Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов со...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862708958264819712 |
|---|---|
| author | Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. |
| author_facet | Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. |
| citation_txt | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров.
У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні
вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково-
плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів
створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів.
In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of
carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected
with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission
high density centers.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:13:18Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81102 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:13:18Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. 2015-05-05T15:17:29Z 2015-05-05T15:17:29Z 2006 Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 81.20.Ka https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102 Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров. У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні
 вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково-
 плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів
 створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів. In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of
 carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected
 with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission
 high density centers. Авторы благодарны профессору Евгению Павло-
 вичу Шешину (МФТИ) за полезные обсуждения в
 ходе работы и помощь в получении фотографий улеродных образцов. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде Отримання негативних іонів водню у пучково-плазмовому розряді Hydrogen negative ion obtainment into beam-plasma discharge Article published earlier |
| spellingShingle | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде Баранов, А.E. Вострикова, Е.А. Елизаров, Л.И. Иванов, А.А. Ливадный, А.О. Пастухов, А.Н. Пташник, А.А. Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| title | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_alt | Отримання негативних іонів водню у пучково-плазмовому розряді Hydrogen negative ion obtainment into beam-plasma discharge |
| title_full | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_fullStr | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_full_unstemmed | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_short | Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| title_sort | получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде |
| topic | Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| topic_facet | Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102 |
| work_keys_str_mv | AT baranovae polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT vostrikovaea polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT elizarovli polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT ivanovaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT livadnyiao polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT pastuhovan polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT ptašnikaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde AT baranovae otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT vostrikovaea otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT elizarovli otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT ivanovaa otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT livadnyiao otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT pastuhovan otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT ptašnikaa otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí AT baranovae hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT vostrikovaea hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT elizarovli hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT ivanovaa hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT livadnyiao hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT pastuhovan hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge AT ptašnikaa hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge |