Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Бизюков, А.А., Середа, К.Н., Кашаба, А.Е., Ромащенко, Е.В., Чибисов, А.Д., Поневчинский, В.В., Слепцов, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Schlagworte: Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81132
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления / А.А. Бизюков, К.Н. Середа, А.Е. Кашаба, Е.В. Ромащенко, А.Д. Чибисов, В.В. Поневчинский, В.В.Слепцов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 136-141. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных реж...