Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий
Выполнено изучение структурной стабильности нанокристаллических покрытий CrN, полученных в условиях осаждения хрома и бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ при температурах < 100 и 300°С. Показано, что облучение таких мелкокристаллических объектов ионами азота до уровней повреждений 25 с.м...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80581 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий / Р.Л. Василенко, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 201-204. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859681221042241536 |
|---|---|
| author | Василенко, Р.Л. Гугля, А.Г. Литвиненко, М.Л. |
| author_facet | Василенко, Р.Л. Гугля, А.Г. Литвиненко, М.Л. |
| citation_txt | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий / Р.Л. Василенко, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 201-204. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Выполнено изучение структурной стабильности нанокристаллических покрытий CrN, полученных в условиях осаждения хрома и бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ при температурах < 100 и 300°С. Показано, что облучение таких мелкокристаллических объектов ионами азота до уровней повреждений 25 с.м.а. приводит к последовательному увеличению их сопротивления. С другой стороны, радиационное воздействие не оказывает заметного влияния на размер зерна покрытий и не приводит к их аморфизации.
Проведене вивчення структурної стабільності нанокристалевих покриттів CrN, здобутих в умовах осадження хрому
та бомбардування іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурах <100°С та 300°С. Показано, що опромінення таких
дрібнокристалевих об`єктів іонами азоту до рівня пошкодження 25 зміщень на атом призводить до послідовного
збільшення їх електроопору. З іншого боку, радіаційне діяння не чинить помітного впливу на розмір зерна покриттів та
не призводить до аморфізації.
The studying structure stability of nanocrystalline CrN coatings was performed. These coatings were received during chromium
deposition with nitrogen ion bombardment with energy 30 keV at the temperatures < 100°C and 300°C. The result of the irradiation
such ultra crystalline specimens with nitrogen ions up to 25 displacements per atom is the resistivity increasing. From
other side the radiation effect doesn’t influence on grain size and coating amorphysation.
|
| first_indexed | 2025-11-30T18:26:00Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 621.384.6:543.51
РАДИАЦИОННАЯ ПОВРЕЖДАЕМОСТЬ
НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ CrN-ПОКРЫТИЙ
Р.Л. Василенко, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко
Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт»,
Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий,
г. Харьков, Украина
Выполнено изучение структурной стабильности нанокристаллических покрытий CrN, полученных в
условиях осаждения хрома и бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ при температурах < 100 и
300оС. Показано, что облучение таких мелкокристаллических объектов ионами азота до уровней поврежде
ний
25 с.м.а. приводит к последовательному увеличению их сопротивления. С другой стороны, радиационное
воздействие не оказывает заметного влияния на размер зерна покрытий и не приводит к их аморфизации.
ВВЕДЕНИЕ
Нанокристаллические материалы, в том числе в
виде покрытий, находят все большее применение в
промышленном производстве. Связано это с удач
ным сочетанием трибологических, электрофизиче
ских и коррозионных свойств [1]. Кроме этого, тако
го рода объекты должны обладать повышенной со
противляемостью к радиационному воздействию.
Малый размер зерен (5…100 нм) и относительно
большой объем, занимаемый их границами, создают
хорошие предпосылки для аннигиляции и рекомби
нации точечных дефектов, возникающих под облу
чением. В результате этого следует ожидать эффек
тивное торможение негативных процессов, связан
ных с дефектообразованием, таких как распухание,
охрупчивание, снижение прочности и др.
Многочисленные исследования, связанные с изу
чением влияния ионной бомбардировки на струк
турную стабильность многокомпонентных поликри
сталлических материалов, показали, что последова
тельное с ростом дозы облучения увеличение кон
центрации дефектов часто приводит к переходу от
кристаллической структуры к аморфной [2, 3]. Было
установлено, что наиболее легко поддаются амор
физации структуры с ковалентной связью, более
устойчивы ионные структуры, и наиболее стабиль
ны – с металлоподобной связью [4]. Однако даже
наиболее стабильные композиты переходят в
аморфное состояние при сравнительно небольших
уровнях повреждений (2…3 с.н.а). Причем увеличе
ние температуры облучения сдвигает критическую
дозу аморфизации в сторону больших значений, а
увеличение массы бомбардирующих частиц пони
жает указанную дозу [5, 6].
