Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации

• Datum: 2005
• Hauptverfasser: Гончаров, И.Ю., Колпаков, А.Я., Камышанченко, Н.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
• Schriftenreihe: Вопросы атомной науки и техники
• Schlagworte: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80569
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей.