Зображення обкладинки

Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources

The possibilities to control ion energy distribution functions (IEDFs) and ion angle distribution functions (IADFs) on electrodes in single- and dualfrequency capacitively coupled plasma (CCP) sources are investigated by means of particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MCC) simulations....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2006
Автори:	Manuilenko, O.V., Minaeva, K.M.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Теми:	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81155
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources / O.V. Manuilenko, K.M. Minaeva // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 116-121. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Weak ion sound turbulence and isotope anomaly in electron cyclotron resonance ion source plasmas
за авторством: Ivanov, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)

Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
за авторством: Isaev, N.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Floating potential of dielectric target in plasma-beam discharge with magnet field
за авторством: Dobrovol`s`kii, A.M., та інші
Опубліковано: (2006)

Calculation of DC arc plasma torch voltage-current characteristics based on Steenbeck model
за авторством: Gnedenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2006)

Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2013)

Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока
за авторством: Костин, Е.Г.
Опубліковано: (2006)

Ускорение ионов, электронов и рентгеновское излучение в катодном пятне вакуумной дуги
за авторством: Андреев, А.А.
Опубліковано: (2006)

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
за авторством: Баранов, А.E., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
за авторством: Солошенко, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Повышение эффективности синтеза озона в системе электродов игла-плоскость с импульсным питанием
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Статистический анализ капельной фракции взрывоэмиссионного катода
за авторством: Коляда, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2006)

Activated hydrogen influence on characteristics of penning discharge with hollow cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Про параметри катодоспрямованого стримеру
за авторством: Остроушко, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)

Сomputer simulation of positive streamer dynamics in uniform and non-uniform electric fields in air
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2013)

Decomposition of ethelene in low temperature plasma of barrierless discharge
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Numerical simulation of negative streamers in strong non-uniform electric fields in nitrogen. Effect of needle radius and applied voltage on streamer velocity
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

The properties of plasma-liquid system with one liquid electrode
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Plasma system with rotational gliding arc between solid electrodes
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Positive ion motion in cathode sheath of glow discharge in N₂O
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Reforming of ethanol in hybrid plasma catalytic system
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Spectroscopy pequliarities of thermal plasma with copper and nickel vapours
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)

The influence of exothermic reactions on the nonequilibrium level of discharge plasma
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2013)

Іgnition of the beam-plasma discharge in the initially neitral gas
за авторством: Dadyka, D.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Mathematical modeling of gas flow in plasma torch vortex chamber
за авторством: Butyrev, A.E., та інші
Опубліковано: (2008)

Investigation of electric ARC plasma between composite Cu–C electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2013)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Sample estimation of distribution parameters if upper and lower bounds of random variable are known
за авторством: Barannik, V.O.
Опубліковано: (2015)

Еlectrodes dimensions effect on the self-sustained plasma-beam discharge power
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Іnvestigation of plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Kleshich, M.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma’s kinetics in discharge in mixture of air, water and ethanol steams and the questions of alternative fuel
за авторством: Shchedrin, A.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Peculiarities of UV radiation from hollow cathode discharge plasma used for sterilization of medical articles
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

On the dense plasma decay within the electron concentration range of 10¹⁷ cm⁻³≤Ne≤10²² cm⁻³
за авторством: Fedorovich, О.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Conditions accompanying formation of long-living luminous objects from dissipating plasma of electric discharge in water
за авторством: Golubnichy, P.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Dynamics of the emission spectrum of the hydrogenoxygen plasma of pulsed discharge in water in the range of the Balmer series with a minimum of impurities
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Оzone decay in chemical reactor with the developed inner surface: air-ethylene mixture
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2018)