К настоящему моменту нами обнаружена лишь
одна работа, посвященная прямому исследованию
влияния ионного облучения на структурную ста
бильность нанокристаллического материала [7]. Ав
торы обнаружили, что после бомбардировки ионами
углерода нанокристаллические фольги золота пре
терпевают намного меньшее изменение электросо
противления, чем поликристаллические. Работ, свя
занных с изучением радиационной стабильности
композитных покрытий, получаемых с использова
нием плазменных и ионно-стимулированных техно
логий, нами не найдено. Покрытия, получаемые с
применением таких технологий, очень часто нано
кристалличны и поэтому являются хорошим объек
том для подобного рода исследований. Но наиболее
интересен вопрос радиационной стабильности по
крытий, которые сами по себе формируются при ин
тенсивной ионной бомбардировке, т.е. в условиях
высокой неравновесности.
Целью настоящего исследования было изучение
структурной стабильности полученных с использо
ванием ионно-стимулированной технологии CrN-
покрытий после бомбардировки их тяжелыми иона
ми в широком интервале доз облучения и темпера
тур.
МЕТОДИКА ПОСТАНОВКИ
ЭКСПЕРИМЕНТОВ
Эксперименты проводились на установке ионно-
стимулированного осаждения АРГО-1 [8]. Хром ис
парялся из электронно-лучевого модуля и осаждался
на монокристаллы NaCl. Осаждение пленок осуще
ствлялось в двух режимах – при давлении азота в ка
мере ≈ 4.10-3 Па или при том же давлении, но в усло
виях одновременной бомбардировки ионами азота с
энергией 30 кэВ с плотностью тока 5.1013…5.1014
ион/см2·сек. После осаждения материала толщиной
100 нм часть монокристалла с покрытием перекры
валась шторкой, а оставшаяся свободной облучалась
ионами азота с той же энергией. Последовательно
по мере достижения определенной дозы облучения
шторкой перекрывались оставшиеся части подлож
ки. Температуры, при которых проводилось осажде
ние и облучение, были < 100 и 300оС. Скорость ис
парения металла контролировалась с помощью
кварцевых датчиков и составляла 0.1…0.15 нм/сек.
Непосредственно рядом с кварцевыми датчиками
размещались датчики сопротивления. В их качестве
использовались осажденные на полированные стек
лянные пластины размером 5 ×15 мм медные кон
__________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2005. №5.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (88), с. 201-204.
201
такты с дополнительно осажденным внешним слоем
хрома. Исходное сопротивление контактов было не
более 0,2 ом. Две стеклянные пластины с парами та
ких контактов устанавливались непосредственно
возле подложки, на которую осаждался металл.
Одна контактная пара перекрывалась неподвижной
шторкой от попадания пучка ионов и фиксировала
изменение сопротивления пленки хрома, осаждав
шейся только в атмосфере азота. В качестве измери
тельного прибора использовался цифровой омметр
Щ34, точность измерения которого была не хуже
0.0001 ом. Контроль над изменением сопротивления
проводился непрерывно при получении покрытий и
при их облучении.
Покрытия, осаждавшиеся на соль, после экспери
мента помещались на предметную сетку и исследо
вались на электронном микроскопе JEM-100CX.
РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
На рис. 1 и 2 приведены зависимости изменения
сопротивления покрытий, полученных как при ион
ной бомбардировке, так и без нее от дозы ионного
облучения для различных температур. Для обоих
графиков характерно незначительное увеличение
сопротивлений покрытий, осажденных без ионной
бомбардировки. В то же время, материалы, получен
ные в условиях ионного облучения, демонстрируют
значительный его рост. Причем, чем меньше темпе
ратура получения покрытия, тем существеннее уве
личение сопротивления при последующей ионной
бомбардировке.
0 1 2 3 4 5 6
0
5
10
15
20
25
30
(R
i-R
o)/R
o
x
10
0
%
Доза облучения, ион/см2, х 1017
Рис. 1. Зависимость относительного изменения со
противления Cr-N-покрытий от дозы облучения.
