Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Проблемы машиностроения |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80949 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742799309340672 |
|---|---|
| author | Василенко, Н.А. Василенко, А.О. |
| author_facet | Василенко, Н.А. Василенко, А.О. |
| citation_txt | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Проблемы машиностроения |
| description | Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики.
Підвищення фізичних, механічних і хімічних характеристик тонких нітридних плівок залежить від методів їх осадження та удосконалення структури, яка і визначає одержувані властивості. Методом іонної імплантації та конденсації іонного бомбардування отримані плівки нітридів на підкладках Ti , Ta , W , Mo , Ni , Si ( 111 ) і NaCl ( 100 ), вивчено їх фізичні, електричні, хімічні характеристики.
Improvement of physical, mechanical and chemical properties of thin nitride films depends on the methods of their deposition and improvement of the structure, which determines the obtained properties. In the production of nitride films, which are promising in solidstate microelectronics and instrument engineering, various reactive sputtering methods are widely used. For the solution of these problems, relatively new methods - ion implantation method (II) and condensation and ion bombardment (CIB) method, carried out on the "Bulat" installation are quite promising. However, films, obtained by various methods using the same initial materials, as a rule, have various characteristics. In this paper, the films of nitrides on Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) and NaCl (100) substrates were obtained by the above methods, their physical, electrical and chemical characteristics were studied. The kinetics and mechanism of build-up of the obtained film coatings were established, the growth constant was calculated. Due to the study of physicochemical properties of films, obtained by various methods it is possible to obtain film coatings with previously predicted properties.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:27:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-80949 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0131-2928 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:27:05Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Василенко, Н.А. Василенко, А.О. 2015-04-28T16:17:25Z 2015-04-28T16:17:25Z 2013 Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 0131-2928 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80949 535.338.43.533.59 Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики. Підвищення фізичних, механічних і хімічних характеристик тонких нітридних плівок залежить від методів їх осадження та удосконалення структури, яка і визначає одержувані властивості. Методом іонної імплантації та конденсації іонного бомбардування отримані плівки нітридів на підкладках Ti , Ta , W , Mo , Ni , Si ( 111 ) і NaCl ( 100 ), вивчено їх фізичні, електричні, хімічні характеристики. Improvement of physical, mechanical and chemical properties of thin nitride films depends on the methods of their deposition and improvement of the structure, which determines the obtained properties. In the production of nitride films, which are promising in solidstate microelectronics and instrument engineering, various reactive sputtering methods are widely used. For the solution of these problems, relatively new methods - ion implantation method (II) and condensation and ion bombardment (CIB) method, carried out on the "Bulat" installation are quite promising. However, films, obtained by various methods using the same initial materials, as a rule, have various characteristics. In this paper, the films of nitrides on Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) and NaCl (100) substrates were obtained by the above methods, their physical, electrical and chemical characteristics were studied. The kinetics and mechanism of build-up of the obtained film coatings were established, the growth constant was calculated. Due to the study of physicochemical properties of films, obtained by various methods it is possible to obtain film coatings with previously predicted properties. ru Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України Проблемы машиностроения Материаловедение в машиностроении Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods Article published earlier |
| spellingShingle | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления Василенко, Н.А. Василенко, А.О. Материаловедение в машиностроении |
| title | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| title_alt | Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods |
| title_full | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| title_fullStr | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| title_full_unstemmed | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| title_short | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| title_sort | сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления |
| topic | Материаловедение в машиностроении |
| topic_facet | Материаловедение в машиностроении |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80949 |
| work_keys_str_mv | AT vasilenkona sopostavleniefizikohimičeskihsvoistvnitridnyhplenokpolučennyhraznymimetodamireaktivnogoraspyleniâ AT vasilenkoao sopostavleniefizikohimičeskihsvoistvnitridnyhplenokpolučennyhraznymimetodamireaktivnogoraspyleniâ AT vasilenkona comparisonofphysicochemicalpropertiesofnitridefilmsproducedbyvariousreactivesputteringmethods AT vasilenkoao comparisonofphysicochemicalpropertiesofnitridefilmsproducedbyvariousreactivesputteringmethods |