Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860242493450223616 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| citation_txt | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm.
A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed.
An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator
electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm.
Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:31:36Z |
| format | Article |
| fulltext |
МАСС-СПЕКТРОМЕТР ВТОРИЧНЫХ НЕЙТРАЛЕЙ НА БАЗЕ
ИОННОГО ИМПЛАНТЕРА
В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов
Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы
E-mail: baturin@ipflab.sumy.ua
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распы-
ленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфо-
кусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образ-
це до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использо-
вать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован моно-
польный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом раз-
решении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей состав-
ляет порядка 10 ppm.
PACS: 07.75.+h
Возможности получения сведений о составе
внешнего атомного слоя твердого тела значительно
расширились в связи с разработкой и усовершенство-
ванием метода вторично-ионной масс-спектрометрии
(ВИМС) [1,2]. Однако большим недостатком данного
метода является тот факт, что вероятность ионизации
при распылении атома с поверхности очень сильно
зависит от ее химического состава (так называемый
«матричный эффект»). Кроме того, вероятность
ионизации для атомов разного сорта в одной и той же
матрице, равно как и для атомов одного сорта в
разных матрицах, может различаться на несколько
порядков [3]. Это значительно усложняет количе-
ственный анализ твердых тел. Преодолеть данный
недостаток позволяет методика масс-спектрометрии
вторичных нейтралей (МСВН), анализирующая ней-
тральную компоненту распыленных частиц, которая
является доминирующей в общем потоке частиц. Для
того, чтобы нейтрали можно было анализировать
масс-спектрометрическими методами, после распы-
ления из образца они должны быть ионизированы ка-
ким-либо способом (так называемая «постионизация»
нейтралей). Благодаря разделению процессов иониза-
ции и распыления частиц в пространстве и времени,
чувствительность прибора по данному исследуемому
элементу является константой для данных условий
эксперимента. Это делает количественную интерпре-
тацию результатов, то есть корреляцию между масс-
спектрометрическими сигналами и соответствующи-
ми им концентрациями элементов, простой и опреде-
ленной.
Как правило, положительно заряженные ионы
для МСВН получают одним из трех основных
способов [4]:
- ионизацией ускоренным пучком электронов;
- высокоэнергетичной («горячей») составляю-
щей электронной компоненты ВЧ-плазмы низ-
кого давления;
- фотоионизацией интенсивным лазерным излу-
чением.
Каждый из трех вышеперечисленных основных
методов имеет свои преимущества и недостатки. По
эффективности ионизации наименьшее значение
имеет ионизация электронным пучком (порядка
10-4…10-5). Более высокий показатель у ионизации
в ВЧ-плазме (порядка 10-2), что объясняется большей
длиной пробега распыленных атомов в ионизирую-
щем объеме и компенсацией объемного заряда элек-
тронов положительными ионами плазмы. Самые вы-
сокие значения эффективности ионизации достига-
ются при лазерном механизме ионизации. Здесь воз-
можно достижение значений, близких к 1 (т.е. полно-
го насыщения) в резонансном режиме для определен-
ного сорта атомов образца, а в многофотонном нере-
зонансном режиме – при достаточно высокой мощно-
сти лазерного излучения (более 1011 Вт/см2).
В данной работе представлен вариант масс-спек-
трометра вторичных нейтралей с электронно-луче-
вой ионизацией. Несмотря на относительно низкий
показатель эффективности ионизации по сравнению
с двумя другими методами, мы отдали ему предпо-
чтение из-за его простоты, дешевизны и компактно-
сти конструкции. К преимуществам данного метода
можно отнести также совместимость с другими ме-
тодами анализа поверхности (Оже-электронная,
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия и
др.). Кроме того, изменяя настройки масс-спектро-
метра, можно работать в одном из трех режимов:
ВИМС, МСВН и газовой спектрометрии.
