Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Пустовойтов, С.А. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81279 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
-
Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов
von: Пустовойтов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2008) -
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006) -
Группирователь пучка линейного ускорителя дейтронов
von: Гусев, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2008) -
Коаксиальный плазменный источник для сепаратора
von: Юферов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2006)