Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81279 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862723245725188096 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Пустовойтов, С.А. |
| citation_txt | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве импульсного газового затвора используется электромагнитный клапан, работающий на основе ударно-бойкового механизма и позволяющий получать короткие газовые импульсы длительностью ≥50мкс. Возможна генерация кластеров различных веществ, а при использовании вместо инертного несущего газа – реактивного, образование новых молекул, таких, например, как ZnO, TiNx и TiO2 и осаждение тонкопленочных покрытий с их использованием. Приведены некоторые первые результаты экспериментальных работ с использованием этого источника.
A claster beam source with a target laser evaporation which operate in a pulsed regime have been described. A
source different peculiarity is its external production that simplyfies a laser alignment and gives a possibility of a
source usage for different applications. In source structure a electromagnetic valve, which operates on base of an impact
mechanism and allows to obtain the short gas pulses with duration ≥ 50 µ s , is used as a gas shut. The different
matter claster generation is possible. At usage reactive gas instead of inertness buffer gas we can obtain the such
new molecules as, for example, ZnO, TiNx and TiO2 or/and the thin-film coatings with their usage. The some prelimenary
results of the experimental works with usage of this source have been presented.
Описане кластерне джерело з лазерним випарюванням мішені, що працює в імпульсному режимі. Відмінною особливістю джерела є його зовнішнє виконання, що спрощує юстировку лазера та дає можливість застосовувати джерело для використання в різних застосуваннях. В складі джерела як імпульсний газовий затвор використовується електромагнітний клапан, що працює на основі ударно- бойкового механізму та дозволяє отримувати короткі газові імпульси тривалістю ≥ 50 мкс. Можлива генерація кластерів різноманітних речовин, а при застосуванні замість інертного буферного газу – реактивного, утворення нових молекул, таких, наприклад, як ZnO, TiNx і TiO2 та осадження тонкоплівчатих покриттів з їх використанням. Наведені деякі перші результати експериментальних робіт з використанням цього джерела.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:40:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81279 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:40:20Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Пустовойтов, С.А. 2015-05-13T19:53:29Z 2015-05-13T19:53:29Z 2006 Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 52.50.Gj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81279 Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве импульсного газового затвора используется электромагнитный клапан, работающий на основе ударно-бойкового механизма и позволяющий получать короткие газовые импульсы длительностью ≥50мкс. Возможна генерация кластеров различных веществ, а при использовании вместо инертного несущего газа – реактивного, образование новых молекул, таких, например, как ZnO, TiNx и TiO2 и осаждение тонкопленочных покрытий с их использованием. Приведены некоторые первые результаты экспериментальных работ с использованием этого источника. A claster beam source with a target laser evaporation which operate in a pulsed regime have been described. A
 source different peculiarity is its external production that simplyfies a laser alignment and gives a possibility of a
 source usage for different applications. In source structure a electromagnetic valve, which operates on base of an impact
 mechanism and allows to obtain the short gas pulses with duration ≥ 50 µ s , is used as a gas shut. The different
 matter claster generation is possible. At usage reactive gas instead of inertness buffer gas we can obtain the such
 new molecules as, for example, ZnO, TiNx and TiO2 or/and the thin-film coatings with their usage. The some prelimenary
 results of the experimental works with usage of this source have been presented. Описане кластерне джерело з лазерним випарюванням мішені, що працює в імпульсному режимі. Відмінною особливістю джерела є його зовнішнє виконання, що спрощує юстировку лазера та дає можливість застосовувати джерело для використання в різних застосуваннях. В складі джерела як імпульсний газовий затвор використовується електромагнітний клапан, що працює на основі ударно- бойкового механізму та дозволяє отримувати короткі газові імпульси тривалістю ≥ 50 мкс. Можлива генерація кластерів різноманітних речовин, а при застосуванні замість інертного буферного газу – реактивного, утворення нових молекул, таких, наприклад, як ZnO, TiNx і TiO2 та осадження тонкоплівчатих покриттів з їх використанням. Наведені деякі перші результати експериментальних робіт з використанням цього джерела. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения Сlaster beam source of external production with laser evaporation for wide application Джерело кластерного пучка зовнішнього виконання з лазерним випарюванням для широкого застосування Article published earlier |
| spellingShingle | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Пустовойтов, С.А. Приложения и технологии |
| title | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| title_alt | Сlaster beam source of external production with laser evaporation for wide application Джерело кластерного пучка зовнішнього виконання з лазерним випарюванням для широкого застосування |
| title_full | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| title_fullStr | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| title_full_unstemmed | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| title_short | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| title_sort | источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения |
| topic | Приложения и технологии |
| topic_facet | Приложения и технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81279 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva istočnikklasternogopučkavnešnegoispolneniâslazernymispareniemdlâširokogoprimeneniâ AT karpenkoaû istočnikklasternogopučkavnešnegoispolneniâslazernymispareniemdlâširokogoprimeneniâ AT pustovoitovsa istočnikklasternogopučkavnešnegoispolneniâslazernymispareniemdlâširokogoprimeneniâ AT baturinva slasterbeamsourceofexternalproductionwithlaserevaporationforwideapplication AT karpenkoaû slasterbeamsourceofexternalproductionwithlaserevaporationforwideapplication AT pustovoitovsa slasterbeamsourceofexternalproductionwithlaserevaporationforwideapplication AT baturinva džereloklasternogopučkazovníšnʹogovikonannâzlazernimviparûvannâmdlâširokogozastosuvannâ AT karpenkoaû džereloklasternogopučkazovníšnʹogovikonannâzlazernimviparûvannâmdlâširokogozastosuvannâ AT pustovoitovsa džereloklasternogopučkazovníšnʹogovikonannâzlazernimviparûvannâmdlâširokogozastosuvannâ |