Manuilenko, O., & Minaeva, K. (2006). Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Manuilenko, O.V, und K.M Minaeva. "Ion Energy and Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources." Вопросы атомной науки и техники 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Manuilenko, O.V, und K.M Minaeva. "Ion Energy and Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources." Вопросы атомной науки и техники, 2006.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.