▲– покрытие осаждалось в атмосфере азота;
■ – покрытие осаждалось при ионном облучении.
T = 300oC
0 1 2 3 4 5 6
0
10
20
30
40
(R
i-R
o)/R
o, x
10
0
%
Доза облучения, ион/см2, х 1017
Рис. 2. Зависимость относительного изменения
сопротивления Cr-N-покрытий от дозы облучения.
▲– покрытие осаждалось в атмосфере азота; ■ –
покрытие осаждалось при ионном облучении. T <
100oC
Ранее [9] нами было показано, что осаждение
хромового покрытия при повышенном давлении
азота без облучения приводит к формированию на
«островковой» стадии ГПУ-структуры, которая в
дальнейшем по мере увеличения толщины перехо
дит в аморфную. Таким образом, отсутствие увели
чения сопротивления в покрытиях, осажденных в
атмосфере азота, связано с высокой степенью де
фектности в исходных материалах, и дополнитель
ное их облучение и внедрение атомов азота не при
водит к изменению кинетики процесса переноса за
ряда электронами.
При осаждении хрома в условиях ионной бом
бардировки происходит образование ГЦК-структу
ры CrN. Условия осаждения нами были выбраны та
кими, чтобы расчетное отношение количества вне
дряемого азота к количеству осаждаемого хрома
(N/Cr) было равно 0.3 [10]. Вопреки равновесной
диаграмме состояния Cr-N [11] уже при таких ве
личинах данного отношения образование нитрида
Cr2N не наблюдается. Покрытие формируется в виде
ГЦК-фазы CrN, а недостающее количество азота ча
стично компенсируется в результате диссоциации
молекулярного азота из остаточной атмосферы в ка
мере и адсорбирования его в процессе роста покры
тия. Полученный нами результат подтверждается
данными авторов работы [12]. Согласно их расче
там, при пониженных температурах ионно-стимули
рованного процесса и в условиях высокой степени
его неравновесности именно образование CrN-фазы
более предпочтительно, чем Cr2N.
Таким образом, получаемый материал представ
ляет собой однофазную ГЦК-нанокристаллическую
структуру нитрида хрома (размер зерна 5…10 нм), в
которой часть связей в решетке остается незапол
ненной. Электронограмма представляет собой си
стему колец, отвечающих всем возможным в ГЦК-
структуре кристаллографическим плоскостям.
Структура текстурирована, однако какой-либо ярко
выраженной оси текстуры выявить не удалось. На
электронно-микроскопических снимках покрытий,
полученных при 300оС, присутствует слабо выра
женная блочная структура. Размер блоков
150…250 нм.
Исследование CrN-покрытий, подвергнутых бом
бардировке ионами азота, показали, что изменений
фазового состава не происходит, за исключением
появления слабых колец, ответственных за окисел
хрома Cr2О3. Расчетное содержание азота в покрыти
ях, с учетом газа, введенного при их получении, для
__________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2005. №5.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (88), с. 201-204.
202
максимальной дозы (6.1017 ион/см2) превышает 130
%. В таких условиях, видимо, происходит полное
заполнение связей в CrN решетке. Не связанный
азот может диффундировать по решетке нитрида
хрома и оседать в межблочном пространстве. Ана
логично может вести себя и внедряемый при облу
чении кислород.
На рис. 3,а,б показаны электронно-микро-скопи
ческие фотографии структуры покрытий, осажден
ных при 300оС, а также затем облученные до дозы
6.1017 ион/см2.
а б
Рис. 3. Электронно-микроскопические фотографии
структуры CrN-покрытия, осажденного при 300оС
(а) и впоследствии облученного при той же темпе
ратуре до дозы 6.1017 ион/см2 (б). (х 100000)
Наиболее заметные изменения происходят с бло
ками, а также со структурой межблочного про
странства. Средний размер блоков увеличивается до
150…200 нм, а межблочное пространство становит
ся структурно неразличимым и увеличивается по
толщине. Ширина границ между блоками достигает
20 % от размеров блоков. Размер зерен в блоках не
значительно увеличивается. Для покрытий, оса
жденных при Т< 100оС, каких-либо структурных из
менений при облучении не обнаружено.
