи-
циента поглощения α от длины волны в основном
одинакова для всех гранатов [6]. Кроме того, тонкие
пленки ЖИГ являются перспективными объектами
для создания генераторов магнитного хаоса [7, 8].
Основные параметры хаоса в пленках обусловлены
образованием дополнительной магнитной подси-
стемы и зависят от намагниченности насыщения
(1700…2000 Гс), поля одноосной анизотропии (до
1000 Э) и ширины линии ферромагнитного резонан-
са (до 0,3 Э).
В структуре феррита-граната (рис. 1) ионы кис-
лорода образуют кубическую упаковку. На рис. 2
показано, что катионы Fe
3+
располагаются в октаэд-
рических а-узлах, окруженных шестью ионами О, и
в тетраэдрических d-узлах, окруженных четырьмя
ионами О. Ионы Y располагаются в додекаэдриче-
ских с-узлах и окружены восемью ионами О. Маг-
нитные моменты ионов Fe
3+
в тетраэдрических уз-
лах параллельны друг другу и антипараллельны
магнитным моментам ионов железа в октаэдриче-
ских узлах. Введение в ферриты-гранаты примесей
замещения основано на наличии трех координаций
(см. рис. 2,а,б,в). Это определяет изменение оптиче-
ских свойств и рост концентрации дефектов. Из-
вестно, что в области длин волн < 1 мкм поглоще-
ние зависит от электронных переходов между со-
стояниями ионов Fe. Край оптического поглощения
кристалла ЖИГ находится на уровне 9000 см
-1
,
вследствие электронного перехода между расщеп-
ленными d-уровнями ионов Fe
3+
в октаэдрических
узлах. Ниже края поглощения, вплоть до 2300 см
-1
,
ЖИГ прозрачен. От 2300 до 1300 см
-1
поглощение
значительно растет, и ниже 1300 см
-1
ЖИГ не про-
зрачен [6]. Важной задачей является смещение гра-
ницы пропускания в область видимого света.
Рис. 1. Моделированная структура Y3Fe5O12
с применением программы «Diamond»
Рис. 2. Октаэдрические (а), тетраэдрические (б)
и додекаэдрические (в) узлы
в кристаллической решетке ферритов-гранатов
Модификация слоя ЖИГ при ионной импланта-
ции приводит к образованию планарной компонен-
ты намагниченности. Влияние имплантации на од-
ноосную магнитную анизотропию связано с увели-
чением межплоскостных расстояний в направлении,
перпендикулярном поверхности. Возможно это свя-
зано с увеличением толщины магнитоактивной ча-
сти имплантированного слоя и ростом магнитного
заряда доменной стенки. Поэтому необходим выбор
режима имплантации, соответствующего получению
mailto:val_kir48@mail.ru
ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92) 67
контролируемой толщины имплантированного слоя
с равномерным профилем распределения плотности
радиационных дефектов при поддержании однород-
ности ионного пучка. Толщина имплантированного
слоя обычно выбирается около 1/3 толщины пленки.
Целью данной работы являлось исследование
элементного состава переходных слоев в пленках
ЖИГ на подложках галлий-гадолиниевого граната
(ГГГ), моделирование и анализ влияния облучения
ионами гелия на тонкопленочные структуры.
МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
Пленки ЖИГ получали двумя способами: 1) ме-
тодом ионно-лучевого распыления (ИЛР) мишени
ЖИГ, обогащенной до 25% изотопом
57
Fе, ионами
аргона с плотностью тока до 10 мА/см
2
и энергией
1…3 кэВ на подложки ГГГ и 2) методом импульсно-
го лазерного осаждения также на подложки ГГГ
ориентации (111). В методе ИЛР использовали не-
сколько режимов нанесения пленки, отличающихся
степенью стабилизации процесса осаждения. Пер-
вый заключался в нанесении пленки на подложку
сразу после ионно-термической обработки (О
2+
;
Е = 0,3 кэВ; Т = 570 К; 30 мин). При втором режиме
после ионно-термической обработки распыление
проводилось в течение 30 мин на затвор и лишь по-
сле этого на подложку ГГГ.
Во втором методе осаждение тонких слоев ЖИГ
с добавками
57
Fe
на поверхность ГГГ проводили с
использованием лазера АИГ: Nd
3+
с длительностью
импульса 30 нс. Толщина нанесенных пленок ЖИГ
составляла 1…2 мкм. Отжиг тонкопленочных струк-
тур проводился в печи сопротивления на воздухе в
диапазоне температур 470…1170 К. Элементный
анализ приповерхностных слоев пленок ЖИГ про-
изводили с использованием спектрометрии резер-
фордовского обратного рассеяния (СРОР) на пучках
протонов (Е = 1 МэВ) или α-частиц (Е = 2,2 МэВ).
Глубина анализируемого слоя составляла до 3 мкм.
Фазовый состав поверхностных слоев тонких
пленок ЖИГ определяли с помощью мессбауэров-
ской спектроскопии на ядрах
57
Fе в геометрии об-
ратного рассеяния при регистрации электронов
внутренней конверсии (МСКЭ). Глубина анализиру-
емого с помощью МСКЭ слоя составляла до
0,3 мкм. Для проведения послойного анализа произ-
водилось стравливание пленок ортофосфорной кис-
лотой. Толщина пленки при стравливании контро-
лировалась измерением оптической прозрачности
подложек с пленкой. Облучение тонкопленочных
структур проводилось протонами (с энергией
1,5 МэВ) и ионами гелия (с энергией 26 кэВ).
РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ
На рис. 3 приведена качественная схема
формирования пленок ЖИГ с переходными слоями
(ПС). На рис. 4 показан типичный спектр РОР
пленки ЖИГ на подложке ГГГ. Видно, что уже в
процессе напыления на границу подложка−пленка
ЖИГ выходит Gd, что подтверждается сдвигом
сигнала от гадолиния в область меньших значений
энергии.
Рис. 3. Схема формирования ПС
на поверхности пленки ЖИГ
Рис. 4. Спектр РОР пленки ЖИГ на подложке ГГГ
а
б
в
г
Рис. 5. Концентрационные зависимости
компонент ГГГ и ЖИГ в слоях структур:
а подложка ГГГ, отжиг при 800
°С;
б пленка ЖИГ, отжиг при 780
°С, 0,5 ч;
в пленка ЖИГ, отжиг при 790 °С, 0,5 ч;
г пленка ЖИГ, отжиг при 790
°С, 1,5 ч
68 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92)
Температурный диапазон выхода Gd по данным
рис. 5,б,в равен 780…790
0
С. Присутствие
гадолиния в слое со стороны подложки не помешало
переходу пленки в магнитоупорядоченное
состояние при отжиге. Обращает на себя внимание
различие в содержании Fе и других компонентов
ЖИГ в исходном состоянии после приготовления
пленок ферритов-гранатов разными способами.
Причиной этого может быть сегрегация железа по
глубине слоя ЖИГ.
Видно, что наиболее существенно отличаются по
составу ПС пленка−подложка и ПС на поверхности
пленки. По данным рис. 5 толщина ПС доходит до
0,1 мкм (граница ПС выделена вертикальной
линией).
При анализе сложных мессбауэровских спектров
целесообразно использовать процедуру дифферен-
цирования для получения дифференциальных спек-
тров по допплеровской скорости [9]. В данной рабо-
те для получения спектров производных по доппле-
ровской скорости использовалась программа origin
8.5 и экспериментальные дублетные спектры тонко-
пленочных структур ЖИГ, полученных по режиму 2
(рис. 6) и отличающихся относительной интенсив-
ностью линий дублета по сравнению с режимом 1
(рис. 8). На рис. 7 приведен дифференциальный
спектр пленки (спектр ее приведен на рис. 6) с нане-
сенной на график горизонтальной прямой при
dN/dV = 0. Значения, при которых горизонтальная
прямая пересекает дифференциальный спектр, поз-
воляют определить положение линии рассеяния с
более высокой точностью. Это дало возможность
повысить точность определения изомерных сдвигов
(положения центра тяжести спектров) и значений
квадрупольного расщепления (расстояния между
линиями дублета).
