CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2004
• Hauptverfasser: Кунченко, В.В., Андреев, А.А., Кунченко, Ю.В., Картмазов, Г.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
• Schlagworte: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80383
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом / В.В. Кунченко, А.А. Андреев, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 87-95. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал UП = -15…-120 В) на структурные и механические (микротвёрдость) свойства покрытий. Показано, что...