Зображення обкладинки

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных реж...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2006
Автори:	Бизюков, А.А., Середа, К.Н., Кашаба, А.Е., Ромащенко, Е.В., Чибисов, А.Д., Поневчинский, В.В., Слепцов, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Теми:	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81132
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления / А.А. Бизюков, К.Н. Середа, А.Е. Кашаба, Е.В. Ромащенко, А.Д. Чибисов, В.В. Поневчинский, В.В.Слепцов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 136-141. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Нагрев и испарение металлических макрочастиц в пучково-плазменных системах
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Сильноточный магнетронный разряд с магнитоизолированным анодом
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение борида алюминия в плазме сильноточного импульсного дугового разряда
за авторством: Пак, А.Я., та інші
Опубліковано: (2017)

О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
за авторством: Загребельный, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДУГОВОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ЛАЗЕРНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА
за авторством: Бушма , А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние металлогидридного катода на выход электронов из разряда Пеннинга
за авторством: Середа, И.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние параметров импульсного отражательного разряда на его плазменные характеристики
за авторством: Ковтун, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
за авторством: Солошенко, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Разделение зарядов и волны в плазме
за авторством: Орешко, А.Г.
Опубліковано: (2003)

Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
за авторством: Середа, И.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Повышение эффективности синтеза озона в системе электродов игла-плоскость с импульсным питанием
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Ускорение ионов, электронов и рентгеновское излучение в катодном пятне вакуумной дуги
за авторством: Андреев, А.А.
Опубліковано: (2006)

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
за авторством: Баранов, А.E., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
за авторством: Коляда, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2006)

Activated hydrogen influence on characteristics of penning discharge with hollow cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока
за авторством: Костин, Е.Г.
Опубліковано: (2006)

Calculation of DC arc plasma torch voltage-current characteristics based on Steenbeck model
за авторством: Gnedenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2006)

Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
за авторством: Isaev, N.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Floating potential of dielectric target in plasma-beam discharge with magnet field
за авторством: Dobrovol`s`kii, A.M., та інші
Опубліковано: (2006)

Weak ion sound turbulence and isotope anomaly in electron cyclotron resonance ion source plasmas
за авторством: Ivanov, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)

Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
за авторством: Артёмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Зависимость пороговой мощности пробоя от давления газа в различных режимах работы генератора СВЧ-излучения со скачками фазы
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

Численное моделирование отрицательного стримера в азоте
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений
за авторством: Мордик, С.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Конверсия паров метанола и этанола в разряде с сильно неоднородным распределением электрического поля при атмосферном давлении
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Экспериментальные исследования развития катодонаправленного стримера в воздухе при повышенных давлениях
за авторством: Болотов, О.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Empirical formula for the dependence of the “optical gap” value on the electron concentration Ne within the range of 10¹⁷cm⁻³ ≤Ne ≤ 10²²cm⁻³
за авторством: Fedorovich, О.А.
Опубліковано: (2013)

Сharging processes and phase states of macroparticles in low-pressure arc discharge
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)

On the dense plasma decay within the electron concentration range of 10¹⁷ cm⁻³≤Ne≤10²² cm⁻³
за авторством: Fedorovich, О.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Researching of ozone decay dinamics in different technological conditions
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

The use of ozone technologies in grain storage
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Тhe use of ozone technologies in grain storage
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
за авторством: Korytchehko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)