Buchumschlag

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Проблемы машиностроения
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Василенко, Н.А., Василенко, А.О.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України 2013
Schlagworte:	Материаловедение в машиностроении
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/80949
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Прогнозирование физико-химических и теплофизических свойств никельсодержащих ферросплавов
von: Петров, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Прогнозирование физико-химических и теплофизических свойств феррониобия стандартных марок
von: Петров, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2017)

О залечивании дефектов в металлах при пластической деформации (аналитический обзор)
von: Мацевитый, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Структурная оценка трещиностойкости сварных соединений высокопрочных сталей
von: Бердникова, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)

Вибір методів підвищення зносостійкості деталей транспортного призначення
von: Остапчук, В.М.
Veröffentlicht: (2013)

Особенности разогревания стали ШХ 15 при циклическом нагружении
von: Вакуленко, К.В.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние электрофизических способов обработки на формоустойчивость дисперсионно стареющих сплавов прецизионного приборостроения
von: Мамалуй, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О различиях механизмов разрушения металлов в условиях малоцикловой и многоцикловой усталости
von: Мацевитый, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Теплова деформація залізовуглецевих сплавів та її вплив на діаграму стану Fe – C
von: Бережний, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Некоторые аспекты разогрева металла в условиях циклического нагружения
von: Мацевитый, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Эффективность многослойных покрытий в различных средах и при циклическом нагружении
von: Вакуленко, К.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Микротвердость поверхности нержавеющей стали, модифицированной ионной имплантацией
von: Гончаров, В.В.
Veröffentlicht: (2013)

Изменение коэрцитивной силы при усталостных испытаниях образцов из стали 40Х
von: Вакуленко, К.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Оцінка впливу взаємодії вуглецю із сполуками карбідів, боридів, нітридів і силіцидів на структуру і властивості композитів алмаз-Fe-Cu-Ni-Sn
von: Мечник, В.А.
Veröffentlicht: (2011)

Комплексная оценка степени деградации материала в условиях циклического нагружения
von: Вакуленко, К.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Фазовые превращения в дисперсионно стареющих сплавах в прецизионном приборостроении
von: Мамалуй, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Розробка та дослідження покриттів для захисту від фретинг-корозії
von: Похмурський, В.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Підвищення довговічності деталей енергетичного машинобудування методом нітроцементації в макродисперсній суміші
von: Костик, К.
Veröffentlicht: (2013)

Микропроцессорная система управления электроконтактной наплавкой двумя роликовыми электродами
von: Чепель, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Разработка физико-химических моделей для прогнозирования активностей компонентов чугуна и шлака
von: Гринько, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Физико-химическое моделирование теплофизических свойств жидкого чугуна
von: Тогобицкая, Д.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
von: Мохненко, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Физико-химический аспект анализа свойств ферритно-перлитных жаропрочных сталей
von: Приходько, Э.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Физико-химические модели для экспертной оценки механических свойств конструкционных сталей
von: Кононенко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Физико-химические критерии для прогнозирования термодинамических свойств многокомпонентных металлических систем
von: Петров, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Использование физико-химических параметров для изучения влияния химического состава на прочностные свойства ускоренного охлажденного арматурного проката
von: Раздобреев, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Костин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Физико-химическая оценка свойств промышленных ферросплавов
von: Пиптюк, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Kostin, E. G., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Взаимосвязь физико-химических и физико-механических свойств порошков синтетического алмаза
von: Богатырева, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
von: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Veröffentlicht: (2003)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
von: Перекрестов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Температурное изменение в СВЧ-диапазоне магнитных свойств нанопорошков Fe₃O₄, синтезированных разными методами
von: Вакула, А.С.
Veröffentlicht: (2015)

Комплексная физико-химическая оценка свойств компонентов ТШС и синтетических рафинирующих шлаков
von: Приходько, Э.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Особенности проявления физико-механических и физико-химических свойств кокса в доменной печи
von: Джигота, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Зависимость физико-химических свойств ВТСП-соединений от размера кристаллитов
von: Наумова, Д.Д., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оптимальное проектирование конструкций при комбинированном подходе к учету коррозии и защитных свойств антикоррозионных покрытий
von: Фридман, М.М.
Veröffentlicht: (2017)

Физико-механические характаристики аморфных углеродных пленок, полученных из паров бензола
von: Грицкевич, Р.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)