О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка

Представлены результаты исследования методом вторично-ионной эмиссии покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°С. В работе показана возможность использования предварительной ионной обработки п...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2005
Main Authors: Вирич, В.Д., Гугля, А.Г., Литвиненко, М.Л., Перун, Н.В., Шкуропатенко, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80527
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко, Н.В. Перун, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 155-159. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine