Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе
Теоретически исследуются переменные механические напряжения, возникающие при ионной имплантации в результате передачи импульса иона веществу мишени. На примере ионов C⁺ и Ar⁺ с энергией E = 25…1000 эВ, падающих на углеродную мишень, рассматривается возбуждение упругих волн, определяются и сравнивают...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80606 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе / А.И. Калиниченко, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 159-163. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |