Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81280 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. 2015-05-13T19:54:27Z 2015-05-13T19:54:27Z 2006 Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 07.75.+h https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm. A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed. An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm. Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до 50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| spellingShingle |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Приложения и технологии |
| title_short |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_full |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_fullStr |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_full_unstemmed |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_sort |
масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| author |
Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet |
Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| topic |
Приложения и технологии |
| topic_facet |
Приложения и технологии |
| publishDate |
2006 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру |
| description |
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm.
A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed.
An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator
electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm.
Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| citation_txt |
Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT baturinva massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT ereminsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT pustovoitovsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT baturinva massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT ereminsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT pustovoitovsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT baturinva masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT ereminsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT pustovoitovsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru |
| first_indexed |
2025-12-07T18:31:36Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:31:36Z |
| _version_ |
1850875363350020096 |