Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов
за авторством: Пустовойтов, С.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Пустовойтов, С.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Плазмооптическая масс-сепарация изотопов из плазменного потока
за авторством: Бардаков, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Бардаков, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Использование конденсорной системы для повышения плотности ионного тока в микрозонде ИПФ НАНУ
за авторством: Мельник, К.И.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Мельник, К.И.
Опубліковано: (2010)
Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Комбинированная фокусировка в линейном ускорителе ионов
за авторством: Вдовин, С.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Вдовин, С.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Новые разработки ВЧ-фокусировки пучков ионов
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Оценка влияния структуры среды на ослабление потока рентгеновского излучения
за авторством: Абросимов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Абросимов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
Автоматизированный атомно-эмиссионный спектрометр
за авторством: Егоров, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Егоров, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Комплекс ускоритель-реактор — будущее ядерной энергетики
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2000)
О возможности разделения изотопов в аксиально-симметричных магнитных полях с реверсами поля
за авторством: Бондаренко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Бондаренко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование тепловых характеристик внутреннего электрода коаксиального плазменного ускорителя с продольным магнитным полем
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2006)
Плазменный ускоритель с анодным слоем для обработки поверхности материалов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Оценка возможности наработки больших количеств радионуклида йода-123 высокой чистоты для ядерной медицины на циклотроне СV-28
за авторством: Петрусенко, Ю.Т., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Петрусенко, Ю.Т., та інші
Опубліковано: (2010)
О влиянии плазменной частоты на сплошной спектр излучения неидеальной плазмы импульсного разряда в воде в видимом диапазоне
за авторством: Федорович, О.А.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Федорович, О.А.
Опубліковано: (2008)
Концепционный проект плазменного резонансного сепаратора
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
Возможности лазерного компьютерного спекл-голографического интерферометра для исследования концентрированных потоков энергии
за авторством: Гончаров, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Гончаров, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Таймер-синхронизатор ускорителя МЛУД
за авторством: Жизневский, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Жизневский, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Вторичная ионно-электронная эмиссия из медной фольги на прострел и на отражение
за авторством: Кононенко, С.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Кононенко, С.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Особенности повышения чувствительности датчиков-ограничителей на основе тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Кучер, Д.Б., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Кучер, Д.Б., та інші
Опубліковано: (2006)
Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы
за авторством: Мордик, С.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Мордик, С.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Голографическая интерферометрия динамики газоплазменного факела
за авторством: Толстолуцкий, А.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Толстолуцкий, А.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Преобразование фазовой плотности пучка ионов в нелинейных зондоформирующих системах
за авторством: Мирошниченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Мирошниченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Искусственные диэлектрики. Образованные решетками резонансных рассеивающих тел
за авторством: Брызгалов, Г.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Брызгалов, Г.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Плазменная электроника в электроядерной энергетике
за авторством: Хижняк, Н.А.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Хижняк, Н.А.
Опубліковано: (2000)
Настройка встречно-штыревой ускоряющей структуры с комбинированной фокусировкой пучка
за авторством: Дьяченко, А.Ф.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дьяченко, А.Ф.
Опубліковано: (2008)
Потери плазмы в криволинейных магнитных фильтрах
за авторством: Тимошенко, А.И.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Тимошенко, А.И.
Опубліковано: (2008)
О некоторых процессах при взаимодействии мощного импульсного электронного пучка с поверхностями твердых тел
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Особенности энергетических распределений электронов вторичной эмиссии, индуцированной ионами H+ из металлов
за авторством: Журенко, В.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Журенко, В.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Применение тепловых труб в ускорительной технике
за авторством: Залеский, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Залеский, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
О коэффициентах распада неидеальной плазмы при взрыве вольфрамового проводника в воде
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Прямое преобразование энергии плазменного потока в СВЧ излучение
за авторством: Рыбаков, В.В., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Рыбаков, В.В., та інші
Опубліковано: (2003)
Исследование свойств рентгеновского излучения пироэлектрического генератора в зависимости от режимов его работы
за авторством: Нагайченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Нагайченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Магнитная система для транспортировки сильноточного релятивистского электронного пучка, работающая в адиабатическом режиме
за авторством: Батраков, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Батраков, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
Высокояркостная система экстракции геликонного источника ионов
за авторством: Шульга, Д.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Шульга, Д.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Power of ADS with low-energy accelerator and fissionable target
за авторством: Golovkina, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Golovkina, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование особенностей высоковольтного импульсного коронного разряда в углекислом газе и возможности использования такого разряда для разложения СО₂
за авторством: Березина, Г.П., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Березина, Г.П., та інші
Опубліковано: (2006)
Группирователь пучка линейного ускорителя дейтронов
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Функции распределений неравновесных электронов при бомбардировке сурьмяно-цезиевых катодов быстрыми ионами
за авторством: Журенко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Журенко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)