О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2005
• Main Authors: Вирич, В.Д., Гугля, А.Г., Литвиненко, М.Л., Перун, Н.В., Шкуропатенко, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80527
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко, Н.В. Перун, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 155-159. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Представлены результаты исследования методом вторично-ионной эмиссии покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°С. В работе показана возможность использования предварительной ионной обработки поверхности алюминиевой подложки для стимулирования более интенсивной диффузии алюминия и азота в хромовый конденсат. Обнаружено, что предварительное облучение алюминиевой подложки ионами азота до доз 1,7•10¹⁷ и 3,4•10¹⁷ ион/см² приводит к увеличению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием и уменьшению содержания углерода и кислорода в этой зоне. Приведені результати вивчення методом вторинно-іонної емісії покриттів системи Cr-N – алюміній, сформованих в умовах осідання хрому з одночасним опроміненням іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурі 300°С. В роботі показана можливість використання попередньої обробки поверхні алюмінієвої підкладки для стимулювання більш інтенсивної дифузії алюмінію і азоту до хромового конденсату. Виявлено, що попереднє опромінення алюмінієвої підкладки іонами азоту до доз 1,7•10¹⁷ та 3,4•10¹⁷ іон/см² призводить до збільшення ширини перехідної зони між підклад¬ кою та покриттям і зменшує концентрацію вуглецю і кисню в цій зоні. The results of examination by method of secondary – ion emission of coatings of system Cr-N - aluminium substrate in re ¬ quirements of a deposition chromium with a simultaneous irradiation by ions of nitrogen with energy 30 keV at temperatures 300°С are submitted. In operation the opportunity of use of preirradiation processing of a surface of an aluminium substrate for stimulate the diffusion of aluminium and nitrogen in a chromic condensate is shown. It is revealed, that a preirradiation of an aluminium substrate by ions of nitrogen up to doses 1,7•10¹⁷ ions / sm² and 3,4•10¹⁷ ions / sm² gives the broadering of a transition zone between a substrate and coating and decreases the content of carbon and oxygen in this zone.