Анализ электронограмм исходных образцов и полу
ченных после радиационного воздействия позволил
исследовать зависимость изменения параметра ре
шеток CrN-покрытий от дозы ионной бомбардиров
ки. На рис. 4 приведены соответствующие зависи
мости для разных температур.
0 1 2 3 4 5 6
0,406
0,408
0,410
0,412
0,414
0,416
0,418
0,420
0,422
0,424
0,426
0,428
0,430
0,432
0,434
0,436
Т < 100oC
Т = 300оС
П
ар
ам
ет
р
ре
ш
ет
ки
, н
м
Доза облучения, ион/см2, х1017
Рис. 4. Зависимость параметра решетки Cr-N-по
крытия от дозы ионного облучения
Видно, что, если в исходном состоянии парамет
ры решеток близки друг другу, то в процессе ион
ной бомбардировки у высокотемпературного покры
тия наблюдается рост данной величины, а у низко
температурного – ее уменьшение.
Известно, что бомбардировка тяжелыми ионами
кристаллических структур приводит к образованию
трех видов дефектов – одномерных, двумерных и
трехмерных. При этом с возрастанием дозы облуче
ния электросопротивление поликристаллических
металлов и сплавов, при отсутствии в них фазовых
превращений или процессов старения, всегда увели
чивается. Происходит это вследствие увеличения
концентрации дефектов и возрастания рассеяния на
них электронов проводимости. В нанокристалличе
ских объектах в результате того, что границы зерен,
которые являются эффективными стоками для то
чечных дефектов, расположены близко друг от дру
га, процесс дефектонакопления оказывается подав
ленным. С другой стороны, малоугловые границы
зерен сами по себе являются эффективными центра
ми рассеяния электронов, и их трансформирование в
процессе ионной бомбардировки может существен
но изменить механизм перемещения электронов
проводимости. Учитывая, что в наших эксперимен
тах облучение осуществлялось ионами азота, их
диффузия, стимулированная облучением, в сторону
стоков (границ зерен, блоков) должна существенно
изменить их компонентный состав и, как следствие,
электропроницаемость.
Компонентный состав ионного пучка в установке
АРГО-1 представляет собой смесь молекулярных и
атомарных ионов в соотношении 60% N2
+ и 40% N+.
При потенциале смещения на вытягивающем элек
троде 30 кВ доза облучения 6.1017 ион/см2 при таком
пучке создает уровень повреждений, равный
25 с.н.а. [13]. Исходя из этого, скорость приращения
электросопротивления во всем диапазоне доз облу
чения составляет для 300оС 4.0.10-2 ом.см/с.н.а., а
для 100оС – 6.4.10-2 ом.см/сна.
Как уже указывалось выше, для обычных поли
кристаллических металлов и сплавов уровень повре
ждений, необходимый для их аморфизации, намного
меньше. В нашей работе аморфизации зеренной
структуры не наблюдалось во всем диапазоне доз и
температур облучения. Более того, для температуры
облучения 300оС происходило незначительное уве
личение размера зерен и уменьшение степени тек
стуры, что свидетельствует о высоком уровне радиа
ционной стабильности нанокристаллических CrN-
покрытий.
Сопоставление динамики роста электросопро
тивления в процессе облучения со структурой по
крытий показывает, что, несмотря на появление в
высокотемпературном материале, в отличие от низ
котемпературного, широких межблочных границ,
темп прироста сопротивления примерно одинаков
для обоих материалов. Это может свидетельствовать
__________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2005. №5.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (88), с. 201-204.
203
о том, что основной вклад в уменьшение проводи
мости данного материала дают два фактора. Первый
– это последовательное заполнение азотом свобод
ных связей в структуре Cr-N и формирование сте
хиометрического соединения CrN, обладающего
большим удельным сопротивлением, чем структура
CrxN1-x. Второй фактор может быть связан с оседани
ем избыточного азота на границах между зернами и
уменьшая тем самым электропроницаемость этих
границ.
