Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2005
• Main Authors: Калиниченко, А.И., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80606
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе / А.И. Калиниченко, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 159-163. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Теоретически исследуются переменные механические напряжения, возникающие при ионной имплантации в результате передачи импульса иона веществу мишени. На примере ионов C⁺ и Ar⁺ с энергией E = 25…1000 эВ, падающих на углеродную мишень, рассматривается возбуждение упругих волн, определяются и сравнивают...