Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Пустовойтов, С.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Приложения и технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81279
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве...