Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде

Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов со...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2006
Main Authors: Баранов, А.E., Вострикова, Е.А., Елизаров, Л.И., Иванов, А.А., Ливадный, А.О., Пастухов, А.Н., Пташник, А.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Subjects:
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81102
record_format dspace
spelling Баранов, А.E.
Вострикова, Е.А.
Елизаров, Л.И.
Иванов, А.А.
Ливадный, А.О.
Пастухов, А.Н.
Пташник, А.А.
2015-05-05T15:17:29Z
2015-05-05T15:17:29Z
2006
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1562-6016
PACS: 81.20.Ka
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров.
У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково- плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів.
In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission high density centers.
Авторы благодарны профессору Евгению Павло- вичу Шешину (МФТИ) за полезные обсуждения в ходе работы и помощь в получении фотографий улеродных образцов.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
Отримання негативних іонів водню у пучково-плазмовому розряді
Hydrogen negative ion obtainment into beam-plasma discharge
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
spellingShingle Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
Баранов, А.E.
Вострикова, Е.А.
Елизаров, Л.И.
Иванов, А.А.
Ливадный, А.О.
Пастухов, А.Н.
Пташник, А.А.
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
title_short Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
title_full Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
title_fullStr Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
title_full_unstemmed Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
title_sort получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
author Баранов, А.E.
Вострикова, Е.А.
Елизаров, Л.И.
Иванов, А.А.
Ливадный, А.О.
Пастухов, А.Н.
Пташник, А.А.
author_facet Баранов, А.E.
Вострикова, Е.А.
Елизаров, Л.И.
Иванов, А.А.
Ливадный, А.О.
Пастухов, А.Н.
Пташник, А.А.
topic Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
topic_facet Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
publishDate 2006
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Отримання негативних іонів водню у пучково-плазмовому розряді
Hydrogen negative ion obtainment into beam-plasma discharge
description Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов создания автоэмиссионных углеродных катодов с большой плотностью эмиссионных центров. У роботі розглядається можливість отримання негативних іонів водню при плазмовому травленні вуглецю у водневій плазмі пучково-плазмового розряду. Перспективність використання пучково- плазмового розряду для травлення вуглецю пов’язана з тим, що плазмове травлення є одним із способів створення автоемісійних вуглецевих катодів з високою густиною емісійних центрів. In this paper it is considered a possibility of a hydrogen negative ion obtainment at hydrogen plasma etching of carbon into a beam-plasma discharge. The usage perspective of beam-plasma discharge for carbon etching is connected with this fact that a plasma etching is one of a way on the auto emission carbon cathodes with the emission high density centers.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102
citation_txt Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT baranovae polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT vostrikovaea polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT elizarovli polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT ivanovaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT livadnyiao polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT pastuhovan polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT ptašnikaa polučenieotricatelʹnyhionovvodorodavpučkovoplazmennomrazrâde
AT baranovae otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT vostrikovaea otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT elizarovli otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT ivanovaa otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT livadnyiao otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT pastuhovan otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT ptašnikaa otrimannânegativnihíonívvodnûupučkovoplazmovomurozrâdí
AT baranovae hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT vostrikovaea hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT elizarovli hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT ivanovaa hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT livadnyiao hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT pastuhovan hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
AT ptašnikaa hydrogennegativeionobtainmentintobeamplasmadischarge
first_indexed 2025-12-07T17:13:18Z
last_indexed 2025-12-07T17:13:18Z
_version_ 1850870436601004032

Similar Items