Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Баранов, А.E., Вострикова, Е.А., Елизаров, Л.И., Иванов, А.А., Ливадный, А.О., Пастухов, А.Н., Пташник, А.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Schlagworte: Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81102
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде / А.E. Баранов, Е.А. Вострикова, Л.И. Елизаров, А.А. Иванов, А.О. Ливадный, А.Н. Пастухов, А.А. Пташник // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 72-75. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления углерода связана с тем, что плазменное травление является одним из способов со...