Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862721658339459072 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. |
| citation_txt | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm.
A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed.
An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator
electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm.
Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:31:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81280 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:31:36Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. 2015-05-13T19:54:27Z 2015-05-13T19:54:27Z 2006 Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 07.75.+h https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm. A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed.
 An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam
 of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator
 electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer
 MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary
 particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm. Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією
 розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує
 сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до
 50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати
 первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний
 мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на
 рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру Article published earlier |
| spellingShingle | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Приложения и технологии |
| title | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_alt | Mass spectrometer of secondary neutrals on base of ion implanter Мас-спектрометр вторинних нейтралів на базі іонного імплантеру |
| title_full | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_fullStr | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_full_unstemmed | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_short | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| title_sort | масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера |
| topic | Приложения и технологии |
| topic_facet | Приложения и технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT ereminsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT pustovoitovsa massspektrometrvtoričnyhneitraleinabazeionnogoimplantera AT baturinva massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT ereminsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT pustovoitovsa massspectrometerofsecondaryneutralsonbaseofionimplanter AT baturinva masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT ereminsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru AT pustovoitovsa masspektrometrvtorinnihneitralívnabazííonnogoímplanteru |