Рис.1. Общая схема установки для анализа образцов
методом МСВН (штрихпунктирной линией изобра-
жены траектории первичных ионов и ионно-опти-
ческая ось масс-спектрометра)
Установка для анализа поверхности образцов ме-
тодом масс-спектрометрии вторичных нейтралей со-
здана на базе высокодозного ионного имплантера.
________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 5.
Серия: Плазменная электроника и новые методы ускорения (5), с.222-224.
222
Использование имплантера в качестве источника
первичных ионов позволяет работать в широком
диапазоне энергий первичных ионов (от 20 до
150 кэВ). На Рис.1 показана общая схема установки.
В качестве источника ионов 1 использован дуо-
плазматрон с накальным катодом. Он позволяет по-
лучать ионы из газовой среды (азот, кислород, водо-
род, инертные газы и др.). Источник позволяет
произвести первичное формирование пучка ионов с
током в несколько миллиампер и энергией получае-
мых ионов до 20 кэВ. Сепарация ионов по массам
осуществляется в 900-ном секторном электромагни-
те 2 с радиусом центральной траектории 300 мм. Ве-
личина индукции магнитного поля электромагнита
позволяет сепарировать по массам однозарядные
ионы до массового числа 40. После сепарации ионы
вторично фокусируются одиночной линзой 3 и уско-
ряются до необходимой энергии в ускорительной
трубке 4. Источник ионов, электромагнит, одиночная
линза и блоки питания находятся под высоким потен-
циалом (до 150 кэВ). Ускоренный пучок попадает в
приемную камеру 5, находящуюся под потенциалом
земли. В камере находится неподвижный цилиндр
Фарадея 6 для измерения тока пучка ионов. Откачка
камеры осуществляется диффузионным насосом 7 с
ловушкой, охлаждаемой жидким азотом. Остаточный
вакуум в камере составляет 2·10-5 Па. Для того, чтобы
отсечь нейтральную составляющую пучка ионов, на
входе в камеру установлены пластины 8, отклоняю-
щие ускоренный пучок в горизонтальной плоскости
на небольшой угол. Отклоненный пучок попадает на
исследуемый образец 9.
Для ионизации, сбора и анализа вторичных ча-
стиц использован модифицированный монопольный
масс-спектрометр МХ7304А (производства АО
“SELMI”, Сумы, Украина). Преимуществом исполь-
зования монопольного масс-спектрометра в данном
случае является компактность, а также линейная
шкала масс. С помощью прибора возможна реги-
страция ионов до массового числа 400 при разреше-
нии 1М на уровне 10% высоты пиков. Анализатор
масс-спектрометра вмонтирован в боковой фланец
приемной камеры, а его оптическая ось расположена
под углом 900 к первичному пучку ионов. Подроб-
ная схема системы, предназначенной для иониза-
ции, сбора и анализа распыленных частиц, показана
на Рис. 2.
Рис.2. Схема конструкции системы ионизации, сбо-
ра и анализа распыленных частиц (штриховой лини-
ей показаны центральные траектории первичных и
вторичных ионов)
Диаметр падающего на образец пучка электро-
нов задается диаметром отверстия в вырезающей
диафрагме 1, который может меняться в диапазоне
1…3 мм. Исследуемый образец 2 крепится на дер-
жателе под углом, близким к 450. За диафрагмой
установлен подвижный цилиндр Фарадея 3, который
служит для измерения тока первичных ионов, пада-
ющих на мишень, и одновременно выполняет функ-
цию заслонки для пучка ионов.
Распыленные вторичные частицы сначала прохо-
дят через диафрагму 4 с отверстием диаметром
2 мм, служащую для задерживания или ускорения
вторичных ионов в зависимости от режима работы
прибора. Для большей эффективности отверстие в
диафрагме затянуто сеткой из проволоки толщиной
0,05 мм и коэффициентом прозрачности 90%. Рас-
стояние от поверхности образца до плоскости отвер-
стия составляет 5 мм.
