Получение галлиевой лигатуры на основе сплава с кремнием

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2004
• Main Authors: Ковтун, Г.П., Щербань, А.П., Горбенко, Ю.В., Пироженко, Л.А., Зеленская, В.И., Берингов, С.Б., Власенко, Т.В., Шульга, Ю.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
• Subjects: Чистые материалы и вакуумные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81253
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение галлиевой лигатуры на основе сплава с кремнием / Г.П. Ковтун, А.П. Щербань, Ю.В. Горбенко, Л.А. Пироженко, В.И. Зеленская, С.Б. Берингов, Т.В. Власенко, Ю.Г. Шульга // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 6. — С. 30-33. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Проведен анализ особенностей системы Si–Ga в области низкого содержания галлия. Описаны методы легирования кремния галлием. Предложен способ получения галлиевой лигатуры на основе сплава с кремнием, используемой при получении монокристаллов кремния с заданными электрофизическими параметрами (ЭФП) д...