Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Приложения и технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....