Ионизация распыленных нейтралей осуще-
ствляется в ионизационной коробочке 5. Входное
отверстие в коробочку затянуто сеткой, экранирую-
щей сильное поле, создаваемое диафрагмой 4. Элек-
троны, эмитированные двумя накаленными катода-
ми 6, расположенными по бокам от коробочки, по-
падают внутрь нее через боковые отверстия диамет-
ром 1,8 мм. Ось, проходящая через центры боковых
отверстий, пересекает под прямым углом ось тракта
вторичных частиц. Катоды представляют собой V-
образные вольфрамовые проволочки диаметром
0,12 мм, нагреваемые постоянным током силой
1,5…2 А. Ток электронной эмиссии катодов стаби-
лизируется блоком питания и составляет 1 мА.
Ионизирующее напряжение, то есть напряжение
между катодами и ионизационной коробочкой, игра-
ющей роль анода, выбрано из соображений макси-
мума сечения ионизации электронным ударом и со-
ставляет около 70 В. Катоды окружены отражающи-
ми электродами 7, которые имеют отверстия, соиз-
меримые по диаметру с отверстиями в анодной ко-
робочке и расположенные так, что острия катодов
находятся приблизительно в центрах этих отвер-
стий. Отражающие электроды имеют отрицатель-
ный потенциал относительно катодов величиной в
несколько вольт. Основная их функция – формиро-
вание экстрагирующего поля вблизи острия катода,
где в основном происходит эмиссия электронов. Из-
меняя потенциал этих электродов, можно произво-
дить фокусировку электронного пучка. Кроме того,
отражающие электроды защищают катоды от меха-
нических повреждений.
На траектории электронов, движущихся под дей-
ствием электрического поля между катодами и ко-
робочкой, накладывается продольное магнитное
поле с индукцией 0,05 Тл, создаваемое двумя сама-
рий-кобальтовыми магнитами 8, расположенными
за держателями катодов. Под действием магнитного
поля пучок электронов, имеющий некоторую расхо-
димость, движется по винтовой линии с ларморо-
вым радиусом r = mvn / (eB), где vn – поперечная со-
ставляющая скорости электрона. Этим обеспечива-
________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 5.
Серия: Плазменная электроника и новые методы ускорения (5), с.222-224.
223
ется магнитная фокусировка электронного пучка.
На анодную коробочку подается положительный
потенциал, величина которого задает (без учета на-
чальных скоростей частиц) энергию, приобретае-
мую ионами, образовавшимися в ионизаторе. Из-
вестно, что у квадрупольных и монопольных масс-
спектрометров с ростом энергии анализируемых
ионов разрешающая способность уменьшается, а
чувствительность растет, причем нелинейно [5].
Оптимальное значение энергии анализируемых
ионов, обеспечивающее приемлемую чувствитель-
ность прибора и разрешение на уровне 1М, равно
25…30 эВ. Соответствующий этой энергии потенци-
ал прикладывается к анодной коробочке. Поскольку
ионизация частиц происходит в малом объеме (диа-
метр не более 2 мм) и с малым падением потенциала
в нем, энергетический разброс ионизированных ча-
стиц, создаваемый ионизатором, также очень мал
(порядка 1 эВ).
За ионизатором расположены диафрагмы 9,10,
находящиеся под одинаковым положительным по-
тенциалом и с отверстиями, затянутыми сеткой. Их
функция – торможение или ускорение ионов на вы-
ходе из ионизатора, что необходимо для регулиров-
ки тока ионов, создаваемых остаточными газами.
Диафрагма 10 необходима для экранировки сильно-
го электрического поля, создаваемого экстрагирую-
щим электродом 11, находящимся под потенциалом
–80 В. Экстрагированные ионы фокусируются элек-
тродом 12 и попадают в электростатический энерго-
фильтр 13.
Входная и выходная диафрагмы энергофильтра
находятся под нулевым потенциалом. Диаметры от-
верстий в обеих диафрагмах составляют 1,6 мм. Се-
парация ионов по энергиям осуществляется с помо-
щью двух отклоняющих пластин, выполненных в
виде уголков с углом 900, между которыми располо-
жена промежуточная диафрагма со щелью, ширина
которой определяет ширину полосы пропускания
энергофильтра. Расстояния от центров входного и
выходного отверстий до плоскости промежуточной
диафрагмы равны и составляют 6 мм. Настройка
энергофильтра на определенную энергию пропуска-
ния производится подачей на отклоняющие пласти-
ны одинаковых по величине положительных потен-
циалов при нулевом потенциале промежуточной
диафрагмы. Относительная ширина полосы пропус-
кания энергофильтра ∆E/E была определена в рабо-
те [6] и составляет 11% от энергии ионов для шири-
ны щели в промежуточной диафрагме, равной 1 мм.
Пройдя энергофильтр, ионы сепарируются по
массам в монопольном масс-анализаторе 14. Детек-
тором ионов служит вторично-электронный умно-
житель ВЭУ-6, работающий в аналоговом и счетном
режимах. Детекторная часть масс-спектрометра за-
экранирована от попадания пучковой плазмы и
рентгеновского излучения, так как это резко увели-
чивает уровень фона и шумов, что снижает порог
чувствительности прибора. Управление масс-спек-
трометром и регистрация спектральной информации
осуществляется через ЭВМ с помощью специально
разработанной компьютерной программы.
В настоящее время проводятся испытания прибо-
ра, целью которых является получение максималь-
ных значений параметра сигнал/шум для ионизиро-
ванных нейтралей, а также высокой эффективности
подавления фона вторичных ионов и остаточных га-
зов в спектре МСВН. Потенциальные области при-
менения установки – количественный анализ по-
верхности твердых тел (проводников и диэлектри-
ков), а также изучение процессов распыления
твердых тел ионами высоких энергий (до 150 кэВ).
ЛИТЕРАТУРА
1. В.Т. Черепиню. Ионный микрозондовый анализ.
Киев: «Наукова Думка», 1992, 344 с.
2. K. Wittmaack // Vacuum. 1982, v.32, p.65.
3. Н.А. Мак-Хью. Методы анализа поверхности.
М.: Мир, 1979. 276. с.
4. H. Oechsner. Encyclopedia of Analytical Science.
Academic Press Limited, 1995 p.5014.
5. Г.И. Слободенюк. Квадрупольные масс-спек-
трометры. М.: «Атомиздат», 1975, 272 с.
6. В.А. Батурин, С.А. Еремин. Исследование ха-
рактеристик энергетического фильтра для моно-
польного масс-спектрометра МХ7304А // ПТЭ,
2005, №2, с.120-122.
MASS SPECTROMETER OF SECONDARY NEUTRALS ON BASE OF ION IMPLANTER
V.А. Baturin, S.A. Eremin, S.А. Pustovoytov
A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been pro-
posed. An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a mass-
separator electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm.
МАС-СПЕКТРОМЕТР ВТОРИННИХ НЕЙТРАЛІВ НА БАЗІ ІОННОГО ІМПЛАНТЕРУ
В.О. Батурин, С.А. Єрьомін, С.О. Пустовойтов
Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm.
224
________________________________________________________________
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 5.
Серия: Плазменная электроника и новые методы ускорения (5), с.222-224.
225
литература
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81280 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:31:36Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. 2015-05-13T19:54:27Z 2015-05-13T19:54:27Z 2006 Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 07.75.+h https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm. A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed.
 An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
 of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator
 electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
 MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
 particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm. Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
 розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
 сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
 50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
 первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
 мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
 рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру Article published earlier |
| spellingShingle | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Приложения и технологии |
| title | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_alt | Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру |
| title_full | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_fullStr | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_full_unstemmed | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_short | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_sort | масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| topic | Приложения и технологии |
| topic_facet | Приложения и технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT ereminsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT pustovoitovsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT baturinva massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT ereminsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT pustovoitovsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT baturinva masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT ereminsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT pustovoitovsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru |