Cover Image

Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока

Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнит...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2006
Main Author:	Костин, Е.Г.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Subjects:	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81131
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока / Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 131-135. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
by: Гончаров, А.А., et al.
Published: (2008)

Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
by: Голота, В.И., et al.
Published: (2006)

Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
by: Бизюков, А.А., et al.
Published: (2006)

Activated hydrogen influence on characteristics of penning discharge with hollow cathode
by: Borisko, V.N., et al.
Published: (2006)

Calculation of DC arc plasma torch voltage-current characteristics based on Steenbeck model
by: Gnedenko, V.G., et al.
Published: (2006)

Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
by: Isaev, N.V., et al.
Published: (2006)

Повышение эффективности синтеза озона в системе электродов игла-плоскость с импульсным питанием
by: Голота, В.И., et al.
Published: (2006)

Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
by: Коляда, Ю.Е., et al.
Published: (2006)

Floating potential of dielectric target in plasma-beam discharge with magnet field
by: Dobrovol`s`kii, A.M., et al.
Published: (2006)

Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
by: Солошенко, И.А., et al.
Published: (2006)

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
by: Баранов, А.E., et al.
Published: (2006)

Ускорение ионов, электронов и рентгеновское излучение в катодном пятне вакуумной дуги
by: Андреев, А.А.
Published: (2006)

Weak ion sound turbulence and isotope anomaly in electron cyclotron resonance ion source plasmas
by: Ivanov, A.A., et al.
Published: (2006)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
by: Бизюков, А.А., et al.
Published: (2006)

Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
by: Артёмов, А.В., et al.
Published: (2008)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
by: Шустин, Е.Г., et al.
Published: (2008)

Влияние металлогидридного катода на выход электронов из разряда Пеннинга
by: Середа, И.Н., et al.
Published: (2010)

Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
by: Korytchehko, K.V., et al.
Published: (2018)

Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
by: Tsiolko, V.V., et al.
Published: (2010)

Computer modeling of the gas discharge in the electrodeless lamp
by: Frolova, T.I., et al.
Published: (2015)

Конверсия паров метанола и этанола в разряде с сильно неоднородным распределением электрического поля при атмосферном давлении
by: Голота, В.И., et al.
Published: (2010)

Peculiarities of UV radiation from hollow cathode discharge plasma used for sterilization of medical articles
by: Tsiolko, V.V., et al.
Published: (2010)

Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений
by: Мордик, С.Н., et al.
Published: (2008)

Empirical formula for the dependence of the “optical gap” value on the electron concentration Ne within the range of 10¹⁷cm⁻³ ≤Ne ≤ 10²²cm⁻³
by: Fedorovich, О.А.
Published: (2013)

Plasma’s kinetics in discharge in mixture of air, water and ethanol steams and the questions of alternative fuel
by: Shchedrin, A.I., et al.
Published: (2008)

Mathematical modeling of gas flow in plasma torch vortex chamber
by: Butyrev, A.E., et al.
Published: (2008)

Kinetics of plasmachemical processes in barrier discharge on ambient air
by: Soloshenko, I.A., et al.
Published: (2008)

Spectroscopy pequliarities of thermal plasma with copper and nickel vapours
by: Veklich, A.N., et al.
Published: (2015)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
by: Tsiolko, V.V., et al.
Published: (2013)

The use of ozone technologies in grain storage
by: Golota, V.I., et al.
Published: (2018)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
by: Голота, В.И., et al.
Published: (2010)

Сathode design effect on gas breakdown and modes of burning of the glow discharge in nitrogen
by: Lisovskiy, V.A., et al.
Published: (2018)

On the dense plasma decay within the electron concentration range of 10¹⁷ cm⁻³≤Ne≤10²² cm⁻³
by: Fedorovich, О.А., et al.
Published: (2013)

Stochastic heating of charged particles in absence of first order resonances
by: Antonov, A.N., et al.
Published: (2015)

Численное моделирование отрицательного стримера в азоте
by: Голота, В.И., et al.
Published: (2010)

Features of the microsecond pulsed discharge ignition in oxygen in a point-to-plane configuration
by: Mankovskyi, S.M., et al.
Published: (2018)

Зависимость пороговой мощности пробоя от давления газа в различных режимах работы генератора СВЧ-излучения со скачками фазы
by: Алисов, А.Ф., et al.
Published: (2008)

The influence of exothermic reactions on the nonequilibrium level of discharge plasma
by: Chernyak, V.Ya., et al.
Published: (2013)

Двовимірна нестаціонарна числова модель жевріючого розряду в аксіально-симетричній геометрії
by: Пономарьов, О.П., et al.
Published: (2010)

Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field
by: Zykov, A.V., et al.
Published: (2015)