Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources
The possibilities to control ion energy distribution functions (IEDFs) and ion angle distribution functions (IADFs) on electrodes in single- and dualfrequency capacitively coupled plasma (CCP) sources are investigated by means of particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MCC) simulations. It is shown that...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81155 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources / O.V. Manuilenko, K.M. Minaeva // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 116-121. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81155 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Manuilenko, O.V. Minaeva, K.M. 2015-05-11T19:03:03Z 2015-05-11T19:03:03Z 2006 Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources / O.V. Manuilenko, K.M. Minaeva // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 116-121. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.-s https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81155 The possibilities to control ion energy distribution functions (IEDFs) and ion angle distribution functions (IADFs) on electrodes in single- and dualfrequency capacitively coupled plasma (CCP) sources are investigated by means of particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MCC) simulations. It is shown that the IEDFs can be controlled by the driven voltage and frequency in singlefrequency capacitive discharges. It is demonstrated that the IEDFs and IADFs can be controlled by the low frequency voltage in dualfrequency CCP sources. С помощью численного моделирования методом макрочастиц изучены возможности управления функциями распределения ионов по энергиям и углам на электродах в одно- и двухчастотном источниках плазмы на основе ёмкостного разряда. Показано, что функциями распределения ионов по энергиям можно управлять с помощью амплитуды и частоты высокочастотной накачки, поддерживающей разряд в одночастотном источнике плазмы. Показано также, что функциями распределения ионов по энергиям и углам можно управлять с помощью величины амплитуды низкочастотного сигнала в источнике плазмы на основе двухчастотного ёмкостного разряда. За допомогою числового моделювання методом макрочастинок досліджено можливості керування функціями розподілу іонів за енергіями та кутами на електродах у одно- та двухчастотних джерелах плазми на основі ємкісного розряду. Показано, що функціями розподілу іонів за енергіями можна керувати за допомогою амплітуди та частоти високочастотної накачки, яка підтримує розряд у одночастотному джерелі плазми. Показано також, що функціями розподілу іонів за енергіями та кутами можна керувати за допомогою амплітуди низькочастотного сигналу у джерелі плазми на основі двухчастотного ємкісного розряду. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources Функции распределения ионов по энергиям и углам в источниках плазмы на основе высокочастотного ёмкостного разряда Функції розподілу іонів за енергіями та кутами у джерелах плазми на основі високочастотного ємкісного розряду Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources |
| spellingShingle |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources Manuilenko, O.V. Minaeva, K.M. Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| title_short |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources |
| title_full |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources |
| title_fullStr |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources |
| title_full_unstemmed |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources |
| title_sort |
ion energy and angular distributions in rf capacitively coupled plasma sources |
| author |
Manuilenko, O.V. Minaeva, K.M. |
| author_facet |
Manuilenko, O.V. Minaeva, K.M. |
| topic |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| topic_facet |
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд |
| publishDate |
2006 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Функции распределения ионов по энергиям и углам в источниках плазмы на основе высокочастотного ёмкостного разряда Функції розподілу іонів за енергіями та кутами у джерелах плазми на основі високочастотного ємкісного розряду |
| description |
The possibilities to control ion energy distribution functions (IEDFs) and ion angle distribution functions
(IADFs) on electrodes in single- and dualfrequency capacitively coupled plasma (CCP) sources are investigated by
means of particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MCC) simulations. It is shown that the IEDFs can be controlled by the
driven voltage and frequency in singlefrequency capacitive discharges. It is demonstrated that the IEDFs and IADFs
can be controlled by the low frequency voltage in dualfrequency CCP sources.
С помощью численного моделирования методом макрочастиц изучены возможности управления функциями распределения ионов по энергиям и углам на электродах в одно- и двухчастотном источниках плазмы на основе ёмкостного разряда. Показано, что функциями распределения ионов по энергиям можно управлять с помощью амплитуды и частоты высокочастотной накачки, поддерживающей разряд в одночастотном источнике плазмы. Показано также, что функциями распределения ионов по энергиям и углам можно управлять с помощью величины амплитуды низкочастотного сигнала в источнике плазмы на основе двухчастотного ёмкостного разряда.
За допомогою числового моделювання методом макрочастинок досліджено можливості керування
функціями розподілу іонів за енергіями та кутами на електродах у одно- та двухчастотних джерелах плазми
на основі ємкісного розряду. Показано, що функціями розподілу іонів за енергіями можна керувати за
допомогою амплітуди та частоти високочастотної накачки, яка підтримує розряд у одночастотному джерелі
плазми. Показано також, що функціями розподілу іонів за енергіями та кутами можна керувати за
допомогою амплітуди низькочастотного сигналу у джерелі плазми на основі двухчастотного ємкісного
розряду.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81155 |
| citation_txt |
Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources / O.V. Manuilenko, K.M. Minaeva // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 116-121. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT manuilenkoov ionenergyandangulardistributionsinrfcapacitivelycoupledplasmasources AT minaevakm ionenergyandangulardistributionsinrfcapacitivelycoupledplasmasources AT manuilenkoov funkciiraspredeleniâionovpoénergiâmiuglamvistočnikahplazmynaosnovevysokočastotnogoemkostnogorazrâda AT minaevakm funkciiraspredeleniâionovpoénergiâmiuglamvistočnikahplazmynaosnovevysokočastotnogoemkostnogorazrâda AT manuilenkoov funkcíírozpodíluíonívzaenergíâmitakutamiudžerelahplazminaosnovívisokočastotnogoêmkísnogorozrâdu AT minaevakm funkcíírozpodíluíonívzaenergíâmitakutamiudžerelahplazminaosnovívisokočastotnogoêmkísnogorozrâdu |
| first_indexed |
2025-12-07T20:40:01Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:40:01Z |
| _version_ |
1850883442406850560 |