Анализ спектров мессбауэровского рассеяния
трех групп приготовленных тонкопленочных струк-
тур (1 – Y3Fe5O12 ИЛР мишени Fe2O3-Y2O3 по режи-
му 1 и осаждение на подложку ГГГ (см. рис. 8);
2 – импульсное лазерное осаждение Fe2O3-Y2O3 на
подложку ГГГ (рис. 9); 3 – импульсное лазерное
осаждение Fe2O3 на подложку ГГГ (рис. 10)) дает
различающиеся результаты. Вариант 1 характеризу-
ется спектрами рассеяния со средними значениями
изомерного сдвига (относительно матрицы Cr), рав-
ными 0,4 мм/с, и квадрупольного расщепления –
1,25 мм/с. Варианты 2 и 3 характеризуются спек-
трами рассеяния со средними значениями изомерно-
го сдвига, равными 0,25 и 0,2 мм/с, и квадрупольно-
го расщепления – 0,5 и 0,6 мм/с соответственно. Со-
поставление этих данных свидетельствует о форми-
ровании пленок в случае вариантов 2 и 3 с ионами
железа с повышенной s-электронной плотностью на
ядрах [10]. Наблюдается различие в интенсивности
линий дублета (см. рис. 9, 10). Данные по изомер-
ным сдвигам спектров пленок Y3Fe5O12 и Fe2O3, ха-
рактеризующим распределение электронной плот-
ности атомов в области ядра, удовлетворительно
коррелируют с результатами оптического поглоще-
ния тонких пленок. Например, пленки Fe2O3 со
структурой типа корунда конденсируются в октаэд-
ры FeO6 и имеют полосы оптического поглощения в
диапазоне 400…500 см
-1
. Это отличается от случая
Y3Fe5O12 с двумя хорошо разрешенными полосами в
диапазонах 600 и 400 см
-1
.
Рис. 6. МСКЭ-спектр феррита-граната,
полученного методом ИЛР (режим 2)
Рис. 7. Производные МСКЭ-спектра (см. рис. 6)
по допплеровской скорости
(дифференциальный спектр)
Рис. 8. МСКЭ-спектр феррита-граната,
полученного методом ИЛР (режим 1)
Рис. 9. МСКЭ-спектр феррита-граната,
полученного методом импульсного
лазерного осаждения
ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92) 69
Рис. 10. МСКЭ-спектр слоя Fe2O3
толщиной 1500 Å
Рис. 11. Зависимость относительной
величины эффекта рассеяния
от относительной прозрачности пленок
На рис. 11 приведена зависимость относительной
величины эффекта рассеяния от относительной про-
зрачности пленок. Величина эффекта рассеяния
пик фоновое
фоновое
N N
N
, где пикN – интенсивность пиков
рассеяния; фоновоеN – интенсивность фона для по-
лученных спектров рассеяния, характеризующая от-
носительное содержание железа в слое глубиной до
0,3 мкм. Относительная прозрачность пленок харак-
теризует уменьшение толщины пленок при стравли-
вании. Видно, что эти зависимости для двух режи-
мов нанесения пленок отличаются, и в каждом от-
дельном случае являются существенно немонотон-
ными. По методике МСКЭ эти зависимости опреде-
ляют изменение концентрации железа при стравли-
вании. Уменьшение концентрации железа в резуль-
тате стравливания свидетельствует о возможной се-
грегации железа в приповерхностном слое пленок,
зависящей от режима осаждения пленок.
Рассмотрим результаты моделирования с помо-
щью программы SRIM. По расчетной зависимости
профиля внедренных ионов гелия от глубины слоя
определено положение пика, соответствующее глу-
бине 2154 Å. Параметры остановившихся ионов в
виде проективного пробега и радиального сечения в
зависимости от глубины слоя демонстрируют немо-
нотонное поведение на максимальной глубине про-
никновения ионов. При анализе пробегов ионов и
атомов отдачи получено, что пик атомов отдачи
смещен в сторону поверхности по сравнению с
ионами. Число атомов отдачи кислорода значитель-
но больше, чем атомов железа и иттрия (рис. 12).
