CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал
 UП = -15…-120 В) на структурные и механические (микротвёрдость) свойства покрытий. Показа...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80383 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом / В.В. Кунченко, А.А. Андреев, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 87-95. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862703755425742848 |
|---|---|
| author | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. |
| author_facet | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. |
| citation_txt | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом / В.В. Кунченко, А.А. Андреев, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 87-95. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал
UП = -15…-120 В) на структурные и механические (микротвёрдость) свойства покрытий. Показано, что фазовый состав
определяется давлением азота при конденсации, в то время как UП и ТП оказывают существенное влияние на стехиометрию, уровень плотности дефектов кристаллических решёток фаз (α-Cr, β-Cr2N, CrN), текстуру, микротвёрдость и их изменения вследствие отжигов в вакууме и на воздухе. Установлено, что при определённых сочетаниях условий осаждения (PN, UП, ТП) могут быть получены покрытия с микротвёрдостью от 4…5 до 20…22 ГПа, стабильные в течение длительного (3 года) хранения в нормальных условиях.
Cr-N-покриття різноманітної стехіометрії здобуті методом вакуумно-дугового осадження. Вивчено вплив головних
параметрів (тиск азоту PN = 0…0,6 Па, температура зразків ТП = 150…600 °С, потенціал зразків UП = -15...-120 В) на
структурні та механічні (мікротвердість) властивості покриттів. Показано, що фазовий склад визначається тиском азоту при
конденсації у той час, коли UП та ТП суттєво впливають на стехіометричність, рівень густини дефектів кристалевих решіток фаз (α-Cr,
β-Cr2N, CrN), текстуру, мікротвердість та їх зміну у наслідок відпалу у вакуумі та на повітрі. Визначено, що при певних сполученнях
умов осадження (PN, UП, ТП) можливо створити покриття, які мають мікротвердість у діапазоні від 4...5 ГПа до 20...22 ГПа та
стабільність під час витримування у нормальних умовах на протязі трьох років.
Cr-N coatings of a different stoichiometry were obtained by the method of vacuum-arc deposition. The influence of main
parameters (nitrogen pressure PN = 0…0.6 Pа, substrate temperature Тs = 150…600 °С, substrate potential Up = -15…-120 V) on
the structure and mechanical (microhardness) properties of coatings was studied. It is shown that the phase composition is determined by the nitrogen pressure during condensation, whereas, Us and Тs exert considerable influence on the stoichiometry,
level of defect density in crystalline lattice phases (α-Cr, β-Cr2N, CrN), texture, microhardness and their changes as a result of
annealing in vacuum and air. It has been established, that under specific combinations of deposition conditions (PN, Us, Тs) one
can obtain coatings with a microhardness from 4 …5 GPа to 20…22 GPа, being stable during long-term (3 year) storage under
normal conditions.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:48:56Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80383 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:48:56Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. 2015-04-17T15:56:48Z 2015-04-17T15:56:48Z 2004 CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом / В.В. Кунченко, А.А. Андреев, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 87-95. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80383 544.661.875 CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал
 UП = -15…-120 В) на структурные и механические (микротвёрдость) свойства покрытий. Показано, что фазовый состав
 определяется давлением азота при конденсации, в то время как UП и ТП оказывают существенное влияние на стехиометрию, уровень плотности дефектов кристаллических решёток фаз (α-Cr, β-Cr2N, CrN), текстуру, микротвёрдость и их изменения вследствие отжигов в вакууме и на воздухе. Установлено, что при определённых сочетаниях условий осаждения (PN, UП, ТП) могут быть получены покрытия с микротвёрдостью от 4…5 до 20…22 ГПа, стабильные в течение длительного (3 года) хранения в нормальных условиях. Cr-N-покриття різноманітної стехіометрії здобуті методом вакуумно-дугового осадження. Вивчено вплив головних
 параметрів (тиск азоту PN = 0…0,6 Па, температура зразків ТП = 150…600 °С, потенціал зразків UП = -15...-120 В) на
 структурні та механічні (мікротвердість) властивості покриттів. Показано, що фазовий склад визначається тиском азоту при
 конденсації у той час, коли UП та ТП суттєво впливають на стехіометричність, рівень густини дефектів кристалевих решіток фаз (α-Cr,
 β-Cr2N, CrN), текстуру, мікротвердість та їх зміну у наслідок відпалу у вакуумі та на повітрі. Визначено, що при певних сполученнях
 умов осадження (PN, UП, ТП) можливо створити покриття, які мають мікротвердість у діапазоні від 4...5 ГПа до 20...22 ГПа та
 стабільність під час витримування у нормальних умовах на протязі трьох років. Cr-N coatings of a different stoichiometry were obtained by the method of vacuum-arc deposition. The influence of main
 parameters (nitrogen pressure PN = 0…0.6 Pа, substrate temperature Тs = 150…600 °С, substrate potential Up = -15…-120 V) on
 the structure and mechanical (microhardness) properties of coatings was studied. It is shown that the phase composition is determined by the nitrogen pressure during condensation, whereas, Us and Тs exert considerable influence on the stoichiometry,
 level of defect density in crystalline lattice phases (α-Cr, β-Cr2N, CrN), texture, microhardness and their changes as a result of
 annealing in vacuum and air. It has been established, that under specific combinations of deposition conditions (PN, Us, Тs) one
 can obtain coatings with a microhardness from 4 …5 GPа to 20…22 GPа, being stable during long-term (3 year) storage under
 normal conditions. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом CR-N-покриття отримані вакуумно-дуговим методом на основі малолегірованих сплавів хрому Vacuum-ARC CrNx coatings on the base of chromium alloys Article published earlier |
| spellingShingle | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом Кунченко, В.В. Андреев, А.А. Кунченко, Ю.В. Картмазов, Г.Н. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| title_alt | CR-N-покриття отримані вакуумно-дуговим методом на основі малолегірованих сплавів хрому Vacuum-ARC CrNx coatings on the base of chromium alloys |
| title_full | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| title_fullStr | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| title_full_unstemmed | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| title_short | CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| title_sort | crnx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80383 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkovv crnxpokrytiâpolučennyevakuumnodugovymmetodom AT andreevaa crnxpokrytiâpolučennyevakuumnodugovymmetodom AT kunčenkoûv crnxpokrytiâpolučennyevakuumnodugovymmetodom AT kartmazovgn crnxpokrytiâpolučennyevakuumnodugovymmetodom AT kunčenkovv crnpokrittâotrimanívakuumnodugovimmetodomnaosnovímalolegírovanihsplavívhromu AT andreevaa crnpokrittâotrimanívakuumnodugovimmetodomnaosnovímalolegírovanihsplavívhromu AT kunčenkoûv crnpokrittâotrimanívakuumnodugovimmetodomnaosnovímalolegírovanihsplavívhromu AT kartmazovgn crnpokrittâotrimanívakuumnodugovimmetodomnaosnovímalolegírovanihsplavívhromu AT kunčenkovv vacuumarccrnxcoatingsonthebaseofchromiumalloys AT andreevaa vacuumarccrnxcoatingsonthebaseofchromiumalloys AT kunčenkoûv vacuumarccrnxcoatingsonthebaseofchromiumalloys AT kartmazovgn vacuumarccrnxcoatingsonthebaseofchromiumalloys |