Широкие межблочные границы могут быть при
чиной различного поведения параметра решеток при
облучении для высокотемпературного и низкотем
пературного покрытий. Их появление и уширение в
процессе облучения должно привести к снижению
уровня внутренних напряжений в зернах, которые
неизбежно будут появляться при заполнении азотом
свободных связей, и увеличению параметра решет
ки.
ВЫВОДЫ
Проведенные исследования показали, что полу
ченные с использованием ионно-стимулированной
технологии осаждения нанокристаллические покры
тия CrN обладают высокой радиационной стойко
стью. Близко расположенные границы зерен яв
ляются эффективными стоками для радиационных
дефектов и препятствуют аморфизации такого мате
риала. Увеличение электросопротивления покрытий
CrN связано в первую очередь с внедрением в ре
шетку материала дополнительного количества азота
и заполнения им свободных связей в структуре
Cr-N.
Работа выполнена при частичной финансовой
поддержке гранта УНТЦ № 2050.
ЛИТЕРАТУРА
1.R. Andrievski.State-of-the-art and perspectives in the
field of particulate nanostructured materials //J.
Mater.Sci.Technol. 1998, v.4, p. 97–103.
2.P. Ziemann, W. Miehle, A. Plevnia. Amorphization of
metallic allows by ion bombardment //Nucl. Instrum.
&Method in Phys. Res.. 1993, B80/81, p. 370–378.
3.E. Schulson. The ordering and disordering of solid so
lutions under irradiation //J. of Nuclear Materials. 1979,
v. 83, p. 239–264.
4.C. McHargue. Structure and mechanical properties of
ion implanted ceramics //Nucl.Instrum.&Method in
Phys.Res. 1987, B19/20, p. 797–804.
5.E. Schulson, G. Carpenter, I. Howe. Irradiation
swelling of Zr3Al //J.of Nuclear Materials. 1979, v. 82,
p. 140–147.
6.T. Benkoulal, J. Jagielski, L. Thome, B. Vassent, M.
Kopoewicz. RBS and channeling study of the correla
tion between ion beam mixing and amorphization in a
binary metal system //Nucl.Instrum.&Method in
Phys.Res. 1993, B80/81, p. 455–458.
7.Y. Chimi, A. Iwase, N. Ishikawa, M. Kobiyama,
T. Inami, S. Okuda.
8.Accumulation and recovery of defects in ion-irradiat
ed nanocrystalline gold //J.of Nuclear Materials. 2001,
v. 297, p. 355–357.
9.А.Г. Гугля, Ю.А. Марченко, Н.В. Перун. Техноло
гия и оборудование высокоэнергетичной ионно-сти
мулированной обработки материалов //Металлове
дение и термическая обработка материалов. 1996,
т. 3, c. 29–32.
10.A. Guglya, M. Litvinenko, R. Vasilenko. First
stages of chromium coating formation under irradiation
with high-energy nitrogen ions. Abstracts of 16 Interna
tional vacuum congress, Venice, Italy, June 28 – July 2,
2004.
11.A.Guglya, I. Marchenko, I. Neklyudov. Chromium
film deposition stimulated by nitrogen ions implantation
with energies up to 30 keV //Surface and Coating Tech
nology. 2003, v. 173-174, p. 1248–1252.
12.О.М. Барабаш, Ю.Н. Коваль. Структура и свой
ства металлов и сплавов. Справочник. К.: «Наукова
думка», 1986, 598 с.
13.J. Seok, N. Jadeed and R. Lin. Sputter-deposited
nanocrystalline Cr and CrN coatings on steels //Surf.&
Coat. Tech. 2001, v. 138, №1, p. 14–22.
14.М.Томпсон. Дефекты и радиационные повре
ждения в металлах. М.: «Мир», 1971, 367 с.
РАДІАЦІЙНЕ ПОШКОДЖЕННЯ НАНОКРИСТАЛЕВИХ CrN ПОКРИТТІВ.
Р.Л. Василенко, О.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко
Проведене вивчення структурної стабільності нанокристалевих покриттів CrN, здобутих в умовах осадження хрому
та бомбардування іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурах <100оС та 300оС. Показано, що опромінення таких
дрібнокристалевих об`єктів іонами азоту до рівня пошкодження 25 зміщень на атом призводить до послідовного
збільшення їх електроопору. З іншого боку, радіаційне діяння не чинить помітного впливу на розмір зерна покриттів та
не призводить до аморфізації.