Зависимость плотности вероятности образования
вакансий от глубины слоя удовлетворительно согла-
суется с зависимостью энергии отдачи от глубины
слоя в модели Кинчина-Пиза. Полученные двумер-
ные графики можно представить в рамках програм-
мы SRIM в виде 3D-распределения в диапазоне глу-
бин мишени 0…1 мкм и ширины площадки 100 Å.
На рис. 13, 14 показаны 3D-распределения внедрен-
ных ионов гелия и атомов отдачи, демонстрирую-
щие значительное различие этих распределений в
пространстве. На рис. 15 приведены зависимости
степени ионизации ионов гелия и атомов мишени по
глубине слоя. Видно, что ионизация, выраженная в
потерях энергии на ангстрем, для ионов гелия зна-
чительно превышает ионизацию атомов отдачи ми-
шени. Полное число смещений по данным програм-
мы SRIM оказывается равным 74/ион, полное число
вакансий − 73/ион, замещающие столкновения −
1/ион. Величина распыления невелика, и коэффици-
ент распыления не превышает 0,08.
На основе результатов расчетов в рамках
программы SRIM можно определить дозу по
формуле D = p·n/ρ, где р – плотность вероятности
образования вакансий; n – плотность пучка ионов;
ρ – плотность материала мишени. В ЖИГ в среднем
в 1 см
3
содержится: 5,0∙10
22
ионов кислорода;
2,1∙10
22
ионов в октаэдрической и тетраэдрической
пози-циях; 1,3∙10
22
ионов в додекаэдрических
позициях [11]. Подставив численные значения
параметров, получим, что доза изменяется в
диапазоне 0,018…0,027 сна.
Рис. 12. Общее распределение атомов отдачи
в зависимости от глубины слоя мишени
Рис. 13. 3D-распределение ионов гелия
по глубине слоя 0…1 мкм, ширина ячейки 100 Å
70 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92)
Рис. 14. 3D-распределение атомов отдачи мишени
при облучении ионами гелия с энергией 26 кэВ
Рис. 15. Зависимости степени ионизации
ионов и атомов отдачи от глубины слоя
Рис. 16. МСКЭ-спектр магнитупорядоченного
феррита-граната
Основной целью имплантации ионами Н
+
и Не
+
,
используемыми в данной работе, монокристалличе-
ских пленок магнитооптических структур является
поворот оси легкого намагничивания (ОЛН) в плос-
кость пленки в поверхностном слое. При этом зна-
чение угла θ (угла относительно нормали) изменяет-
ся от 0 до 90º.
На рис. 16 приведен спектр рассеяния пленки
ЖИГ после отжига при 800 К, приводящего к фор-
мированию магнитоупорядоченной фазы. После
этого проводилась имплантация ионами Н
+
и Не
+
.
Из соотношения интенсивностей спектральных ли-
ний магнитоупорядоченной фазы были оценены
средние значения угла θ между нормалью к поверх-
ности пленки и направлением магнитного момента
атомов железа, совпадающим с направлением ОЛН.
Угол θ определяется с помощью формулы
)34/()34(arccos , где β = I2+I5/I1+I6,
а I1, I2, I5, I6 – соответственно интенсивности первой,
второй, пятой и шестой спектральных линий мес-
сбауэровского шестилинейчатого спектра рассеяния
пленки ЖИГ, отсчитываемых слева направо на
спектре (см. рис. 16). На рис. 16 показаны положе-
ния линий для парциальных спектров, соответству-
ющих атомам железа, находящихся в окта- и тет-
раузлах. Для пленки Y3Fe5O12 θ = 69
о
. Эта величина
отличается от полученной для ЖИГ после протон-
ного облучения и отжига − θ = 62
о
. Облучение ЖИГ
ионами гелия (Е = 26 кэВ, Ф = 1,5∙10
14
см
-2
) приво-
дит к увеличению θ до 78
о
, но вектор ОЛН в плос-
кость пленки все-таки нe укладывается. По данным
МСКЭ облучение ионами Не
+
с Е = 0,6 МэВ приво-
дит к небольшому увеличению значения ; размы-
тия спектров МСКЭ при этом не наблюдается. Та-
ким образом, имплантация ионов гелия в случае
пленок ЖИГ, по всей видимости, не создает доста-
точного уровня упругих напряжений для поворота
ОЛН в плоскость пленки. Можно предположить, что
вследствие наличия значительного числа замещаю-
щих позиций в структуре ЖИГ (см. рис. 1, 2) ионы
гелия достаточно равномерно распределяются по
имплантированному слою.
Дополнительно были исследованы пленки дру-
гого состава, а именно Bi2,2Gd0,8Fe4,4Ga0,6O12. Облу-
чение пленок такого состава ионами Не
+
с
Е = 26 кэВ (n = 1,5∙10
14
см
-2
)
приводит к размытию
спектров МСКЭ этих пленок и повороту ОЛН в
плоскость пленки ( = 90º). Следует заметить, что
сразу после приготовления эти пленки также были в
аморфном состоянии и переходили в магнитоупоря-
доченное состояние после отжига при 800 К, после
чего и производилось облучение. Кроме того, после
облучения пучком ионов гелия той же энергии с
n = 2,25∙10
14
см
-2
в пленках наблюдаются слабые ли-
нии аморфной фазы. Таким образом, только для
пленок Bi2,2Gd0,8Fe4,4Ga0,6O12 облучение ионами ге-
лия приводит к резкому изменению ориентации
ОЛН (до значения = 90º), что дает требуемый ре-
зультат.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В работе на основе полученных эксперименталь-
ных данных по элементному составу тонких пленок
ЖИГ, осажденных на подложках ГГГ, обнаружено
наличие переходного слоя на границе
вакуумпленка толшиной до 0,1 мкм. Результаты,
полученные с помощью методов СРОР, МСКЭ и
измерения прозрачности, удовлетворительно
согласуются друг с другом и свидетельствуют о
существенной неоднородности пленок ЖИГ.
Имплантация ионов гелия приводит к изменению
ориентации ОЛН до = 90º только в случае
Bi2,2Gd0,8Fe4,4Ga0,6O12.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. В.В. Рандошкин, А.Д. Червоненкис. Приклад-
ная магнитооптика. М.: «Энергоатомиздат», 1990,
с. 320.
2. H. Sohlctrom. Fibre Optic Magnetic Field
Sensors Utilizing Iron Garnet Materials // Second
ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2014. №4(92) 71
corrected printing. Royal Inst. Technol. S-10044.
Stocholm, Sweden, 1993, p. 150.
3. Д.И. Семенцов, А.М. Шутый. Нелинейная ре-
гулярная и стохастическая динамика намагниченно-
сти в тонкопленочных структурах // УФН. 2007,
т. 177, №8, с. 831-857.
4. В.Г. Кириченко, О.В. Коваленко. Структур-
ные особенности и спиновые волны в тонких плен-
ках железоиттриевых гранатов // Вісник Харківсько-
го національного університету. Серія «Ядра, час-
тинки, поля». 2012, в. 4 /56/, №1025, с. 85-97.
5. A.N. Shaposhnikov, A.R. Prokopov, V.N. Ber-
zhansky, A.V. Karavaynicov, V.S. Yagupov.
Heterogeneity of magnetic characteristics on different
depth of high-coercivity monocrystal films of ferrite
garnets // Uchenye zapiski Tavricheskogo
Natsionalnogo Universiteta im. V.I. Vernadskogo.
Series «Fizika». 2008, v. 21(60), N 1, p. 153-165 (in
Russian).
6. В.Р. Соболь, Т.В. Волчик, С.М. Арабей,
Б.В. Корзун, Н.А. Каланда. Оптические постоянные
пленочных монокристаллических структур железо-
иттриевого граната // Журнал прикладной спектро-
скопии. 2009, т. 76, №2, с. 218-224.
7. Н.И. Мезин. Параметрический хаос в пленках
железоиттриевого граната, получаемых из слабо-
диссоциированного раствора−расплава // Письма в
ЖТФ. 2011, т. 37, в. 23, с. 61-67.
8. В.Н. Дудоров, В.В. Рандошкин, Р.В. Телес-
нин. Синтез и физические свойства монокристалли-
ческих пленок редкоземельных ферритов-гранатов //
УФН. 1977, т. 122, в. 2, с. 254-293.
9. T. Kobayashi. Analysis of a messbauer spectrum
with the help of derivatives with respect to doppler ve-
locity // Nuclear Instruments and Methods in Physics
Research. 1984, v. 4, p. 202-206.
10. Н.А. Азаренков, В.Г. Кириченко. Ядерно-
физические методы в радиационном материалове-
дении. Харьков: Харьковский национальный униве-
рситет им. В.Н. Каразина, 2008, 146 с.
11. B. Stroska, P. Holst, W. Tolksdorf. Empirial
formula for calculation of lattice constants oxide garnets
based on substituted yttrium- and gadolinium-iron
garnets // Phil. J. Res. 1978, v. 33, p. 166-202.
Статья поступила в редакцию 25.06.2014 г.
ОСОБЛИВОСТІ СТРУКТУРИ ПОВЕРХНЕВИХ НАНОШАРІВ ПЛІВОК
ЗАЛІЗОІТРІЄВИХ ГРАНАТІВ
М.А. Азаренков, В.Г. Киріченко, О.В. Коваленко
За допомогою методів резерфордівського зворотнього розсіяння, мессбауерівської спетроскопії конвер-
сійних електронів і виміру прозорості досліджена структура поверхневих наношарів при їх формуванні,
термічному відпалі та імплантації.
THE FEATURES OF NANOLAYERS SURFACE STRUCTURE OF YTTRIUM IRON GARNET
FILMS
N.A. Azarenkov, V.G. Kirichenko, O.V. Kovalenko
In this paper, using the methods of Rutherford backscattering, Mossbauer spectroscopy and transparency meas-
urements the structure of the surface nanolayers at their formation, thermal annealing and implantation was studied.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80356 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:09:35Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Азаренков, Н.А. Кириченко, В.Г. Коваленко, О.В. 2015-04-16T15:40:17Z 2015-04-16T15:40:17Z 2014 Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов / Н.А. Азаренков, В.Г. Кириченко, О.В. Коваленко // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 66-71. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80356 548.1:533.9 C помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, мессбауэровской спетроскопии
 конверсионных электронов и измерения прозрачности исследована структура поверхностных нанослоев при
 их формированиии, термическом отжиге и имплантации. За допомогою методів резерфордівського зворотнього розсіяння, мессбауерівської спетроскопії конверсійних електронів і виміру прозорості досліджена структура поверхневих наношарів при їх формуванні,
 термічному відпалі та імплантації. In this paper, using the methods of Rutherford backscattering, Mossbauer spectroscopy and transparency measurements
 the structure of the surface nanolayers at their formation, thermal annealing and implantation was studied. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов Особливості структури поверхневих наношарів плівок залізоітрієвих гранатів The features of nanolayers surface structure of yttrium iron garnet films Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов Азаренков, Н.А. Кириченко, В.Г. Коваленко, О.В. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| title | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| title_alt | Особливості структури поверхневих наношарів плівок залізоітрієвих гранатів The features of nanolayers surface structure of yttrium iron garnet films |
| title_full | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| title_fullStr | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| title_full_unstemmed | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| title_short | Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| title_sort | особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов |
| topic | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| topic_facet | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80356 |
| work_keys_str_mv | AT azarenkovna osobennostistrukturypoverhnostnyhnanosloevplenokželezoittrievyhgranatov AT kiričenkovg osobennostistrukturypoverhnostnyhnanosloevplenokželezoittrievyhgranatov AT kovalenkoov osobennostistrukturypoverhnostnyhnanosloevplenokželezoittrievyhgranatov AT azarenkovna osoblivostístrukturipoverhnevihnanošarívplívokzalízoítríêvihgranatív AT kiričenkovg osoblivostístrukturipoverhnevihnanošarívplívokzalízoítríêvihgranatív AT kovalenkoov osoblivostístrukturipoverhnevihnanošarívplívokzalízoítríêvihgranatív AT azarenkovna thefeaturesofnanolayerssurfacestructureofyttriumirongarnetfilms AT kiričenkovg thefeaturesofnanolayerssurfacestructureofyttriumirongarnetfilms AT kovalenkoov thefeaturesofnanolayerssurfacestructureofyttriumirongarnetfilms |