Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации
Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80569 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862536523752144896 |
|---|---|
| author | Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. |
| author_facet | Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. |
| citation_txt | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей.
Представлено результати досліджень початкової стадії росту вуглецевих алмазоподібних плівок, отриманих імпульсним вакуумно-дуговим методом на кремнії. Методом скануючої зондової мікроскопії вивчена динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття в діапазоні товщин від 100 до 1000 нм. З використанням програмного забезпечення скануючого зондового мікроскопа «Smena-A» зроблений розрахунок ступеня шорсткості залежно від товщини. Встановлено процентне співвідношення нановиступів різних розмірів на поверхні вуглецевих покриттів різних товщин. По даним експерименту поверхня конденсату кваліфікована як фрактальна й проведений фрактальний аналіз поверхні. Почато спробу пояснення механізму утворення нановиступів на основі існуючих моделейоделей.
Results are presented on investigation of initial growth stages diamond-like carbon coating produced by pulse vacuum-arc
method on silicon. Study dynamics of growth nanopeak on a surface of carbon coating in range of thickness from 100 up to
1000 nm by use method of scanning probe microscopy (SPM). About use of the software scanning probe microscope “SMENAA”
to make a calculation roughness depending on thickness. The percent proportion nanopeak of the different sizes on a surface
of carbon coatings of different thickness is established. On datas of experiment the surface of a condensate is qualified as fractal
and the fractal analysis of a surface is conducting. To make an attempt of argument of formation nanopeak on the basis of the
existing model.
|
| first_indexed | 2025-11-24T11:37:30Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80569 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T11:37:30Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. 2015-04-19T14:31:43Z 2015-04-19T14:31:43Z 2005 Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80569 621.793.00 Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей. Представлено результати досліджень початкової стадії росту вуглецевих алмазоподібних плівок, отриманих імпульсним вакуумно-дуговим методом на кремнії. Методом скануючої зондової мікроскопії вивчена динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття в діапазоні товщин від 100 до 1000 нм. З використанням програмного забезпечення скануючого зондового мікроскопа «Smena-A» зроблений розрахунок ступеня шорсткості залежно від товщини. Встановлено процентне співвідношення нановиступів різних розмірів на поверхні вуглецевих покриттів різних товщин. По даним експерименту поверхня конденсату кваліфікована як фрактальна й проведений фрактальний аналіз поверхні. Почато спробу пояснення механізму утворення нановиступів на основі існуючих моделейоделей. Results are presented on investigation of initial growth stages diamond-like carbon coating produced by pulse vacuum-arc
 method on silicon. Study dynamics of growth nanopeak on a surface of carbon coating in range of thickness from 100 up to
 1000 nm by use method of scanning probe microscopy (SPM). About use of the software scanning probe microscope “SMENAA”
 to make a calculation roughness depending on thickness. The percent proportion nanopeak of the different sizes on a surface
 of carbon coatings of different thickness is established. On datas of experiment the surface of a condensate is qualified as fractal
 and the fractal analysis of a surface is conducting. To make an attempt of argument of formation nanopeak on the basis of the
 existing model. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации Динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття на початковій стадії конденсації Dynamics of nanobulges growth on the surface of carbon coating on the condensation initial stage Article published earlier |
| spellingShingle | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_alt | Динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття на початковій стадії конденсації Dynamics of nanobulges growth on the surface of carbon coating on the condensation initial stage |
| title_full | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_fullStr | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_full_unstemmed | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_short | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_sort | динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80569 |
| work_keys_str_mv | AT gončaroviû dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnoistadiikondensacii AT kolpakovaâ dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnoistadiikondensacii AT kamyšančenkonv dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnoistadiikondensacii AT gončaroviû dinamíkarostunanovistupívnapoverhnívuglecevogopokrittânapočatkovíistadííkondensacíí AT kolpakovaâ dinamíkarostunanovistupívnapoverhnívuglecevogopokrittânapočatkovíistadííkondensacíí AT kamyšančenkonv dinamíkarostunanovistupívnapoverhnívuglecevogopokrittânapočatkovíistadííkondensacíí AT gončaroviû dynamicsofnanobulgesgrowthonthesurfaceofcarboncoatingonthecondensationinitialstage AT kolpakovaâ dynamicsofnanobulgesgrowthonthesurfaceofcarboncoatingonthecondensationinitialstage AT kamyšančenkonv dynamicsofnanobulgesgrowthonthesurfaceofcarboncoatingonthecondensationinitialstage |