Buchumschlag

Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока

Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнит...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2006
1. Verfasser:	Костин, Е.Г.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81131
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока / Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 131-135. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Ускорение ионов, электронов и рентгеновское излучение в катодном пятне вакуумной дуги
von: Андреев, А.А.
Veröffentlicht: (2006)

Weak ion sound turbulence and isotope anomaly in electron cyclotron resonance ion source plasmas
von: Ivanov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
von: Баранов, А.E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
von: Солошенко, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Calculation of DC arc plasma torch voltage-current characteristics based on Steenbeck model
von: Gnedenko, V.G., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
von: Isaev, N.V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Повышение эффективности синтеза озона в системе электродов игла-плоскость с импульсным питанием
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Floating potential of dielectric target in plasma-beam discharge with magnet field
von: Dobrovol`s`kii, A.M., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
von: Коляда, Ю.Е., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Activated hydrogen influence on characteristics of penning discharge with hollow cathode
von: Borisko, V.N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Про параметри катодоспрямованого стримеру
von: Остроушко, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources
von: Manuilenko, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
von: Артёмов, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
von: Шустин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние металлогидридного катода на выход электронов из разряда Пеннинга
von: Середа, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Излучение из дрейфовой зоны отрицательной короны в режиме импульсов Тричела
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Influence of electrode erosion on formation of long-living luminous objects, formed by electrical discharge in water
von: Golubnichy, P.I., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Decomposition of ethelene in low temperature plasma of barrierless discharge
von: Golota, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Іgnition of the beam-plasma discharge in the initially neitral gas
von: Dadyka, D.I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений
von: Мордик, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Empirical formula for the dependence of the “optical gap” value on the electron concentration Ne within the range of 10¹⁷cm⁻³ ≤Ne ≤ 10²²cm⁻³
von: Fedorovich, О.А.
Veröffentlicht: (2013)

Конверсия паров метанола и этанола в разряде с сильно неоднородным распределением электрического поля при атмосферном давлении
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Reforming of ethanol in hybrid plasma catalytic system
von: Nedybaliuk, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Spectroscopy pequliarities of thermal plasma with copper and nickel vapours
von: Veklich, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
von: Tsiolko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О вращении тропического циклона
von: Боев, A.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown
von: Dakhov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
von: Korytchehko, K.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Plasma system with rotational gliding arc between solid electrodes
von: Solomenko, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Тhe use of ozone technologies in grain storage
von: Golota, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Gas temperature of diffuse negative corona discharge
von: Bolotov, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
von: Karas, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Stochastic heating of charged particles in absence of first order resonances
von: Antonov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Двовимірна нестаціонарна числова модель жевріючого розряду в аксіально-симетричній геометрії
von: Пономарьов, О.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Пучково-плазменный разряд в плотной газовой среде и сильном магнитном поле, его особенности и возможные применения
von: Скибенко, Е.И.
Veröffentlicht: (2010)