RADIATION DAMEDGES IN NANOCRYSTALLINE CrN COATINGS.
R.L. Vasilenko, A.G. Guglya, M.L. Litvinenko
The studying structure stability of nanocrystalline CrN coatings was performed. These coatings were received during chromi
um deposition with nitrogen ion bombardment with energy 30 keV at the temperatures < 100oC and 300oC. The result of the irra
diation such ultra crystalline specimens with nitrogen ions up to 25 displacements per atom is the resistivity increasing. From
other side the radiation effect doesn’t influence on grain size and coating amorphysation.
__________________________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2005. №5.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (88), с. 201-204.
204
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80581 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T18:26:00Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Василенко, Р.Л. Гугля, А.Г. Литвиненко, М.Л. 2015-04-19T15:23:21Z 2015-04-19T15:23:21Z 2005 Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий / Р.Л. Василенко, А.Г. Гугля, М.Л. Литвиненко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 201-204. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80581 621.384.6:543.51 Выполнено изучение структурной стабильности нанокристаллических покрытий CrN, полученных в условиях осаждения хрома и бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ при температурах < 100 и 300°С. Показано, что облучение таких мелкокристаллических объектов ионами азота до уровней повреждений 25 с.м.а. приводит к последовательному увеличению их сопротивления. С другой стороны, радиационное воздействие не оказывает заметного влияния на размер зерна покрытий и не приводит к их аморфизации. Проведене вивчення структурної стабільності нанокристалевих покриттів CrN, здобутих в умовах осадження хрому та бомбардування іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурах <100°С та 300°С. Показано, що опромінення таких дрібнокристалевих об`єктів іонами азоту до рівня пошкодження 25 зміщень на атом призводить до послідовного збільшення їх електроопору. З іншого боку, радіаційне діяння не чинить помітного впливу на розмір зерна покриттів та не призводить до аморфізації. The studying structure stability of nanocrystalline CrN coatings was performed. These coatings were received during chromium deposition with nitrogen ion bombardment with energy 30 keV at the temperatures < 100°C and 300°C. The result of the irradiation such ultra crystalline specimens with nitrogen ions up to 25 displacements per atom is the resistivity increasing. From other side the radiation effect doesn’t influence on grain size and coating amorphysation. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке гранта УНТЦ № 2050. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Облучательная техника и диагностика Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий Радіаційне пошкодження нанокристалевих CrN-покриттів Radiation damedges in nanocrystalline CrN-coatings Article published earlier |
| spellingShingle | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий Василенко, Р.Л. Гугля, А.Г. Литвиненко, М.Л. Облучательная техника и диагностика |
| title | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий |
| title_alt | Радіаційне пошкодження нанокристалевих CrN-покриттів Radiation damedges in nanocrystalline CrN-coatings |
| title_full | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий |
| title_fullStr | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий |
| title_full_unstemmed | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий |
| title_short | Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий |
| title_sort | радиационная повреждаемость нанокристаллических crn-покрытий |
| topic | Облучательная техника и диагностика |
| topic_facet | Облучательная техника и диагностика |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80581 |
| work_keys_str_mv | AT vasilenkorl radiacionnaâpovreždaemostʹnanokristalličeskihcrnpokrytii AT guglâag radiacionnaâpovreždaemostʹnanokristalličeskihcrnpokrytii AT litvinenkoml radiacionnaâpovreždaemostʹnanokristalličeskihcrnpokrytii AT vasilenkorl radíacíinepoškodžennânanokristalevihcrnpokrittív AT guglâag radíacíinepoškodžennânanokristalevihcrnpokrittív AT litvinenkoml radíacíinepoškodžennânanokristalevihcrnpokrittív AT vasilenkorl radiationdamedgesinnanocrystallinecrncoatings AT guglâag radiationdamedgesinnanocrystallinecrncoatings AT litvinenkoml radiationdamedgesinnanocrystallinecrncoatings |