Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия

Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия

Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению коли...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2005
Main Authors: Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Subjects:
Краткие сообщения
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80535
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80535
record_format dspace
spelling Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
2015-04-18T18:29:22Z
2015-04-18T18:29:22Z
2005
Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80535
539.216:519.876.5
Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению количества «микротрещин», под которыми располагаются поры. Второй механизм ионного уплотнения определяется повышением плотности пленок в результате вбивания и последующей миграции к микропорам собственных междоузельных атомов.
Методом молекулярної динаміки вивчені фізичні механізми низькотемпературного іонного ущільнення. Показано, що іонне ущільнення відбувається завдяки двом фізичним механізмам. Перший механізм пов’язаний із згладжуванням рельєфу поверхні при іонному бомбардуванні. Це призводить до зменшення кількості “мікротріщин”, під якими розташовуються пори. Другий механізм іонного ущільнення визначається підвищенням густини плівок за рахунок вбивання і наступній міграції міжвузельних атомів до мікропор
The paper is about the physical mechanism of low temperature ion densification of the films performed by the method of molecular dynamics. The investigation shows that the ion densification occurs due to two physical mechanisms. The first mechanism is related with the film smoothing under ion bombarding. It leads to decreasing the quantity of “microcracks” below which pores take place. The second mechanism is the ion densification of films at the expense of knocking-in of interstitial atoms and its further migration to micro voids.
Работа выполнена в рамках Программы проведения фундаментальних исследований по атомной науке и технике ННЦ ХФТИ.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Краткие сообщения
Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
Низькотемпературне іонне ущільнення плівок ніобия
Low temperature ion densification of niobium films
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
spellingShingle Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
Краткие сообщения
title_short Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_full Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_fullStr Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_full_unstemmed Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_sort низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
author Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_facet Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
topic Краткие сообщения
topic_facet Краткие сообщения
publishDate 2005
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Низькотемпературне іонне ущільнення плівок ніобия
Low temperature ion densification of niobium films
description Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению количества «микротрещин», под которыми располагаются поры. Второй механизм ионного уплотнения определяется повышением плотности пленок в результате вбивания и последующей миграции к микропорам собственных междоузельных атомов. Методом молекулярної динаміки вивчені фізичні механізми низькотемпературного іонного ущільнення. Показано, що іонне ущільнення відбувається завдяки двом фізичним механізмам. Перший механізм пов’язаний із згладжуванням рельєфу поверхні при іонному бомбардуванні. Це призводить до зменшення кількості “мікротріщин”, під якими розташовуються пори. Другий механізм іонного ущільнення визначається підвищенням густини плівок за рахунок вбивання і наступній міграції міжвузельних атомів до мікропор The paper is about the physical mechanism of low temperature ion densification of the films performed by the method of molecular dynamics. The investigation shows that the ion densification occurs due to two physical mechanisms. The first mechanism is related with the film smoothing under ion bombarding. It leads to decreasing the quantity of “microcracks” below which pores take place. The second mechanism is the ion densification of films at the expense of knocking-in of interstitial atoms and its further migration to micro voids.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80535
citation_txt Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT marčenkoig nizkotemperaturnoeionnoeuplotnenieplenokniobiâ
AT neklûdovim nizkotemperaturnoeionnoeuplotnenieplenokniobiâ
AT marčenkoig nizʹkotemperaturneíonneuŝílʹnennâplívokníobiâ
AT neklûdovim nizʹkotemperaturneíonneuŝílʹnennâplívokníobiâ
AT marčenkoig lowtemperatureiondensificationofniobiumfilms
AT neklûdovim lowtemperatureiondensificationofniobiumfilms
first_indexed 2025-12-07T16:17:47Z
last_indexed 2025-12-07T16:17:47Z
_version_ 1850866943610847232

Similar Items