Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока
Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнит...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81131 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока / Е.Г. Костин // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 131-135. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Ускорение ионов, электронов и рентгеновское излучение в катодном пятне вакуумной дуги
за авторством: Андреев, А.А.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Андреев, А.А.
Опубліковано: (2006)
Weak ion sound turbulence and isotope anomaly in electron cyclotron resonance ion source plasmas
за авторством: Ivanov, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ivanov, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
за авторством: Баранов, А.E., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Баранов, А.E., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
за авторством: Солошенко, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Солошенко, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Calculation of DC arc plasma torch voltage-current characteristics based on Steenbeck model
за авторством: Gnedenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Gnedenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2006)
Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
за авторством: Isaev, N.V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Isaev, N.V., та інші
Опубліковано: (2006)
Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Повышение эффективности синтеза озона в системе электродов игла-плоскость с импульсным питанием
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Floating potential of dielectric target in plasma-beam discharge with magnet field
за авторством: Dobrovol`s`kii, A.M., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Dobrovol`s`kii, A.M., та інші
Опубліковано: (2006)
Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
за авторством: Коляда, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Коляда, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2006)
Activated hydrogen influence on characteristics of penning discharge with hollow cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)
Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Про параметри катодоспрямованого стримеру
за авторством: Остроушко, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Остроушко, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
за авторством: Артёмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Артёмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние металлогидридного катода на выход электронов из разряда Пеннинга
за авторством: Середа, И.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Середа, И.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Излучение из дрейфовой зоны отрицательной короны в режиме импульсов Тричела
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Influence of electrode erosion on formation of long-living luminous objects, formed by electrical discharge in water
за авторством: Golubnichy, P.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Golubnichy, P.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Decomposition of ethelene in low temperature plasma of barrierless discharge
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)
Іgnition of the beam-plasma discharge in the initially neitral gas
за авторством: Dadyka, D.I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dadyka, D.I., та інші
Опубліковано: (2018)
Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений
за авторством: Мордик, С.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Мордик, С.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Empirical formula for the dependence of the “optical gap” value on the electron concentration Ne within the range of 10¹⁷cm⁻³ ≤Ne ≤ 10²²cm⁻³
за авторством: Fedorovich, О.А.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Fedorovich, О.А.
Опубліковано: (2013)
Конверсия паров метанола и этанола в разряде с сильно неоднородным распределением электрического поля при атмосферном давлении
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Reforming of ethanol in hybrid plasma catalytic system
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Spectroscopy pequliarities of thermal plasma with copper and nickel vapours
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)
Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)
О вращении тропического циклона
за авторством: Боев, A.Г.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Боев, A.Г.
Опубліковано: (2010)
Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2013)
Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
за авторством: Korytchehko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Korytchehko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
Plasma system with rotational gliding arc between solid electrodes
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Тhe use of ozone technologies in grain storage
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)
Gas temperature of diffuse negative corona discharge
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Stochastic heating of charged particles in absence of first order resonances
за авторством: Antonov, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Antonov, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)
Двовимірна нестаціонарна числова модель жевріючого розряду в аксіально-симетричній геометрії
за авторством: Пономарьов, О.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Пономарьов, О.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Пучково-плазменный разряд в плотной газовой среде и сильном магнитном поле, его особенности и возможные применения
за авторством: Скибенко, Е.И.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Скибенко, Е.И.
Опубліковано: (2010)